喷墨头及喷墨记录装置的制造方法_2

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与掩模板固定面3c的Z方向的长度的和等于内周面3e的Z方向的长度。
[0063]第二侧面3d是框部件3的最外周的侧面。
[0064]底面3f与基板2的第一面2a接合。底面3f隔着图示省略的粘结层与第一面2a接合。但是,在第一面2a与底面3f之间,电极17在X方向延伸。
[0065]共通液室8内,电极17粘附于压力室9内的积层压电部件6的表面。电极17粘附于压力室9中相互相对的槽内面及槽底面。电极17还粘附于积层压电部件6中的斜边部。
[0066]电极17在每个压力室9中独立地形成。各电极17通过底面3f的下侧。各电极17在框部件3的外侧延伸。
[0067]各电极17由导电性材料构成。例如,电极17可以由镍薄膜形成。例如,电极17可以由金、铜等的金属膜形成。例如,电极17的厚度可以是0.5 μπι以上5 μπι以下。
[0068]共通液室8内及通过框部件3的电极17上形成电沉积膜20。电沉积膜20由丙烯系树脂形成。例如,电沉积膜20的厚度可以是1 ym以上5 μπι以下。
[0069]电沉积膜20覆盖各电极17。但是,在框部件3的外周侧,电沉积膜20仅形成在框部件3的附近。除去框部件3的外周侧,各电极17暴露在基板2的第一面2a上。
[0070]在框部件3的外周侧,各电极17延伸至第一面2a的X方向的端部。
[0071]暴露在第一面2a上的各电极17与柔性印刷接线板7电性连接。
[0072]本实施方式中,各电极17隔着各向异性导电性膜(ACF) 23与柔性印刷接线板7中的接线电性连接。
[0073]其中,柔性印刷接线板7与电极17的连接方法不限于ACF23。例如,柔性印刷接线板7的接线与电极17可以使用ACP (各向异性导电胶)、NCF (非导电性膜)、及NCP (非导电性胶)中的任一种来连接。
[0074]如图1所示,柔性印刷接线板7的基端7b与印刷电路板14电性连接。
[0075]本实施方式中,柔性印刷接线板7在X方向向从框部件3分离的方向延伸。另外,柔性印刷接线板7在Z方向弯曲。弯曲的柔性印刷接线板7沿歧管10的X方向的侧面,在图示下侧延伸。
[0076]印刷电路板14与各柔性印刷接线板7的下端部连接。
[0077]柔性印刷接线板7具有图示省略的驱动1C。
[0078]驱动1C基于从喷墨打印机的控制部输入的信号,经由接线对电极17施加电压。驱动1C通过对电极17施加电压,驱动积层压电部件6。
[0079]积层压电部件6根据施加电压发生剪切模式变形。积层压电部件6由于变形对供给于压力室9的油墨加压。被加压的油墨从后述的喷嘴13吐出。
[0080]如图2所示,在柔性印刷接线板7的前端7a与框部件3的第二侧面3d之间,电极17暴露。以下,将柔性印刷接线板7的前端7a与框部件3的第二侧面3d之间暴露的电极17的部位称为电极暴露部17A。
[0081]在电沉积膜20上,依次积层了涂布剂21和有机保护膜22。其中,压力室9中,涂布剂21形成在侧壁的上部的1/3程度的范围和压力室9的底部。在压力室9的其他部位,在电沉积膜20上仅积层有机保护膜22。
[0082]例如,涂布剂21由热固化型的环氧系粘结剂构成。涂布剂21的厚度可以是5 μπι以上20 μm以下。
[0083]有机保护膜22还形成在框部件3的内周面3e、接合面3a、第一侧面3b、及第二侧面3d上。
[0084]另外,有机保护膜22还形成在基板2的第二面2b上。
[0085]例如,有机保护膜22的厚度可以是3 μm以上10 μm以下。通过电沉积膜20和有机保护膜22,能够保护电极17,防止与供给至压力室9的油墨接触。例如,有机保护膜22可以由对二甲苯系聚合物形成。作为对二甲苯系聚合物,可以列举聚氯对二甲苯、聚对二甲苯、及聚二氯对二甲苯等例子。
[0086]其中,有机保护膜22的材质不限于对二甲苯系聚合物。例如,有机保护膜22还可以由类似于聚酰亚胺的其他物质形成。
[0087]如图1所示,喷嘴板4覆盖框部件3的开口。本实施方式中,喷嘴板4的平面图形状是长方形。喷嘴板4上形成了从各压力室9吐出油墨的喷嘴13。喷嘴13—个个地形成在各压力室9的上方。
[0088]如图2所示,喷嘴板4通过粘结部25与框部件3的接合面3a粘结。例如,喷嘴板4由聚酰亚胺制造的膜形成。
[0089]粘结部25由能够与喷嘴板4及有机保护膜22粘结的粘结剂固化形成。粘结部25的种类只要能够与喷嘴板4及有机保护膜22粘结,那么不受限定。
[0090]如图1所示,掩模板5是包围喷嘴板4的矩形框状。掩模板5具有第一板状部5A和第二板状部5B。
[0091]第一板状部5A的平面图的形状是矩形框状。第一板状部5A上形成比喷嘴板4稍大的平面图中呈矩形状的贯通孔5C。
[0092]第二板状部5B从第一板状部5A的外周部向Z方向的图示下侧延伸。第二板状部5B从侧面覆盖歧管10的一部分及柔性印刷接线板7的一部分。
[0093]如图2所示,第一板状部5A在表面形成第一固定面5a、第二固定面5b、第三面5c、表面5d、及内周面5e。
[0094]第一固定面5a是与框部件3的掩模板固定面3c相对的平面。第一固定面5a通过后述的粘结部24固定于掩模板固定面3c上。
[0095]第二固定面5b在从框部件3朝向柔性印刷接线板7的X方向中,与第一固定面5a邻接。第二固定面5b在从框部件3朝向柔性印刷接线板7的X方向中,与基板2的第一面2a的距离逐渐增加。
[0096]第二固定面5b可以是平面,也可以是弯曲面。本实施方式中,作为一个例子,第二固定面5b是平面。
[0097]第二固定面5b在框部件3与柔性印刷接线板7之间,至少面向电极暴露部17A的范围延伸。本实施方式中,第二固定面5b延伸至柔性印刷接线板7的X方向的与框部件3侧的端部重叠的范围。
[0098]第二固定面5b通过后述的粘结部24与框部件3、基板2、及柔性印刷接线板7固定。
[0099]第三面5c在从框部件3朝向柔性印刷接线板7的X方向中,与第二固定面5b邻接。第三面5c是与第一固定面5a平行的平面。
[0100]第三面5c可以不通过后述的粘结部24与柔性印刷接线板7或基板2固定。但是,本实施方式中,第二固定面5b的附近的第三面5c通过后述的粘结部24与柔性印刷接线板7固定。
[0101]表面5d是第一板状部5A的Z方向中的图示上侧的端面。表面5d可以是平面,也可以是弯曲面。表面5d还可以形成为凹凸形状。其中,本实施方式中,表面5d是与第一固定面5a及第三面5c平行的平面。
[0102]在表面5d的里面侧配置有第一固定面5a、第二固定面5b、及第三面5c。
[0103]本实施方式中,第一板状部5A的板厚的形成第一固定面5a的范围内,是第一板厚尺寸。第一板状部5A的板厚的形成第三面5c的范围内,是第二板厚尺寸。第一板厚尺寸大于第二板厚尺寸。第一板状部5A的板厚的形成第二固定面5b的范围内,从第一固定面5a朝向第三面5c,从第一板厚尺寸至第二板厚尺寸,逐渐减少。
[0104]第一固定面5a与第三面5c之间的Z方向的距离可以是50 μ m以上100 μ m以下。相对于第一固定面5a的倾斜角Θ可以是Γ以上7°以下。
[0105]内周面5e是贯通表面5d与第一固定面5a之间的贯通孔5C的内面。内周面5e在Z方向延伸。内周面5e与框部件3的第一侧面3b及喷嘴板4的外侧面相对。
[0106]掩模板5的材质只要是相对油墨具有耐性的材质,那么不受限定。例如,掩模板5的材质可以使用不锈钢等金属。
[0107]粘结部24是由能够粘结掩模板5、柔性印刷接线板7、电极17、及有机保护膜22的粘结剂固化形成。粘结部24的种类只要能粘结掩模板5、柔性印刷接线板7、电极17、及有机保护膜22,那么不受限定。
[0108]例如,粘结部24可以由环氧树脂等粘结剂形成。
[0109]粘结部24至少形成在第一固定面5a与掩模板固定面3c之间。粘结部24至少形成在第二侧面3d与柔性印刷接线板7的前端7
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