喷墨头及喷墨记录装置的制造方法_3

文档序号:10148773阅读:来源:国知局
a之间的第一面2a与第二固定面5b之间。
[0110]粘结部24覆盖电极暴露部17A。粘结部24与第一板状部5A之间,气泡V可以一部分地面向第一板状部5A地混入。气泡V不贯通X方向。
[0111]接着,以粘结部24的制造工序为中心,对嗔墨头1的制造方法进彳丁说明。
[0112]图3、图4、图5是表示第一实施方式的喷墨头的制造工序的剖面模式图。
[0113]喷墨头1的制造工序中,基板2由烧制来形成。
[0114]具体而言,对陶瓷薄片进行压制加工后,进行烧制。之后,通过与X方向平行地进行切削加工来形成槽。
[0115]之后,在基板2的第一面2a上形成积层压电部件6。例如,两枚的压电板粘合后,进行切削加工,由此,形成积层压电部件6的外形。形成的积层压电部件6通过热固化性的粘结剂粘结在第一面2a上。
[0116]之后,在第一面2a及积层压电部件6上形成电极17。例如,电极17由光刻法形成。
[0117]之后,在电极17上形成电沉积膜20。
[0118]具体而言,形成了电极17的基板2的整体和相对电极浸渍于电沉积液中。接着,对基板2上的电极17和相对电极施加电压。其结果为,电极17上析出电沉积膜20。
[0119]之后,涂布剂21涂布在电沉积膜20、基板2的第一面2a、及包含压力室9的积层压电部件6上。例如,涂布剂21以喷雾方式进行涂布。
[0120]之后,在基板2的第一面2a上固定框部件3。例如,框部件3通过粘结来固定。框部件3的底面3f隔着电沉积膜20及涂布剂21跨过电极17。
[0121]之后,形成有机保护膜22。有机保护膜22在积层压电部件6、框部件3、及基板2的大致整个面进行成膜。
[0122]例如,有机保护膜22由CVD(化学气相沉积法)成膜。
[0123]以上的工序中,不需要电沉积膜20、涂布剂21的成膜的部位根据需要进行掩盖。例如,与柔性印刷接线板7电性连接的部位的电极17上,粘贴了遮蔽胶带。遮蔽胶带在有机保护膜22的成膜后去除。其结果为,在框部件3的外侧延伸的电极17的延伸方向的端部暴露在第一面2a上。
[0124]之后,如图3所示,在接合面3a上涂布形成粘结部25的粘结剂。
[0125]之后,在接合面3a及积层压电部件6上配置喷嘴板4。在喷嘴板4上预先形成喷嘴13。
[0126]涂布的粘结剂固化。在喷嘴板4与接合面3a之间形成粘结部25。喷嘴板4通过粘结部25与接合面3a粘结。喷嘴板4也与图示省略的积层压电部件6的上端粘结。
[0127]框部件3的开口部被喷嘴板4覆盖。各压力室9的上端被喷嘴板4覆盖。
[0128]在框部件3的外侧,电极17暴露后,各电极17与柔性印刷接线板7连接。通过ACF23,柔性印刷接线板7与电极17电性连接。
[0129]在框部件3与柔性印刷接线板7的前端7a之间,形成电极暴露部17A。
[0130]之后,如图3所示,涂布形成粘结部24的粘结剂24A。
[0131]粘结剂24A涂布至超过掩模板固定面3c及柔性印刷接线板7的高度。粘结剂24A被没有间隙地填充至框部件3的第二侧面3d与柔性印刷接线板7的前端7a之间。电极暴露部17A被粘结剂24A覆盖。
[0132]之后,掩模板5配置在基板2的上方。以下,作为一个例子,以掩模板5被图不省略的保持夹具保持的例子进行说明。
[0133]在基板2的上方,保持夹具在X方向及Y方向移动,由此,确定掩模板5的平面图的位置。掩模板5进行位置对齐,以使喷嘴板4进入平面图中贯通孔5C的内部。
[0134]之后,如图4所示,图示省略的保持夹具使掩模板5在接近基板2的Z方向移动。
[0135]掩模板5的第一板状部5A在移动中,按压粘结剂24A上的空气。粘结剂24A上的空气随着第一板状部5A靠近粘结剂24A,向X方向及Y方向移动。第二固定面5b与第一面2a之间的空气容易沿第二固定面5b移动。通过第一固定面5a及第二固定面5b所排除的空气沿第二固定面5b的倾斜顺畅地排除。
[0136]首先,第一板状部5A的最下面的第一固定面5a与粘结剂24A接触。如果第一板状部5A进一步接近基板2,那么,第二固定面5b与粘结剂24A接触。
[0137]在第一固定面5a接触粘结剂24A之前,有时,在第一固定面5a与粘结剂24A之间卷入空气。但是,尤其是与第二固定面5b接触侧,空气沿第二固定面5b的倾斜顺畅地流动。很难在第二固定面5b上发生空气的流动的混乱,因此,能够抑制空气的卷入。
[0138]粘结剂24A被第一固定面5a及第二固定面5b向基板2的方向按压。第一板状部5A与基板2之间夹持的粘结剂24A向X方向移动。这时,相比第一固定面5a与掩模板固定面3c之间的间隙,第二固定面5b与第一面2a或柔性印刷接线板7之间的间隙较大。粘结剂24A在从框部件3朝向柔性印刷接线板7的X方向,更容易移动。
[0139]第二固定面5b随着从框部件3朝向柔性印刷接线板7,距离第一面2a的距离逐渐增大地倾斜。随着按压,粘结剂24A沿第二固定面5b的倾斜,向柔性印刷接线板7顺畅地移动。
[0140]第一板状部5A下降时,有时空气被卷入,粘结剂24A内产生气泡VI。这时,气泡VI配合粘结剂24A的移动而移动。因此,在第一固定面5a与掩模板固定面3c之间产生的气泡VI与粘结剂24A —同,被向框部件3的外侧压出。
[0141]如果气泡VI被向框部件3的外侧压出,那么,与粘结剂24A—同,向图示右侧移动。另外,气泡VI由于浮力向第二固定面5b侧上浮。
[0142]如图5所示,另外,如果第一板状部5A接近基板2,那么掩模板固定面3c与第一固定面5a之间变得非常狭窄。通过掩模板固定面3c与第一固定面5a之间夹持的粘结剂24A的粘性,降低了流动性。
[0143]对此,在框部件3的外侧,在第一面2a与第二固定面5b之间,具有更大的空间。在第一面2a与第二固定面5b之间,粘结剂24A容易沿第二固定面5b的倾斜流动。其结果为,在第一面2a与第二固定面5b之间移动的气泡V2与粘结剂24A —同进一步向图示右侧移动。
[0144]混入粘结剂24A的气泡在粘结剂24A保持流动性的期间,容易集中在第二固定面5b的上端部或第三面5c的下方(参照图5中的气泡V3)。
[0145]相对基板2的第一板状部5A的Z方向的距离如果到达特定的距离,那么基于图示省略的保持夹具的移动停止。
[0146]在保持掩模板5的位置的状态下,粘结剂24A固化。
[0147]如果粘结剂24A进行固化,并且形成具有特定的粘结强度的粘结部24,那么,将基于图示省略的保持夹具的保持解除。
[0148]另外,根据需要,安装图示省略的盖等。以上,制造了图1、图2所示的喷墨头1。
[0149](第二实施方式)
[0150]对第二实施方式的喷墨头进行说明。
[0151]图6是表示第二实施方式的喷墨头的主要部件的结构例的剖面模式图。
[0152]如图1所示,代替上述第一实施方式的喷墨头1的掩模板5,本实施方式的喷墨头31具有掩模板35。
[0153]以下,以与上述第一实施方式不同的点为中心进行说明。
[0154]代替上述第一实施方式中的掩模板5的第一板状部5A,掩模板35具有第一板状部35A。
[0155]如图6所示,代替第一板状部5A的第一固定面5a、第二固定面5b、及第三面5c,第一板状部35A形成有第一固定面35a、第二固定面35b、第三固定面35e、及第四面35f。
[0156]第一固定面35a是与上述第一实施方式中的第一固定面5a同样的平面。
[0157]第二固定面35b在从框部件3朝向柔性印刷接线板7的X方向中,与第一固定面35a邻接。第二固定面35b随着从框部件3朝向柔性印刷接线板7的X方向,距离基板2的第一面2a的距离逐渐增加。其中,第二固定面35b在相比柔性印刷接线板7的前端7a稍稍靠近框部件3的位置结束,这点与第二固定面5b不同。
[0158]第二固定面35b可以是平面也可以是弯曲面。本实施方式中,第二固定面35b作为一
当前第3页1 2 3 4 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1