用于制作结构的方法

专利名称：用于制作结构的方法
技术领域：
本发明涉及用于制作由光反应树脂或光固化树脂构成的结构的方法。该 光反应树脂(光敏树脂)通常称为抗蚀剂并被显影。该光固化树脂用于立体 平板印刷技术。这些树脂的共同点是使用光至少实现光反应。除非另外说明， 这些树脂在本说明书中称作"光反应树脂"。
背景技术：
如今对微结构的需求正在增加，该微结构例如由光反应树脂构成的生物 元件和光器件。为制作微结构己经设计出应用光刻技术(曝光)和纳米压印 技术，在该光刻技术中，掩模图案转印到树脂上，在该纳米压印技术中，模 具图案被转印。然而，光刻技术是这样一种技术在曝光之后，通过光反应 树脂的显影、蚀刻和分离步骤，将图案转印到光反应树脂下的基底上。纳米 压印技术是这样一种技术在压印之后，通过光反应树脂的蚀刻和分离步骤， 将图案转印到光反应树脂下的基底上。因此，这些技术不能用于由光反应树 脂构成的结构的制作。而且，在曝光之前光反应树脂通常呈液态。因此，为了支撑光反应树脂， 光反应树脂需要涂覆在基底上。因此，在完成图案转印之后，光反应树脂需 要从基底分离。然而，将光反应树脂分离是很困难的。该结构可能会被破坏。在立体平板印刷技术中，可以由液态紫外光固化树脂利用立体平板印刷 系统的紫外激光进行固化和层压，以在短时间内形成三维结构。然而，类似 地，难以将该三维结构从用于成形该三维结构的平台分离。己经提出这样的技术光反应树脂在曝光之后利用特定的去除器从基底 分离。因为需要大约零下20度的储存环境和曝光预处理(将温度升高至室 温，去泡等)，使用该特定移除器的技术并不可行。因此，难以简单地制作 由光反应树脂构成的结构，例如具有通孔图案的微结构装置。发明内容因此，本发明的示意性目的是提供一种方法，该方法能简单地制作由光 反应树脂构成的结构，而不破坏该结构。根据实施例的方案，用于制作由光反应树脂构成的结构的方法包括下述 歩骤在可溶于水的片构件上形成光反应树脂；选择性地对光反应树脂进行 曝光照射，以激发光活性，从而制备该结构；以及在该曝光步骤之后将该片 构件溶解于水中。


图1示出了根据本发明实施例的用于制作结构的方法中的步骤；图2A至图2E为图1中所示的制作方法中的步骤的截面示意图；图3示出了根据本发明另一实施例的用于制作结构的方法中的步骤；图4示出了图3所示的步骤1600的实例；图5A至图5D示出了图3所示的制作方法中的步骤；图6示出了图3所示的步骤1600的另一实例；图7A至图7C示出了图6所示的制作方法中的步骤；图8示出了根据本发明另一实施例的用于制作结构的方法中的步骤；图9A至图9C为示出图8所示的步骤1700的截面示意图；图IO示出了根据本发明另一实施例的用于制作结构的方法中的步骤；图ll示出了图10所示的步骤1800的细节的实例；图12示出了图10所示的步骤1900的细节的实例；图13A至图13F为对应于图IO所示的步骤的实例的截面示意图；图14A至图14G为对应于图IO所示的步骤的其它实例的截面示意图；图15示出了图11所示的步骤1800的细节的另一实例；图16示出了图12所示的步骤1900的细节的另一实例；图17A至图17F为对应于图14A至图15所示的步骤的实例的截面示意图；图18示出了根据本发明另一实施例的用于制作结构的方法中的步骤； 图19A至图19E为图18所示的制作方法中的步骤的截面示意图；图20示出了根据本发明另一实施例的用于制作结构的方法中的步骤；图21A至图21C为示出了图20所示的制作方法的截面示意图；具体实施方式
下面将参照

根据本发明实施例的用于制作结构的方法。图1示 出了该制作方法中的步骤。形成可溶于热水的片形件10 (步骤1100)。该可溶于热水的片形件10为能够溶于热水的片构件并由琼脂或聚乙烯醇树脂构成。这些材料也是环保的。琼脂可溶于温度大约为50摄氏度或更高温度的热水中。聚乙烯醇树脂 可溶于温度大约为80摄氏度或更高温度的热水中。可溶于热水的片形件10 的尺寸和形状不作特别限定。将光反应树脂20涂覆到可溶于热水的片形件10上(步骤1200)。可以 使用的光反应树脂的实例包括但不限于聚肉桂酸乙烯酯(polyvinyl cinnamate)、环化聚异戊二烯-bisazide (cyclized polyisoprene-bisazide)、酚 醛清漆树脂(novolacresin)、碳氟树脂(flurocarbon resin)以及脂环族树脂 (alicyclicresin)。涂覆机可以用于该涂覆。图2A为这种状态下的横截面示 意图。掩模30的图案32包括遮光部32a和透光部32b，并且该图案被曝光， 由此将图案转印到光反应树脂20上(步骤1300)。水银灯或受激准分子激 光器系统可以用作曝光光源。所使用的曝光光源的类型并不受特别的限定。 转印的图案可以与其原始尺寸相同或更小。通过来自光源的光照亮掩模30 的照明光学系统可以设置在光源和掩模30之间。将来自掩模30的光线投影 到光反应树脂上的投影光学系统可以设置在掩模30和光反应树脂20之间。 这些光学系统包括透镜、反射镜、孔径光阑等。该掩模30可以是透射型或反射型。图2B为示出曝光过程中的状态的截 面示意图。在图2B中，掩模30接触光反应树脂20，并且转印的图案的尺 寸与其原始尺寸相同。本发明包括这样的情况设置投影光学系统并且转印 图案的尺寸与其原始尺寸相同或比其原始尺寸更小。图2C是示出曝光完成 之后光反应树脂20的状态的截面示意图。光反应树脂20包括未曝光的部分 22和曝光部分24，该未曝光的部分22通过图案遮蔽该部分而免于光照射而 形成，曝光部分24通过将该部分暴露于光以实现固化而形成。在曝光完成之后，掩模30与光反应树脂20分离。执行显影和冲洗(步骤1400)。可溶于热水的片形件10不溶于显影剂 或清洁剂。如图2D所示，移除未曝光部分22以形成孔。曝光部分24留作 固化树脂25。如果光反应树脂20正性抗蚀剂(positive resist)，就获得图 2D所示的负性抗蚀剂(negative resist)的反转图案(reverse pattern)。图 2A至图2E是显影完成之后，包括光反应树脂20和可溶于热水的片形件10 的结构1的截面示意图。执行热水处理(步骤1500)。对于琼脂来说，所使用的水温大约是50 "C或更高，对于PVA树脂来说，所使用的水温大约是8(TC或更高。如图2E 所示，可溶于热水的片形件10溶于热水中，以离开微结构2。微结构2包括 具有通孔23的图案。根据该制作方法，将片构件溶于热水中以使该结构与片构件分离。由于 片构件仅浸入热水中因此不会破坏该结构。因此，可以简单并稳定地获得通 过曝光而使图案转印而形成该(微)结构。热水的成本低而且环保。可以仅使用图2E中所示的结构2。该结构2可以与支撑构件40 —起使 用。支撑构件40可以连接到结构2以仅仅支撑或加固该结构2。该支撑构件 40可以具有光学效应。下面将参照图3至图5D描述实施例。图3示出了图 l所示的制作方法中的歩骤的变型。图3不同于图1之处在于，在步骤1400 和1500之间设置步骤1600。参照图3，在步骤1400之后，支撑构件40固 定至显影后的光反应树脂20 (步骤1600)。下面将参照图4详细说明步骤1600。图4示出了图3所示的步骤1600。 形成支撑构件40 (子步骤1602)。如图5A所示，当在俯视图中观察时，根 据本实施例的支撑构件40具有中空的矩形柱。然而，该支撑构件的尺寸和 形状不受特别的限定。支撑构件40包括多个柱42和多个开口 44。所述柱 42支撑光反应树脂20。每个柱42的厚度和形状不受限制。所述开口 44与 所述通孔23相连通。每个开口 44的长度和尺寸不受限制。将粘结剂46涂覆到支撑构件40的底面41上(子步骤1604)。构成粘 接剂的材料不受限制。粘接剂46在热水处理的过程中不需要分离。将支撑 构件40定位于并连接到显影后的树脂20的上表面20a上以形成结构1A(子 步骤1606)。上表面20a相对于下表面20b设置，可溶于热水的片形件10连接到该下表面20b。在结构1A中，可溶于热水的片形件10固定至光反应 树脂20的下表面20b，并且支撑构件40固定至光反应树脂20的上表面20a。 图5B为示出定位之后的状态的截面示意图。每个开口 44的中心线d和对 应的一个通孔23的中心线C2与中心线C对齐。每根柱42定位于对应的一 个固化的光反应树脂25的中心。图5C是可溶于热水的片形件10和光反应 树脂20的截面示意图，该光反应树脂20具有上表面20a，支撑构件40连接 到该上表面上。执行步骤1500以获得图5D所示的结构。在结构2A中，支撑构件40 利用粘接剂46固定到光反应树脂20的上表面20A。根据本实施例，可以获 得由支撑构件支撑并用支撑构件加固的树脂结构。下面将参照图6说明步骤1600的变型。图6示出了步骤1600。在图6 中，支撑构件40的成形和安装在单个步骤中执行。将显影后的光反应树脂20和可溶于热水的片形件10连接到模具50上 (子步骤1612)。模具50连接到光反应树脂20的上表面20a。图7A示出 了被夹持的模具50中的空腔的状态。模具50具有通道54、 56和58。通道 54限定了支撑构件40的形状。通道56渐縮并设置成适应通道54。树脂60 被分隔在通道54和56之间。模具50可以在通道54和56之间分隔成上模 部和下模部。每个通道56连接至通道58。通道58向通道56提供热塑性树 脂60。热塑性树脂的非限制性实例包括聚碳酸酯(polycarbonate)和聚醚酰 亚胺(polyetherimide)。也可以结合有金属构件和有机材料。在夹持之后，将热塑性树脂60注入模具50中(步骤1614)。在该实施 例中，利用注模(injection molding)法将温控热塑性树脂60从供应源(未 示出)通过通道58注入模具50中。可以使用本领域技术人员所熟知的注模 设备。该支撑构件40可以通过注模法而高精度地制成。当注入树脂60时， 热塑性树脂60与光反应树脂20相结合。因此，并不需要图5B中所示的粘 接剂46。在打开模具之后，就获得图7B所示的结构1B (子步骤1616)。该结构 1B包括连接到光反应树脂20的下表面的可溶于热水的片形件10和连接到 光反应树脂20的上表面20a的支撑构件40。不同于结构1A，结构1B并不 包括支撑构件40和光反应树脂20的上表面20a之间的粘接剂。支撑构件40的形状和尺寸与结构1A中的相同。于是，执行歩骤1500以获得如图7C所示的连接到支撑构件40的结构 2B。结构2B包括固定到光反应树脂20的上表面20a的支撑构件40。不同 于结构2A，结构2B并不包括支撑构件40和光反应树脂20的上表面20a之 间的粘接剂46。实际上可以使用结构2A和2B。或者，可以使用通过切割结构2A和2B 而形成的单个或多个结构。下面将参照图8至图9C描述该实施例。图8示 出了图3所示的制作方法的变型中的步骤。图8不同于图3之处在于设置在 步骤1500和1600之间的步骤1700。参照图8，步骤1600之后，切割结构1A或1B (步骤1700)。如图9A 所示，利用切割刀片70执行切割。切割刀片70包括旋转部件71和固定到 旋转部件71上的刀片72。切割刀片70将结构1B切割成片。图9A所示的 结构1B可以由结构1A代替。如图9B所示，得到的每个片是结构1C，该 结构1C包括可溶于热水的片形件10、具有一个通孔23的光反应树脂20以 及支撑构件40。在利用切割刀片70切割结构1B之前，可溶于热水的片形件10的背面 10b —侧面向切割刀片70 —侧。刀片72沿着支撑构件40的每根柱42的中 心线D切割结构1B。从桶74将冷冻剂75供应到刀片72的切割位置。可溶 于热水的片形件10防止碎片进入柱42中。图9B所示的结构1C可以立即用于步骤1500以形成图9C所示的结构 2C。结构2C包括固定到光反应树脂20的支撑构件40。在封装、运输和解 装(unpacked)结构2C的情况下，优选的是，在用作装置之前，立即对结 构1C执行这些步骤以及步骤1500。因此，在这些步骤过程中，可溶于热水 的片形件10防止外来物体进入柱42中。更确切地说，根据本实施例，片形 件可以在切割过程中防止碎片进入光反应树脂和支撑构件。在根据图1的制作方法中，从处理的角度来看，可溶于热水的片形件10 优选地由支撑结构支撑，直到曝光完成。下面将参照图10描述该实施例。 图IO示出了图1所示的制作方法的变型中的步骤。图IO所示的变型的方法 不同于图1所示的制作方法之处在于，在步骤1100和1200之间设置步骤 1800，以及在步骤1300和1400之间设置步骤1900。参照图10，步骤1100之后，支撑可溶于热水的片形件10 (歩骤1800)。下面将参照图11至图14G详细描述步骤1800。图11示出了步骤1800 的细节。形成基板80 (子步骤1802)。如图13A所示，根据本实施例的基板80 是在表面80a上具有凹槽82的平板，并由树脂或玻璃构成。当从俯视图中 观察时，基板80为矩形。凹槽82呈矩形形状，该矩形大于结构2的外部形 状。凹槽82形成于曝光区域的外部。在本实施例中，基板80通过注模法利 用热塑性树脂形成。根据另一实施例，如图14A所示，使用具有凸块81的 基板80A代替基板80。包括凸块81的平板覆盖曝光区域。凸块81的高度 高于周围的平坦部的高度。利用双面胶83将可溶于热水的片形件10定位并接合到基板80上(子 步骤1804)。在一实施例中，如图13A所示，在定位之后，可溶于热水的片形件10 在基板80的表面80a的边缘弯曲。可溶于热水的片形件10的端部11接合 至基板80的背面80b。因此，可以在基板80的表面80a—侧保持可溶于热 水的片形件10的平整性。图13A是示出可溶于热水的片形件10相对于基板 80而定位的状态下的截面示意图。根据另一实施例，如图14A所示，在可溶于热水的片形件10定位之后， 利用双面胶83将可溶于热水的片形件10的端部11在表面80a上的凹槽82 的外部接合至基板80A的端部。更确切地说，接合部形成于外围部，该外围 部的高度小并且位于曝光区域的外部。图14A是示出可溶于热水的片形件 10相对于基板80A定位的状态下的截面示意图。图14B是示出可溶于热水 的片形件10接合至基板80A的状态下的截面示意图。将光反应树脂20涂覆到可溶于热水的片形件10上(步骤1200)。图 13B和图14C是示出该状态的截面示意图。光反应树脂20涂覆到可溶于热 水的片形件10在凹槽82内的区域中。特别地，在图14C中，外围区域的高 度比中心曝光区域的高度较低。因此，在通过旋涂涂覆光反应树脂20时， 可以确保均匀的厚度。将掩模30的图案32通过曝光转印到光反应树脂20上(步骤1300)。 图13C和图14D是示出曝光过程中的状态的截面示意图。移除对可溶于热水的片形件10的支撑(步骤1900)。如图12所示，在 该实施例中，利用切割机84沿着凹槽82切割可溶于热水的片形件10，以将 片形件与基板80分离(子步骤1902)。图13D和图14E为示出切割过程中 的状态的截面示意图。图13D所示的方法可用于使用多角形外形的基板的曝光处理。执行显影和冲洗(步骤1400)，以形成与图2D所示的基板类似的基板 1，如图13E和14F所示。执行热水处理(步骤1500)，以形成与图2E所 示的结构类似的结构2，如图13F和图14G所示。根据参照附图13A至14G 的实施例，片构件由基板容易地支撑。根据参照附图14A至图14G的实施 例，可以确保光反应树脂稳定的厚度。下面将参照附图15至附图17F详细描述图12所示的步骤1900和图11 所示的步骤1800的变型的实例。图15示出了图11所示的步骤1800的细节 的变型的实例。图16示出了图12所示的步骤1900的细节的变型的实例。形成支撑结构85 (子步骤1812)。支撑结构85包括安装在箱86上的 多孔构件87。箱86由铝等构成并呈柱状或近似矩形平行六面体状。箱86包 括凸块86a和排气口 86c。凸块86a从内表面朝箱86的内部伸出。从箱86 的底面86d以恒定的高度沿着箱86的内周面设置凸块86a。凸块86a用作多 孔构件87的支撑件。当多孔构件87连接到凸块86a时，在多孔构件87的 背面87b与底面86d之间形成排气空间86b。排气空间86b与排气口 86c相 连通。排气口 86c通过管线88和阀89连接到真空泵(未示出)。因此，从 排气口 86c抽空排气空间86b。在可溶于热水的片形件10被支撑的过程中， 排气空间86d保持低压。多孔构件87由陶瓷材料等构成并呈柱状或呈近似 矩形平行六面体状，多孔构件87的表面87a与箱86的顶面86e平齐。降低 排气空间86b内的压力后，开始从多孔构件的表面87a吸气。将可溶于热水的片形件10定位并设置在支撑结构85上(子步骤1814)。 在这里的可溶于热水的片形件的尺寸对应于切割后图13D和图14E中所示的 可溶于热水的片形件10的尺寸。在定位和设置过程中关闭阀89;因此，排 气空间86b的压力为大气压。由此，可溶于热水的片形件10仅设置于箱86 的顶面86e上以及支撑结构85的多孔构件87的表面87a上，而且没有固定。 图17A是示出定位之后的可溶于热水的片形件10和支撑结构85的截面示意图。开始抽气(子步骤1816)。在抽气过程中打开阀89;因此，排气空间 86b内的压力降低。由此，可溶于热水的片形件IO被吸取并固定到支撑结构 85的多孔构件87的表面87a上。图17B为示出抽气之后可溶于热水的片形 件10固定到支撑结构85的状态的截面示意图。在继续抽气时，将光反应树脂20涂覆到可溶于热水的片形件10上(步 骤1200)。图17C是示出该状态的截面示意图。在继续抽气时，将掩模30 的图案32通过曝光转印到光反应树脂20上(步骤1300)。图17D是示出 曝光过程的状态的截面示意图。移除对可溶于热水的片形件10的支撑(步骤1900)。在本实施例中， 抽气结束，于是将可溶于热水的片形件10从支撑结构85分离(子步骤1912)。 图17E是示出分离之后的状态的截面示意图。不需要图13D和图14E所示 的利用切割机84进行切割操作，由此改善了可加工性。执行显影和冲洗(步骤1400)。因此，获得与图2D所示的基板类似的 基板l。执行热水处理(步骤1500)。因此，获得与图2E所示的结构类似 的结构2，如图17F所示。根据本实施例，片构件通过多孔构件和抽气操作 而容易地受到支撑。而且，通过结束抽气，片构件容易地与多孔构件分离。在图1所示的步骤1300中，通过曝光执行图案转印。在另一实施例中， 通过纳米压印执行图案转印。在这种情况下，使用具有凸纹图案36的模具 35取代掩模30。下面将参照图18至图19E描述本实施例。图18示出了根 据本实施例的制作方法中的步骤。形成可溶于热水的片形件10 (步骤1100)。如图19A所示，类似图2A 所示的歩骤，将光反应树脂20涂覆到可溶于热水的片形件10上(步骤1200)。 通过纳米压印将模具35的图案转印到光反应树脂20上(步骤1350)。具体 地，如图19B所示，可溶于热水的片形件10和光反应树脂20安装到纳米压 印设备(未示出)并相对于安装到压力板38上的模具35进行定位。如图19C 所示，模具35利用压力板38压抵在光反应树脂20上并用紫外线照射。压 力板38和模具35均由导光材料例如石英构成。可以利用紫外线通过压力板 38和模具35对光反应树脂20进行照射以实现固化。然后模具35与光反应 树脂分离。图19D是示出包括光反应树脂20和可溶于热水的片形件10的结构ID的截面示意图。通过热水处理溶解可溶于热水的片形件以获得图19E 所示的结构2D (步骤1500)。根据该制作方法，将片构件溶解于热水中以使该结构与片构件分离。由 于片构件仅浸入在水中，因此不会破坏该结构。因此，可以简单并稳定地获 得利用纳米压印通过转印图案而形成的(微)结构。热水的成本低且环保。下面将参照图20至图21C描述将可溶于热水的片形件10应用到立体平 板印刷中的实施例。图20示出了根据本实施例的制作方法中的步骤。图21A 是立体平板印刷系统的截面示意图。如同在步骤1100中，形成可溶于热水 的片形件IO (步骤2100)。将可溶于热水的片形件IO安装在立体平板印刷 系统100的升降机130的工作台136上并浸没(步骤2200)。立体平板印刷系统100包括光源110、扫描仪120、升降机130、容器 140和控制单元150。光源110由紫外线激光器例如KrF受激准分子激光器 构成。扫描仪包括光学系统122，该光学系统122具有透镜和反射镜。扫描 仪120引导光源110发出的激光L并在xy平面内扫描光反应树脂。升降机 130包括柱132; L形臂部134，其沿柱132在z方向上移动；工作台136， 其连接到臂部134。可溶于热水的片形件10设置在工作台136的顶面137上。 容器140呈箱形，其容纳光反应树脂(光固化树脂)20，并包括由导光材料 构成的盖142。TSR820可以用作用于立体平板印刷系统的本实施例的光固化 树脂。控制单元150根据待成形的物体的信息控制光源110、扫描仪120和 升降机130的操作。立体平板印刷系统100的结构可以是本领域技术人员所 公知的。因此省略对该结构的描述。控制单元150通过利用激光L扫描树脂并降低升降机130而开始立体平 板印刷(步骤2300)。具体地，将三维模型分成薄片并转换成轮廓线数据。 控制单元150根据轮廓线数据控制扫描仪120。因此，激光L通过盖142扫 过容器140内的光反应树脂20的表面，以画出截面形状。利用激光L照射 的部分被固化以在工作台136上形成该形状的一个横截面层。控制单元150 此时使连接到升降机130的臂部134降低一层。连续地层压多个薄的横截面， 由此形成对应于三维模型的三维物体。通过重复该过程形成三维物体4。立 体平板印刷完成之后，控制单元150结束从光源110辐射激光L(步骤2400)。控制单元150提升臂部134以从立体平板印刷系统100中移除三维物体4和可溶于热水的片形件10。图21B是成形之后从立体平板印刷系统移除的 三维物体和可溶于热水的片形件10的截面示意图。通过热水处理溶解可溶于热水的片形件10，从而得到图21C所示的三 维物体4。根据该制作方法，片构件容易地从支撑该片构件的工作台移除。 而且，利用热水容易地将三维物体从片构件移除。由此，可以简单并稳定地 制作三维物体。本发明的实施例已经描述如上。本发明并不限于这些实施例。在不脱离 本发明的范围的情况下，可以进行各种变形和变化，。本发明提供了简单地制作由光反应树脂构成的结构、而不会破坏该结构的方法。
权利要求
1.一种用于制作光反应树脂构成的结构的方法，该光反应树脂具有光活性，该方法包括下列步骤在可溶于水的片构件上形成所述光反应树脂；选择性地对所述光反应树脂进行曝光照射，以激发光活性，从而制备该结构；以及在曝光步骤之后使该片构件溶解于水中。
2. 根据权利要求1所述的方法，其中形成光反应树脂的步骤包括 将所述光反应树脂涂覆到该片构件上；以及在该曝光步骤之后，使所述光反应树脂显影，在溶解步骤之前进行显影步骤。
3. 根据权利要求2所述的方法，其中该曝光歩骤包括通过具有遮光部和透光部的掩模的图案曝光处于液态的、涂覆到该片构件上的所述光反应树 脂，该图案被转印到所述光反应树脂上。
4. 根据权利要求1所述的方法，其中该形成步骤包括 将所述光反应树脂涂覆到该片构件上；将模具的不平整图案转印到处于液态的、涂覆在该片构件上的所述光反 应树脂上，通过纳米压印转印所述图案。
5. 根据权利要求1所述的方法，其中该片构件能够在升高的温度下溶 解，并且在该升高的温度下执行溶解该片构件的操作。
6. 根据权利要求1所述的方法，其中该片构件包括琼脂。
7. 根据权利要求1所述的方法，其中该片构件包括聚乙烯醇树脂。
8. 根据权利要求1所述的方法，其中还包括步骤 将支撑构件固定在所述光反应树脂上，以支撑所述光反应树脂。
9. 根据权利要求8所述的方法，其中还包括步骤将模具安装至所述光反应树脂，该模具具有适应该支撑构件的通道；以及将所述树脂注入该模具中，以将该支撑构件固定至所述光反应树脂。
10. 根据权利要求8所述的方法，其中还包括步骤利用刀片切割该片构件、所述光反应树脂和该支撑构件，该片构件面向 该刀片。
11. 根据权利要求2所述的方法，其中还包括步骤在该曝光步骤之前，利用双面胶将该片构件接合至具有凹槽的基板；以及沿着该凹槽切割该片构件，以从该基板上移除该片构件。
12. 根据权利要求4所述的方法，其中还包括步骤在该曝光步骤之前，利用双面胶将该片构件接合至具有凹槽的基板；以及沿着该凹槽切割该片构件，以从该基板上移除该片构件。
13. 根据权利要求11所述的方法，其中该基板具有面向该片构件的凸 块，该凸块的高度大于该双面胶的厚度，并且通过旋涂方法执行涂覆步骤。
14. 根据权利要求12所述的方法，其中该基板具有面向该片构件的凸 块，该凸块的高度大于该双面胶的厚度，并且通过旋涂方法执行涂覆步骤。
15. 根据权利要求1所述的方法，其中还包括步骤 在该曝光步骤之前，将该片构件设置在多孔构件的一侧； 通过从该多孔构件的另一侧抽吸，将该片构件固定在该多孔构件的一侧上；以及在显影步骤之前，通过停止抽吸使该片构件与该多孔构件的一侧分离。
16. 根据权利要求1所述的方法，其中形成步骤包括将片构件放置在液 态的光反应树脂中，并且该曝光步骤包括利用光源的光照射和扫描所述光反 应树脂，逐步降低该片构件，固化所述光反应树脂以在该片构件上形成该结
全文摘要
本发明涉及一种制作由光反应树脂构成的结构的方法，该方法包括下列步骤在可溶于水的片构件上形成光反应树脂；选择性地对光反应树脂进行曝光照射，以激发光活性，从而产生该结构；以及在该曝光步骤之后将该片构件溶解于水中。
文档编号G03F7/30GK101266404SQ20081008367
公开日2008年9月17日 申请日期2008年3月14日 优先权日2007年3月16日
发明者松下直久, 饭田进 申请人:富士通株式会社