TFT阵列基板测试装置及测试方法与流程

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种tft阵列基板测试装置及测试方法。

背景技术

随着显示技术的发展，液晶显示器(liquidcrystaldisplay，lcd)与有机发光二极管显示器(organiclightemittingdiode，oled)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。

现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(backlightmodule)。液晶显示面板的工作原理是在薄膜晶体管阵列基板(thinfilmtransistorarraysubstrate，tftarraysubstrate)与彩色滤光片基板(colorfilter，cf)之间灌入液晶分子，并在两片基板上施加驱动电压来控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线折射出来产生画面。

液晶显示器在工作时，由于背光模组会向液晶显示面板发射背光，背光照射到tft阵列基板中的tft器件会使tft器件产生光生载流子，影响tft器件的开关漏电性能，因而现有技术在制作tft阵列基板时，会设置检测tft基板中tft器件开关特性的项目，在进行此项测试时，需要设置背光源来照射tft器件以产生光生载流子来模拟真实的tft器件工作环境。目前一般会在已有的面板性能测试机(teg)内部设置背光源来实现光生载流子环境，并在tft阵列基板上设置若干测试组件，测试组件一般设置在tft阵列基板的显示区外侧，且测试组件与tft阵列基板的各个像素中的开关tft器件同时制作形成，其光生载流子特性与tft阵列基板的各个像素中的开关tft器件的光生载流子特性一致，因此对测试组件进行光生载流子干扰检测即可以获取tft阵列基板的各个像素中的开关tft器件的光生载流子特性。进行光生载流子干扰检测时，将测试组件设置在背光源上方，对测试组件进行侦测，从而获得测试组件光生载流子的产生情况以反映各个像素中开关tft器件的光生载流子特性。但此种设计中，安装背光源成本较高，同时，背光源无法灵活移动，容易产生tft阵列基板上某些位置的测试组件并不位于背光源上方的问题，无法有效实现光生载流子工作环境，并且由于不同型号的tft阵列基板上测试组件的分布差异较大，因此固定的背光源无法满足不同的tft阵列基板的测试需求。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种tft阵列基板测试装置，能够对tft阵列基板上不同位置的测试组件进行光生载流子干扰检测，装置成本较低。

本发明的另一目的在于提供一种tft阵列基板测试方法，能够对tft阵列基板上不同位置的测试组件进行光生载流子干扰检测，且操作简单。

为实现上述目的，本发明首先提供一种tft阵列基板测试装置，包括载台、设于载台上方的测试模块以及与测试模块连接的驱动模块；

所述测试模块包括设于载台上方的竖直的探头、设于探头一侧的连接部、设于连接部远离探头一侧的探测卡、设于载台上方的图像获取模块以及连接探头及图像获取模块的架体，所述架体与驱动模块连接；

所述图像获取模块位于探测卡上方；所述图像获取模块包括与架体连接的镜头以及设于镜头靠近载台一端的光源；

所述载台用于放置tft阵列基板；所述tft阵列基板的一侧设有测试组件，将tft阵列基板放置在载台上之后，tft阵列基板设有测试组件的一侧朝上；

所述驱动模块用于驱动架体移动带动探头、连接部、探测卡及图像获取模块移动，使所述使探测卡与测试组件接触从而使探测卡与测试组件电性连接；

所述图像获取模块用于利用其光源对测试组件进行光照；

所述探测卡用于在与测试组件电性连接后侦测流过测试组件的电流。

所述探测卡包括设于连接部远离探头一侧的本体以及设于本体远离探头的端部并向靠近载台的方向延伸的探针。

所述本体平行于水平面。

所述图像获取模块位于探针上方。

所述光源为环状光源。

所述图像获取模块为ccd相机，所述镜头为ccd镜头。

所述载台包括台体及设于台体下方的支座；所述测试模块位于台体上方。

所述架体设于探头及图像获取模块上方。

本发明还提供一种tft阵列基板测试方法，应用于上述的tft阵列基板测试装置，包括如下步骤：

步骤s1、提供tft阵列基板；所述tft阵列基板的一侧设有测试组件；将tft阵列基板放置于载台上，使tft阵列基板设有测试组件的一侧朝上；

步骤s2、驱动模块驱动架体移动带动探头、连接部、探测卡及图像获取模块移动，使探测卡与测试组件接触从而使探测卡与测试组件电性连接；

步骤s3、图像获取模块利用其光源对测试组件进行光照；

步骤s4、探测卡侦测流过测试组件的电流。

所述步骤s2中，驱动模块驱动架体移动带动探头、连接部、探测卡及图像获取模块移动，使探测卡的探针与测试组件接触从而使探测卡与测试组件电性连接。

本发明的有益效果：本发明的tft阵列基板测试装置包括载台、测试模块以及驱动模块，测试模块包括探头、连接部、探测卡、图像获取模块以及架体，图像获取模块包括光源，测试时将tft阵列基板放置在载台上使tft阵列基板上的测试组件朝上，而后驱动模块驱动架体移动带动探头、连接部、探测卡及图像获取模块移动，使探测卡与测试组件接触，图像获取模块利用其光源对测试组件进行光照，探测卡侦测流过测试组件的电流，从而能够实现对tft阵列基板上不同位置的测试组件进行光生载流子干扰检测，装置成本较低。本发明的tft阵列基板测试方法能够对各型号的tft阵列基板进行光生载流子干扰检测，且操作简单。

附图说明

为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图中，

图1为本发明的tft阵列基板测试装置的结构示意图；

图2为本发明的tft阵列基板测试方法的流程图；

图3为本发明的tft阵列基板测试方法的步骤s3及步骤s4的示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。

请参阅图1，本发明的tft阵列基板测试装置包括载台10、设于载台10上方的测试模块20以及与测试模块20连接的驱动模块30。

所述测试模块20包括设于载台10上方的竖直的探头21、设于探头21一侧的连接部22、设于连接部22远离探头21一侧的探测卡23、设于载台10上方的图像获取模块24以及连接探头21及图像获取模块24的架体25，所述架体25与驱动模块30连接。

所述图像获取模块24位于探测卡23上方。所述图像获取模块24包括与架体25连接的镜头241以及设于镜头241靠近载台10一端的光源242。

请结合图3，所述载台10用于放置tft阵列基板90。所述tft阵列基板90的一侧设有多个像素(未图示)以及测试组件91，每一像素均包括一开关tft器件，多个像素的开关tft器件与测试组件91同时制作形成，使得多个测试组件91的光生载流子特性与各个像素中的开关tft器件的光生载流子特性一致，因此对测试组件91进行光生载流子干扰检测即可以获取tft阵列基板90的各个像素中的开关tft器件的光生载流子特性。将tft阵列基板90放置在载台10上之后，tft阵列基板90设有测试组件91的一侧朝上。

所述驱动模块30用于驱动架体25移动带动探头21、连接部22、探测卡23及图像获取模块24移动，使所述使探测卡23与测试组件91接触从而使探测卡23与测试组件91电性连接。

所述图像获取模块24用于利用其光源242对测试组件91进行光照。

所述探测卡23用于在与测试组件91电性连接后侦测流过测试组件91的电流。

具体地，所述探测卡23包括设于连接部22远离探头21一侧的本体231以及设于本体231远离探头21的端部并向靠近载台10的方向延伸的探针232。

具体地，所述图像获取模块24位于探针232上方。

优选地，所述本体231平行于水平面。

具体地，所述光源242可以为环状光源。

具体地，所述图像获取模块24为电荷耦合器件(ccd)相机，所述镜头241为ccd镜头。

具体地，所述载台10包括台体11及设于台体11下方的支座12。所述测试模块20位于台体11上方。

优选地，所述架体25设于探头21及图像获取模块24上方。

请结合图3，本发明的tft阵列基板测试装置在对tft阵列基板90进行测试时，先将tft阵列基板90放置于载台10的台体11上，使tft阵列基板90设有测试组件91的一侧朝上，接着，驱动模块30驱动架体25移动带动探头21、连接部22、探测卡23及图像获取模块24移动，使探测卡23与测试组件91接触从而使探测卡23与测试组件91电性连接，具体为使探测卡23的探针232与测试组件91接触从而使探测卡23与测试组件91电性连接，由于图像获取模块24位于探测卡23上方，当探测卡23与测试组件91接触后，图像获取模块24会位于测试组件91上方，随后，图像获取模块24利用其光源242对测试组件91进行光照，实现光生载流子环境，使得测试组件91产生电流，之后探测卡23通过探针232侦测流过测试组件91的电流，以得到测试组件91的光生载流子特性用以反映tft阵列基板90的各个像素中的开关tft器件的光生载流子特性，从而实现对tft阵列基板90进行光生载流子干扰检测。光照条件可通过调节光源242的光照强度以及镜头241与tft阵列基板90之间的距离来进行控制。由于图像获取装置24会随着探头21及探测卡23移动至需要进行测试的测试组件91上方，因而本发明能够为tft阵列基板90上任意位置的测试组件91进行光生载流子干扰检测，并且能够实现对具有不同测试组件91布局的不同型号的tft阵列基板90进行光生载流子干扰检测，并且相较于现有技术采用整面的背光源，本发明的结构简单，成本较低。

请参阅图2，本发明还提供一种tft阵列基板测试方法，应用于上述的tft阵列基板测试装置，在此不再对tft阵列基板测试装置的结构进行重复性描述。该tft阵列基板测试方法包括如下步骤：

步骤s1、请结合图3，提供tft阵列基板90。所述tft阵列基板90的一侧设有多个像素以及测试组件91，每一像素均包括一开关tft器件，多个像素的开关tft器件与测试组件91同时制作形成，使得多个测试组件91的光生载流子特性与各个像素中的开关tft器件的光生载流子特性一致，因此对测试组件91进行光生载流子干扰检测即可以获取tft阵列基板90的各个像素中的开关tft器件的光生载流子特性。将tft阵列基板90放置于载台10上，使tft阵列基板90设有测试组件91的一侧朝上。

具体地，所述步骤s1中，将tft阵列基板90放置在载台10的台体11上。

步骤s2、请结合图3，驱动模块30驱动架体25移动带动探头21、连接部22、探测卡23及图像获取模块24移动，使探测卡23与测试组件91接触从而使探测卡23与测试组件91电性连接。

具体地，所述步骤s2中，驱动模块30驱动架体25移动带动探头21、连接部22、探测卡23及图像获取模块24移动，使探测卡23的探针232与测试组件91接触从而使探测卡23与测试组件91电性连接。

步骤s3、请参阅图3，图像获取模块24利用其光源242对测试组件91进行光照，实现光生载流子环境，使得测试组件91产生电流。

具体地，所述步骤s3中，光照条件可通过调节光源242的光照强度以及镜头241与tft阵列基板90之间的距离来进行控制。

步骤s4、探测卡23侦测流过测试组件91的电流，以得到测试组件91的光生载流子特性用以反映tft阵列基板90的各个像素中的开关tft器件的光生载流子特性，从而实现对tft阵列基板90进行光生载流子干扰检测。

具体地，所述步骤s4中，探测卡23通过探针232侦测流过测试组件91的电流。

需要说明的是，本发明的tft阵列基板测试方法利用驱动模块30驱动架体25移动带动探头21、连接部22、探测卡23及图像获取模块24移动，使图像获取装置24会随着探头21及探测卡23移动至需要进行测试的测试组件91上方，因而本发明能够为tft阵列基板90上任意位置的测试组件91进行光生载流子干扰检测，并且能够实现对具有不同测试组件91布局的不同型号的tft阵列基板90进行光生载流子干扰检测，且操作简单。

综上所述，本发明的tft阵列基板测试装置包括载台、测试模块以及驱动模块，测试模块包括探头、连接部、探测卡、图像获取模块以及架体，图像获取模块包括光源，测试时将tft阵列基板放置在载台上使tft阵列基板上的测试组件朝上，而后驱动模块驱动架体移动带动探头、连接部、探测卡及图像获取模块移动，使探测卡与测试组件接触，图像获取模块利用其光源对测试组件进行光照，探测卡侦测流过测试组件的电流，从而能够实现对tft阵列基板上不同位置的测试组件进行光生载流子干扰检测，装置成本较低。本发明的tft阵列基板测试方法能够对各型号的tft阵列基板进行光生载流子干扰检测，且操作简单。

以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。