滤色器及其制造方法以及液晶显示装置的制作方法

专利名称：：滤色器及其制造方法以及液晶显示装置的制作方法
技术领域：
：本发明涉及滤色器(colorfilter)及其制造方法以及液晶显示装置。
背景技术：
：滤色器是液晶显示器(LiquidCrystalDisplay:LCD)和固体摄像元件中不可缺少的构成部件。例如，液晶显示器逐渐用于电视机，液晶显示器用滤色器与目前的笔记本电脑(laptopcomputer)用或监视器(monitor)用滤色器相比，要求具有更高品质的画质。另外，为了生产大型TV，基板尺寸扩大，对合格率提高及成本削减的需求变大。关于上述画质的提高，在滤色器制造时存在以下问题在黑矩阵(blackmatrix)与着色像素的边界部分着色图案凸起，因滤色器不平坦而导致画质下降(例如参照日本专利特开平9-113721号公报)。上述边界部分的凸起有时会引起对比度(contrast)下降、颜色不均等。因此，以往在像素制作后对滤色器的表面进行研磨或在像素上形成保护(overcoat)层(以下有时也称为"OC层")来应对。但是，若进行研磨或形成OC层，则滤色器的制造工序增加，成本提高。此外，在研磨时，有时会产生滤色器受损等弊端，谋求能省略研磨工序和/或OC层形成工序的方法。针对于此，尝试了通过减少黑矩阵的锥角(taperangle)来解决上述边界部分的凸起问题(例如参照日本专利特开平9-113721号公报和日本专利特开2003-161826号公报)。在日本专利特开2003-161826号公报中，还通过喷墨(inkjet)法仅在黑矩阵框内赋予着色组合物。但是，若采用日本专利特开平9-113721号公报中所述的方法，则需要大量工序以得到具有上述锥角的黑矩阵。具体而言，将黑矩阵形成用感光性黑色组合物在基板上涂布干燥后，再涂布正型抗蚀剂(positiveresist),调节该感光性黑色组合物与正型抗蚀剂的显影速度，是费时费力的方法。而且，仅调节锥角时，抑制着色图案凸起的效果不充分。此外，该技术并非针对lmxlm以上的大型基板。另一方面，在日本专利特开2003-161826号公报中，由于通过喷墨法在基板上赋予着色组合物来形成着色图案，因此不适于抑制在通过着色组合物的涂布和/或转印等来形成着色图案时产生的黑矩阵与着色图案重叠的重叠部分的着色图案的凸起。在黑矩阵与着色像素的边界部分，黑矩阵高于着色像素而产生高度差，滤色器不平坦，有时同样会产生的画质下降的问题。
发明内容鉴于上述情况，本发明的目的在于提供无需追加研磨或设置保护层等工序、用成本低且简易的方法即可抑制在黑矩阵与着色像素的边界部分着色图案的凸起而得到高品质图像的滤色器及其制造方法以及液晶显示装置。<1>一种滤色器的制造方法，其具有黑矩阵形成工序，通过使用感光性黑色组合物在基板上形成感光性黑色组合物层，并将所述感光性黑色组合物层曝光以及将曝光后的所述感光性黑色组合物层显影，来形成下述黑矩阵图案，然后将形成的黑矩阵图案烘烤，所述黑矩阵图案位于从所述感光性黑色组合物层内的上部端向所述基板的法线方向延伸的线与所述感光性黑色组合物层内的下部端之间在黑矩阵宽度方向上的距离为-3.0iam+3.(Vm范围的位置；禾口着色图案形成工序，通过在烘烤后的形成有黑矩阵的所述基板上，使用感光性着色组合物形成感光性着色组合物层，将所述感光性着色组合物层曝光，将曝光后的所述感光性着色组合物层显影，将显影后的所述感光性着色组合物层烘烤，来形成着色图案，其中，该烘烤后的、该着色图案与所述黑矩阵相重叠的重叠部在黑矩阵宽度方向上的长度为1.(Him12jam。<2>根据<1>所述的滤色器的制造方法，其中，在上述基板上形成的上述感光性黑色组合物层的厚度为0.2pm2.2^im。<3>根据<1>所述的滤色器的制造方法，其中，在上述黑矩阵形成工序中的上述显影中，显影温度为2(TC35X:,显影时间为20秒120秒。<4>根据<3>所述的滤色器的制造方法，其中，上述显影温度为2(TC30°C，上述显影时间为30秒70秒。<5>根据<1>所述的滤色器的制造方法，其中，上述黑矩阵形成工序中在上述感光性黑色组合物层形成工序后并在上述曝光工序前还含有预烘烤工序。<6>根据<5〉所述的滤色器的制造方法，其中，所述预烘烤工序中的预烘烤温度为65。C12(TC。<7>根据<5>所述的滤色器的制造方法，其中，所述预烘烤中的预烘烤时间为50秒300秒。<8>根据<1>所述的滤色器的制造方法，其中，在上述着色图案形成工序中的上述曝光中，隔着掩模图案进行曝光，曝光图案与黑矩阵的交叠部分在黑矩阵宽度方向上的长度为3.0pm8.(Him。<9>根据<8>所述的滤色器的制造方法，其中，在上述着色图案形成工序中的上述显影中，显影温度为2(TC35"C，显影时间为20秒120秒。<10〉根据<8>所述的滤色器的制造方法，其中，在上述着色图案形成工序中，曝光图案与黑矩阵的交叠部分在黑矩阵宽度方向上的上述长度为2.(Him10(im，上述显影温度为2(TC35t:，上述显影时间为20秒120秒。<11>根据<10>所述的滤色器的制造方法，其中，上述长度为3.(Him8.0nm，上述显影温度为2(TC3(TC，显影时间为30秒70秒。<12>根据<1>所述的滤色器的制造方法，其中，上述重叠部距离基板表面最远的部分与上述重叠部以外的部分之间在基板的法线方向上的距离为0.5(im以下。<13>根据<1>所述的滤色器的制造方法，其中，感光性着色组合物层的层厚为0.5jLim3.0pm。<14>一种滤色器，其是用<1><13>中任一项所述的滤色器的制造方法制造的滤色器，具有黑矩阵与着色图案相重叠的重叠部，上述重叠部在黑矩阵宽度方向的长度为1.0^im12^im。<15>根据<14>所述的滤色器，其中，上述着色图案的表面中上述重叠部距离基板表面最远的部分与上述重叠部以外的部分之间在基板的法线方向上的距离为0.50pm以下。<16>—种液晶显示装置，其具有<14〉所述的滤色器。<17>—种液晶显示装置，其具有<15〉所述的滤色器。本发明能提供无需追加研磨或设置保护层等工序、用成本低且简易的方法即可抑制在黑矩阵与着色像素的边界部分凸起而得到高品质图像的滤色器及其制造方法以及液晶显示装置。图1是从上端部到下端部几乎一致的显影后的黑矩阵基板的局部剖面图。图2是产生倒锥形的显影后的黑矩阵基板的局部剖面图。图3是产生锥形的显影后的黑矩阵基板的局部剖面图。图4是后烘烤处理后的黑矩阵基板的局部剖面图。图5是后烘烤处理后的黑矩阵上形成着色层的滤色器基板的局部剖面图。图6是形成了重叠部的滤色器的局部剖面图。图7是在重叠部具有凸起的滤色器的局部剖面图。图8是用于求出凸起的高度的测定方法的概念图。具体实施例方式以下，对本发明的滤色器及其制造方法以及液晶显示装置进行详细说明。滤色器的制造方法
技术领域：
：本发明的滤色器的制造方法包括形成黑矩阵的工序(黑矩阵形成工序)和形成着色图案的工序(着色图案形成工序)，还可以根据需要含有其他工序。以下，对黑矩阵形成工序和着色图案形成工序进行说明。7黑矩阵形成工序在本发明的黑矩阵形成工序中，至少通过使用感光性黑色组合物在基板上形成感光性黑色组合物层(感光性黑色组合物层形成工序)、将上述感光性黑色组合物层曝光的工序(曝光工序)以及将上述曝光后的上述感光性黑色组合物层显影(显影工序)，形成相对于上述感光性黑色组合物层内的上部端，使下部端位于黑矩阵的宽度方向上的-3.0+3.0pm处的黑色矩阵图案，然后，通过将形成的黑色矩阵图案烘烤(烘烤工序)来形成黑色矩阵。在黑色矩阵形成工序中，除上述工序外，还可以根据需要设置其他工序。黑矩阵在本发明中，黑矩阵的光学浓度(opticaldensity:OD)优选为2.08.0，更优选为3.08.0，进一步优选为4.06.0。当光学浓度为2.0以上时，能抑制对比度下降等显示装置的显示品质的下降。另外，这里所谓的光学浓度是指ISOVisual(视觉)透射光学浓度。作为能在ISOVisual透射光学浓度的测定中使用的测定器，可以列举例如阪田油墨公司(SAKATAINXENG.Co.，Ltd.)的X-Rite361T(V)。黑矩阵的线宽(夹在着色图案间的、与黑矩阵的长度方向正交的方向的长度)为5pm3(Him，其从高开口率能确保亮度的观点出发成为优选。关于黑矩阵的厚度(黑矩阵在基板的法线方向的长度)，从减小在黑矩阵与着色图案相重叠的重叠部的凸起(优选为0.50|am以下)的观点出发，优选为0.2pm2.2^im，进一步优选为0.2jam1.6|im，更优选为0.5pm1.3pm。若在该厚度范围内，则设有黑矩阵的基板的凹凸即黑矩阵的形成区域与非形成区域的高度差适宜，在黑矩阵形成后能以高精度在其上形成RGB等着色图案(着色像素)。感光性黑色组合物层形成工序在本工序中，使用感光性黑色组合物在基板上形成感光性黑色组合物层。作为能在本工序中使用的基板，可以列举例如在液晶显示元件等中使用的无碱玻璃、钠钙玻璃、PYREX(注册商标)玻璃、石英玻璃及粘附有透明导电膜的上述玻璃以及在固体摄像元件等中使用的光电转换元件基板例如有机硅基板等。此外，还可以使用塑料基板。其中，从耐试剂性和耐热性的观点出发，优选无碱玻璃。在这些基板上首先形成格子状等黑矩阵以隔离各像素，然后在格子的间隙部分形成着色像素。另外，在这些基板上，还可以根据需要设置底涂层用来改善与上部层之间的密合性、防止物质扩散或使基板表面平坦化。从进一步发挥本发明效果的观点出发，基板优选大型(一边约为lm以上)的基板。作为在基板上形成感光性黑色组合物层的方法，例如有通过涂布等在基板上赋予感光性黑色组合物的方法。作为在基板上赋予感光性黑色组合物的方法，可以使用狭缝涂布(Slitcoating)、喷墨法、旋转涂布、流延涂布(castcoating)、辊涂布(rollcoating)、丝网印刷法(screenprinting)等各种赋予方法。其中，从精度和速度的观点出发，优选狭缝涂布。从提高涂布性的观点出发，优选在进行这些涂布前使用紫外线或各种洗涤液洗涤基板。此外，还可以使用将事先在临时支撑体上通过上述赋予方法形成的涂膜转印到基板上的方法。关于转印方法，本发明可以优选使用日本专利特开2006-23696号公报的段落编号、或日本专利特开2006-47592号公报的段落编号中所述的制作方法。作为转印中使用的层压机(laminator)，可以优选使用WO2006-4225的图24中记载的大型双贴层压机或国际申请号JP2007/069132号公报中记载的层压机。通过使用这些层压机，能得到高成产率。将感光性黑色组合物赋予基板上时的厚度(例如涂布厚度)可以根据所形成的黑矩阵的厚度的设计值来做适当调整，一般优选为0.2pm2.2nm，进一步优选为0.2(im1.6|am，最优选为0.5|Lmi1.3^im。曝光工序在曝光工序中，将在上述感光性黑色组合物层形成工序中形成的感光性黑色组合物层通过规定的掩模图案(maskpattern)曝光，形成图案(patterning)(负型组合物(negativecomposition)时，仅使被光照射的涂布膜部分固化)。作为能在曝光中使用的放射线，特别优选使用g线、h线、i线等紫外线。照射量优选为5500mJ/cm2，进一步优选为109300mJ/cm2，最优选为10200mJ/cm2。曝光机可以采用接近(proximity)方式的曝光机，也可以是镜面投影(mirrorprojection)方式、步进(stepper)方式。显影工序接着，通过进行碱显影处理，例如当感光性黑色组合物为负型时，能使上述曝光中的光未照射部分溶于碱水溶液，仅残留光固化的部分。作为显影液，采用有机碱显影液或无机碱显影液或其混合溶液。作为显影液中使用的碱剂，可以列举例如氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸氢钠、硅酸钠、偏硅酸钠、氨水、乙基胺、二乙基胺、二甲基乙醇胺、四甲基氢氧化铰、四乙基氢氧化铵、胆碱(choline)、吡咯(pyrrole)、哌啶(piperidine)以及1，8-二氮杂双环-[5、4、0]-7-十一碳烯(l，8-diazabicyclo-[5,4，0]-7-undecene)等有机碱性化合物。优选将这些碱剂用纯水稀释至0.001质量％10质量％、优选为0.01质量％1质量％得到的碱性水溶液作为显影液使用。另外，当使用由上述碱性水溶液形成的显影液时，一般在显影后用纯水洗涤(rinse)。本发明在该显影工序后、在后述的烘烤工序前，以相对于上述感光性黑色组合物层内的上部端使下部端位于黑矩阵的宽度方向的-3.0+3.(Him的位置的方式形成黑矩阵图案。黑矩阵图案的剖面形状、特别是端部的剖面形状可以通过曝光、显影以及后述的预烘烤的各条件来控制。为此，首先对显影工序后的黑矩阵图案端部的剖面形状进行详细说明。另外，上述相对于感光性黑色组合物层内的上部端的下部端的位置是指从感光性黑色组合物层的上部端向基板的法线方向延伸的线与感光性黑色组合物层的下部端之间的在黑矩阵的宽度方向的距离。当显影后的感光性黑色组合物层为倒锥形时，该距离的值为"-"。在黑矩阵的形成工序中，将曝光后的感光性黑色组合物层进行显影时，当感光性黑色组合物层的表面(指不与基板接触的面；以下在黑矩阵中也同样称呼)以及从该表面到厚度(感光性黑色组合物层沿基板法线方向的长度)的三分之一以内的层内部(以下称为"感光性黑色组合物层上部"。在黑矩阵中也同样地将从黑矩阵的表面到厚度的三分之一以内称为"黑矩阵上部")的显影的进展与感光性黑色组合物层的背面(指与基板接10触的面；以下对黑矩阵也同样地称为"黑矩阵的背面")以及从该背面到相对于感光性黑色组合物层的厚度为三分之二以内的层内部(以下称为"感光性黑色组合物层下部"。在黑矩阵也称为"黑矩阵下部")的显影的进展为同等的情况下，若将形成了感光性黑色组合物层(黑矩阵)的基板沿黑矩阵的宽度方向切割，则感光性黑色组合物层的剖面形状例如为图l所示的近似垂直的形状。以下，将感光性黑色组合物层(黑矩阵)的剖面形状作为沿黑矩阵的宽度方向切割时的剖面形状。与此相对，与感光性黑色组合物层的表面及感光性黑色组合物层上部的显影相比，感光性黑色组合物层的背面和感光性黑色组合物下部的显影有时会过多或不足。当显影过多时，感光性黑色组合物层下部呈凹陷状态，若将形成了感光性黑色组合物层(黑矩阵)的基板沿黑矩阵的宽度方向切割，则感光性黑色组合物层的剖面形状例如为图2所示的倒锥形(reversetaper)。另一方面，当显影不足时，感光性黑色组合物层下部呈突出状态，若将形成了感光性黑色组合物层(黑矩阵)的基板沿黑矩阵的宽度方向切割，则感光性黑色组合物层的剖面形状例如为图3所示的锥形(forwardtaper)。在该显影工序后、后述的烘烤工序前，当感光性黑色组合物层的剖面形状为图2所示的倒锥度大的形状时，在显影工序中，上部的突出部易缺损，容易产生黑矩阵平面形状缺陷。因此，倒锥形的大小优选为3pm以下。即，相对于感光性黑色组合物层内的上部端，下部端优选位于-3.00pm的位置。另外，当感光性黑色组合物层的剖面形状为图3所示的锥度大的形状时，由于显影不足而容易在应除去感光性黑色组合物层的部分残留残渣。因此，锥形的大小优选为3pm以下。即，相对于感光性黑色组合物层内的上部端，下部端优选位于03.0pm的位置。因此，最优选的形状是上述图1所示的感光性黑色组合物层的端部为近似垂直的形状。优选在显影后，如上所述为近似垂直的形状，在之后的后烘烤时受热，形成圆弧状的剖面形状。实际应用中，由于工序的不均等而多少存在变动，只要显影后的感光性黑色组合物层的形状为下部端相对于上部端位于黑矩阵的宽度方向的-3.0+3.0pm的位置的剖面形状就没有问题，更优选为下部端相对于上部端位于-2.0+2.0pm的位置的剖面形状。为了在该显影工序后、后述烘烤工序前使上述感光性黑色组合物层的端部为图l所示的垂直剖面形状，适当调节显影条件很重要。通过改变显影条件，能调节剖面形状。大致而言，在与常用的显影条件相比略强的条件下进行显影时，为倒锥形，反之在略弱的条件下进行显影时，为锥形。更强的条件是指更高的温度、更长的时间、更多的流量、更高的冲洗压等。另一方面，更弱的条件是指更低的温度、更短的时间、更少的流量、更低的冲洗压等。其中，温度和时间的调节特别重要。具体而言，从能以良好的精度调节剖面形状的观点出发，显影温度优选为20。C35。C，进一步优选为20。C30。C。显影时间优选为20秒120秒，进一步优选为30秒70秒。其中，作为显影温度与显影时间的优选组合，可以列举例如在温度23'C下为40秒70秒的组合、在温度25'C下为30秒60秒的组合。关于冲洗压，从能防止黑矩阵缺损的观点出发，优选为0.01MPa0.5MPa，进一步优选为0.05MPa0.3MPa，更优选为0.1MPa0.3MPa。为了更精细地调节剖面形状，优选在黑矩阵形成工序中追加后述的后烘烤工序。烘烤工序接着，对黑矩阵图案实施称为烘烤处理(后烘烤)的加热处理。烘烤是用于使感光性黑色组合物完全固化的显影后的加热处理，通常进行15(TC26(TC的热固化处理。烘烤温度优选为150°C260°C，进一步优选为180°C260°C，最优选为200°C240°C。烘烤时间优选为10分钟150分钟，进一步优选为20分钟120分钟，最优选为30分钟90分钟。在上述显影工序后，将上述感光性黑色组合物层的端部近似图1所示的垂直剖面形状的组合物层在上述条件下烘烤，剖面形状能调节至近似图4所示的圆弧形状。通过烘烤处理对显影后的感光性黑色组合物进行加热，在感光性黑色组合物完全固化前，由于临时处于粘度低的状态，因此边缘(edge)部在表面张力的作用下巻曲，然后通过固化，形成上述形状。由该显影后的加热引起的边缘的巻曲容易度(以下有时称为"热塌边(日语原文熱夕'^)")会随感光性黑色组合物的组成和预烘烤条件、曝光条件或显影条件而变化。一般而言，在感光性黑色组合物的组成比中，与后述的粘合剂聚合物(binderpolymer)相比，遮光剂的浓度越低，感光性黑色组合物越容易热塌边，遮光剂的浓度越高，感光性黑色组合物越难热塌边。例如，当烘烤后的膜厚为1.4pm时，可以优选使用OD(黑矩阵的光学浓度)为4.1的遮光剂浓度。与此相比，当烘烤后的膜厚为1.0Mm时，在OD为4.1的遮光剂浓度下，不易发生热塌边。作为产生热塌边的其他方法，可以列举在单体的组成上下功夫。例如，如日本专利特开2004-163917号公报所述，作为单体，可以优选使用3官能以上的单体与2官能单体的混合物。预烘烤温度越低、预烘烤温度越短，越容易热塌边，预烘烤温度越高、预烘烤时间越长，越不易热塌边，曝光强度越弱，越容易热塌边，曝光强度越强，越不易热塌边，显影条件越弱，越容易热塌边，显影条件越强，越不易热塌边。后烘烤温度略低且时间长，则容易热塌边，温度高且时间短则不易热塌边。如图4所示，将从烘烤后的平坦的黑矩阵表面圆弧起始的点为P点，将其与表示黑矩阵的水平方向末端的Q点之间的水平方向的距离作为锥形长度，该锥形长度优选为2.0pm15.0pm，该锥形长度更优选为2.5pm10.0pm。另外，Q点优选位于与基板接触的部分或其附近的层内下部。图5表示在形成了具有上述范围的锥形长度的黑矩阵的基板上形成着色像素时的剖面图。如此即可抑制黑矩阵与着色像素的重叠部的凸起。关于烘烤处理，可以在上述条件下使用加热板(hotplate)、对流烤箱(convectionoven)(热风循环式干燥机)或高频加热机等加热装置以连续式或间歇(bath)式对显影后的感光性黑色组合物层进行烘烤处理。其他工序在本发明的黑矩阵形成工序中，在上述感光性黑色组合物层形成工序后、上述曝光工序前，还可以加入预烘烤工序。另外，在上述显影工序后、上述烘烤(后烘烤)工序前，还可以根据需要含有通过曝光将形成的黑矩阵固化的工序。预烘烤工序13如上所述，为了调节黑矩阵显影后的剖面形状，除了调节黑矩阵形成工序中的曝光和/或显影的条件，还优选适当调节预烘烤条件。在本发明的黑矩阵形成工序中，与常用的预烘烤条件相比，若在低温下进行，则形成倒锥形，若在高温下进行，则形成锥形。具体而言，当用加热板进行预烘烤时，预烘烤温度优选为65°C120°C。在65t:以上时，能防止在显影工序中感光性黑色组合物层剥离，在12(TC以下时，能使感光性黑色组合物层下部的显影处于进行的状态。更优选为70°C100°C，最优选为75。C9(TC。烘烤时间优选为50秒300秒，进一步优选为90秒200秒，最优选为100秒180秒。在上述条件下进行预烘烤，易于调节感光性黑色组合物层显影后的剖面形状。另外，预烘烤也可以在烘箱内进行，此时也可以通过适当设定与上述相同的预烘烤条件，来调节显影后的剖面形状。着色图案形成工序在本发明的着色图案形成工序中，至少通过在形成了烘烤后的感光性黑色组合物层(黑矩阵)的基板上使用感光性着色组合物形成感光性着色组合物层(感光性着色组合物层形成工序)、将上述感光性着色组合物层曝光(着色层曝光工序)、将曝光后的上述感光性着色组合物层显影(着色层显影工序)、将显影后的上述感光性着色组合物层烘烤(着色层烘烤工序)，来形成该烘烤后的与上述黑矩阵相重叠的重叠(overlap)部在黑矩阵宽度方向的长度为1.0)im12pm的着色图案。在着色图案形成工序中，除上述工序外，还可以根据需要设置预烘烤工序等其他工序。首先，对上述"重叠"进行说明。重叠在形成了黑矩阵的基板上涂布感光性着色组合物等来形成着色图案(着色像素)时，为了避免在黑矩阵与着色像素之间产生间隙，通常以感光性着色组合物与黑矩阵重合的方式使感光性着色组合物略微覆盖(重叠)黑矩阵来形成着色像素。本发明不仅对上述黑矩阵显影后的剖面形状进行调节，还将重叠部的长度调节到1.(Him12pm，能得到高品质的滤色器和液晶显示装置。上述"重叠部的长度"是指使用感光性着色组合物层形成的着色图案与黑矩阵重叠的重叠部在黑矩阵宽度方向的长度。利用图对其进行更详细的说明。图6是表示在形成了黑矩阵4的基板2上涂布感光性着色组合物等形成感光性着色组合物层6而由黑矩阵4与感光性着色组合物层6相重叠形成重叠部8的状态的滤色器的局部剖面图。这里，重叠部8为长度b的区域，重叠部8的长度b可以作为下述的距离(长度)来求得，所述距离为黑矩阵4的在宽度方向上与感光性着色组合物层6对峙的一侧的最外端S与按照与黑矩阵4重叠的方式设置的感光性着色组合物层6的位于黑矩阵4上的最外端T之间的、黑矩阵4的在宽度方向上的距离。实际上，在求重叠部8的长度b时，可以将滤色器沿黑矩阵4的图案的长度方向垂直的方向切割，由其剖面来测定。从减小重叠部的凸起(优选为0.50|am以下)的观点出发，上述重叠部8的长度b优选为1.0|im12pm，进一步优选为1.0jmi10nm，最优选为2.0|im8.0nm。通过使上述重叠部8的长度b为12Mm以下，能在大型基板(一边的长度为lm以上)上稳定地制造滤色器和显示装置。通过改变感光性着色组合物层的曝光图案位置和显影条件，可以调节重叠部8的长度b。具体而言，曝光图案与黑矩阵的交叠量越少，能使重叠量越少。另外，显影条件越弱，例如显影温度越低或显影时间越短，可以使重叠量越大。更具体而言，为了使上述重叠部8的长度b为1.0jim12pm，优选将曝光图案与黑矩阵的交叠部分在黑矩阵的宽度方向的距离(长度)设定为3.0nm8.0nm。显影温度优选为20°C35°C，进一步优选为20°C30°C。显影时间优选为20秒120秒，进一步优选为30秒70秒。作为上述各条件的优选组合，优选曝光图案与黑矩阵的交叠部分的长度为2.0nm10^im、显影温度为20°C35°C、显影时间为20秒120秒的组合。更优选的组合为曝光图案与黑矩阵的交叠部分的长度为3.0pm8.0pm、显影温度为20。C30。C、显影时间为30秒70秒的组合。如上所述，在黑矩阵与感光性着色组合物层的重叠部，以黑矩阵与感光性着色组合物层部分重叠的方式使感光性着色组合物覆盖黑矩阵，因此该部分成为凸起的状态。通过减小该重叠部的凸起的程度，可以抑制液晶取向的紊乱或漏光，得到高品质的图像。用图对重叠部的凸起进行说明。图7是表示在形成了黑矩阵4的基板2上涂布感光性着色组合物等形成感光性着色组合物层、进行曝光和显影等、形成着色图案6、在黑矩阵4与着色图案6相重叠的重叠部8产生凸起的状态的滤色器的局部剖面图。上述"重叠部的凸起的程度"更具体而言是指着色图案6的表面中，上述重叠部8距离基板2表面(基板2的与黑矩阵4和着色图案6相接触的面)最远的部分与上述重叠部8以外的平坦表面部分之间的在基板法线方向上的距离。换言之，上述"重叠部的凸起的程度"是指从距离c减去距离d得到的距离e，距离c是基板2表面与着色图案6的表面中重叠部8的距离基板2表面最远的部分之间的在基板法线方向上的距离，距离d是基板2表面与着色图案6的表面中重叠部8以外的部分之间的在基板法线方向上的距离。以下，将上述距离e称为"凸起的高度"。从获得高品质图像的观点出发，凸起的高度优选为0.5(Him以下，更优选为0.4nm以下，最优选为0.25|_im以下。通过如上所述那样将该凸起的高度控制得较低，在制作滤色器进行图像显示时，能抑制液晶取向的紊乱或漏光，能得到高品质的图像。凸起的高度可以通过适当调节黑矩阵烘烤后的剖面形状(即锥形长度)和重叠部的长度、黑矩阵的厚度来进行调节。上述锥形长度和重叠部8的长度b、黑矩阵的厚度的优选组合为锥形长度为2.0nm15|im、重叠部的长度为1.(Him12pm、黑'矩阵的厚度为0.2nm1.5]am。更优选的组合为锥形长度为2.5pm10|iim、重叠部8的长度为2.5pm8.5nm、黑矩阵的厚度为0.5nm1.3pm。接着，对在本发明的着色图案形成工序中进行的各种工序进行说明。感光性着色组合物层形成工序在感光性着色组合物层形成工序中，在形成了烘烤后的感光性黑色组合物层(黑矩阵)的基板上使用感光性着色组合物形成感光性着色组合物层。16作为在形成了黑矩阵的基板上形成感光性着色组合物层的方法，可以使用与在基板上形成感光性黑色组合物层的方法相同的方法即涂布方法或转印方法。其中，从能进一步发挥本发明效果的观点出发，优选使用狭缝涂布器(slitcoater)等在形成了黑矩阵的基板面上涂布感光性着色组合物的方法。为了获得充分的色重现区域并获得充分的面板亮度，感光性着色组合物层的层厚优选为0.5jLim3.0|im，进一步优选为1.(Him2.5nm的范围。着色层曝光工序在着色层曝光工序中，将上述感光性着色组合物层曝光。关于感光性着色组合物层的曝光处理，可以与感光性黑色组合物层的曝光工序同样地进行。当形成多种颜色的着色图案时，隔着各色用的规定的掩模图案，按各色进行曝光，图案形成光照射后的各色感光性着色组合物层(负型的感光性着色组合物时仅使光照射部分固化)。着色层显影工序在着色层显影工序中，将曝光后的上述感光性着色组合物层显影。关于曝光后的感光性着色组合物层的显影处理，可以进行与感光性黑色组合物层的显影工序的说明中所述的操作相同的操作，可以优选使用在上述显影工序中所述的显影液。作为显影条件，为了调节在黑矩阵与着色像素的重叠部产生的重叠部的长度和凸起的高度，优选采用在上述重叠的说明中所述的显影条件将感光性着色组合物层显影。着色层烘烤工序在着色层烘烤工序中，将显影后的上述感光性组合物层烘烤。关于将显影后的感光性着色组合物层烘烤的方法，可以采用与上述感光性黑色组合物层的烘烤工序同样的方法。另外，当形成RGB(红、绿、蓝)3色相等多种色相的着色图案时，可以按所需的色相数反复进行感光性着色组合物层的形成、曝光、显影和烘烤的循环，也可以按各色相进行感光性组合物层的形成、曝光和显影后，最后对全部色相一起进行烘烤。由此，制作具有黑矩阵和由所需色相形成的着色像素的滤色器。其他工序在着色图案形成工序中，也可以在感光性着色组合物层形成工序后、着色层曝光工序前设置将感光性着色组合物层预烘烤的工序(着色层预烘烤工序)以使感光性着色组合物干燥。感光性着色组合物层的预烘烤温度优选为60°C140°C，进一步优选为80°C120°C。预烘烤时间优选为30秒300秒，进一步优选为80秒200秒。接着，对本发明的滤色器制造方法中使用的感光性着色组合物以及感光性黑色组合物进行详细说明。感光性着色组合物本发明的滤色器的着色图案形成中使用的感光性着色组合物是放射线敏感性组合物(例如为负型组合物时，为通过光照射而固化的放射线敏感性组合物)，优选含有(A-l)着色剂、(B)粘合剂聚合物、(C-l)聚合性化合物、(D)光聚合引发剂和(E)溶剂，还可以根据需要含有高分子分散剂或表面活性剂等其他添加物。(A-l)着色剂着色剂可以从染料和颜料中适当选择。作为着色剂使用的颜料可以是无机颜料，也可以是有机颜料，考虑到优选为高透射率时，优选粒子尺寸尽量小的颜料。平均粒子尺寸优选为10nm100nm，更优选为10nm50nm的范围。在本发明使用的感光性着色组合物中使用后述的高分子分散剂，即使在着色剂的尺寸小的情况下，颜料分散性和分散稳定性也很好，因此即使膜厚薄也可以形成色纯度优异的着色像素。作为能用作着色图案(着色像素)形成用着色剂的无机颜料的例子，可以列举金属氧化物和金属络合物等金属化合物。作为具体例子，可以列举铁、钴、铝、镉、铅、铜、钛、镁、铬、锌、锑等的金属氧化物以及上述金属的复合氧化物等。作为有机颜料，可以列举例如C.I.颜料黄(C丄PigmentYellow)11、24、31、53、83、93、99、108、109、110、138、139、147、150、151、154、155、167、180、185、199;C.I.颜料橙36、38、43、71;C.I.颜料红81、105、122、149、150、155、171、175、176、177、209、220、224、242、254、255、264、270;C丄颜料紫19、23、32、37、39;C.I.颜料蓝1、2、15、15:1、15:3、15:6、16、22、60、66;C丄颜料绿7、36、37;C.I.颜料棕25、28;C.I.颜料黑1等。本发明进一步优选下述颜料，但并无特殊限制C.I.颜料黄ll、24、108、109、110、138、139、150、151、154、167、180、185;C.I.颜料橙36、71;C丄颜料红122、150、171、175、177、209、224、242、254、255、264;C丄颜料紫19、23、37;C丄颜料蓝15:1、15:3、15:6、16、22、60、66;C丄颜料绿7、36、37。这些有机颜料可以单独使用或为了提高色纯度而多种组合使用。组合的具体例子如下所示。例如，作为红色相(R)用颜料，可以单独使用蒽醌(anthmquinone)颜料、茈(perylene)颜料、二酮基吡咯并吡咯(diketopyrrolopyrrole)颜料或将它们中的至少1种与双偶氮(bisazo)黄色颜料、异吲哚啉(isoindoline)黄色颜料和奎酞酮(quinophthalone)黄色颜料中的至少1种和/或茈(perylene)红色颜料的混合等。例如，作为蒽醌颜料，可以列举C.I.颜料红177，作为茈颜料，可以列举C丄颜料红155或C.I.颜料红224，作为二酮基吡咯并吡咯颜料，可以列举C.I.颜料红254，从色重现性的观点出发，优选它们中的至少1种与C.I.颜料黄139的混合。另外，从得到充分的色纯度以及抑制从NTSC(NationalTelevisionSystemCommittee)基准的色相偏离的观点出发，红色颜料与黄色颜料的质量比(红色颜料黄色颜料)优选为100:5100:50。作为上述质量比，特别优选100:10100:30的范围。另外，当为红色颜料之间的组合时，可以根据色度进行调节。作为绿色相(G)用颜料，可以单独使用卤化酞菁颜料，或将其与双偶氮黄色颜料、奎酞酮黄色颜料、甲亚胺(azomethine)黄色颜料或异吲哚啉黄色颜料的混合。例如，作为这样的例子，优选C.I.颜料绿7、36或37和C丄颜料黄83、C.I.颜料黄138、C.I.颜料黄139、C.I.颜料黄150、C丄颜料黄180或C丄颜料黄185的混合。从得到充分的色纯度以及抑制从NTSC基准的色相偏离的观点出发，绿色颜料与黄色颜料的质量比(绿色颜料黄色颜料)优选为100:5100:150。作为上述质量比，特别优选100:30100:120的范围。作为蓝色相(B)用颜料，可以单独使用酞菁颜料或将其与二噁嗪紫色颜料的混合。例如，优选C丄颜料蓝15:6与C.I.颜料紫23的混合。蓝色颜料与紫色颜料的质量比(蓝色颜料紫色颜料)优选为100:0100:50，进一步优选为100:5100:30。关于本发明使用的感光性着色组合物层中的(A-l)着色剂(颜料)的含量，相对于该组合物的总固体成分(质量)，优选为2575质量％，进一步优选为3270质量％。若(A-l)着色剂(颜料)的含量在上述范围内，则色浓度充分并能有效地确保优异的色特性。(B)粘合剂聚合物为了提高被膜特性和赋予显影特性等，本发明的上述感光性着色组合物优选含有粘合剂聚合物。作为粘合剂聚合物，可以使用下述碱可溶性树脂。作为本发明使用的碱可溶性树脂，可以从直链状有机高分子聚合物且分子(优选以碱共聚物或苯乙烯共聚物为主链的分子)中具有至少l个促进碱可溶性的基团(例如羧基、磷酸基、磺酸基或羟基等)的碱可溶性树脂中适当选择。作为上述碱可溶性树脂的更优选的例子，可以列举侧链具有羧酸的聚合物，例如日本专利特开昭59-44615号公报、日本专利特公昭54-34327号公报、日本专利特公昭58-12577号公报、日本专利特公昭54-25957号公报、日本专利特开昭59-53836号公报、日本专利特开昭59-71048号公20报的各公报中记载的甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、丁烯酸共聚物、马来酸共聚物以及部分酯化马来酸共聚物等、以及侧链具有羧酸的酸性纤维素衍生物以及具有羟基的聚合物与酸酐的加成物等的丙烯酸共聚物。上述碱可溶性树脂的酸值为10200mgKOH/g，优选为30180mgKOH/g，更优选为50150mgKOH/g的范围。作为碱可溶性树脂的具体的结构单元，特别优选(甲基)丙烯酸和能与其共聚的其他单体的共聚物。作为上述能与(甲基)丙烯酸共聚的其他单体的例子，可以列举(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸芳基酯以及乙烯基化合物等。这里，垸基和芳基的氢原子可以被取代基取代。作为上述(甲基)丙烯酸垸基酯和(甲基)丙烯酸芳基酯的例子，可以列举由CH^C(R1)(COOR3)表示的化合物，这里，R'表示氢原子或碳原子数为15的烷基，113表示碳原子数为18的烷基或碳原子数为612的芳烷基。作为具体例子，可以列举(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸甲苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸羟基垸基酯(垸基是碳原子数为18的烷基)、甲基丙烯酸羟基縮水甘油酯和甲基丙烯酸氢糠酯等。另外，分子侧链具有聚环氧烷链的树脂也可以作为碱可溶性树脂的优选例子来列举。作为上述聚环氧烷链，可以釆用聚氧乙烯链、聚环氧丙烷链或聚四亚甲基二醇链或将它们合用，末端为氢原子、直链或支链的烷基。聚氧乙烯链和/或聚环氧丙垸链的重复单元优选为120，进一步优选为212。作为侧链具有聚环氧垸链的丙烯酸共聚物的例子，可以列举以聚乙二醇(甲基)丙烯酸一酯、聚丙二醇(甲基)丙烯酸一酯以及聚(乙二醇-丙二醇)(甲基)丙烯酸一酯以及它们的末端OH基被垸基封链后的化合物例如甲氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸一酯、乙氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸一酯以及甲氧基聚(乙二醇-丙二醇)(甲基)丙烯酸一酯等为共聚成分的丙烯酸共聚物。21作为上述乙烯基化合物的例子，可以列举由CH尸CR'R2表示的化合物，这里，R'表示氢原子或碳原子数为15的垸基，W表示碳原子数为610的芳香族烃环。作为具体例子，可以列举苯乙烯、(x-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、丙烯腈、乙酸乙烯酯、N-乙烯基吡咯垸酮、聚苯乙烯大分子单体、聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体等。能共聚的其他单体可以单独使用l种，或2种以上组合使用。其中，特别优选(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸共聚物以及(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸/其他单体形成的多元共聚物。如上所述，丙烯酸类树脂具有20200mgKOH/g的范围的酸值。若酸值在200以下，则丙烯酸类树脂在碱中的溶解性不会过大，能防止显影适宜范围(显影宽容度(latitude))变窄。另一方面，若在20以上，则由于在碱中的溶解性不易减小，能防止显影时间的长时间化。关于丙烯酸类树脂的重均分子量Mw(用GPC法(凝胶渗透色谱法)测定的聚苯乙烯换算值)，为了实现易于在涂布感光性着色组合物等工序上使用的粘度范围，并确保膜强度，优选为2000100000，进一步优选为300050000。为了提高本发明的感光性着色组合物的交联效率，可以单独使用通过赋予碱可溶性树脂聚合性基团而得到的树脂或与不含聚合性基团的碱可溶性树脂合用。作为通过赋予碱可溶性树脂聚合性基团而得到的树脂的例子，可以列举侧链含有芳基、(甲基)丙烯基或芳氧基垸基等的聚合物。具有聚合性双键的碱可溶性树脂能在碱显影液中显影，还具有光固化性和热固化性。这些含有聚合性基团的聚合物的例子如下所示，只要在l分子中含有COOH基或OH基等碱可溶性基团和碳-碳不饱和键即可，不限于下述物质。(1)事先使异氰酸酯基与OH反应并残留1个未发应的异氰酸酯基且含有至少i个(甲基)丙烯酰基的化合物与含有羧基的丙烯酸树脂反应得到的氨基甲酸乙酯改性的含聚合性双键丙烯酸树脂、(2)含有羧基的丙烯酸树脂与分子内具有环氧基和聚合性双键的化合物的反应得到的含不饱和基的丙烯酸树脂、(3)ACID-PENDANT型环氧丙烯酸酯树脂、22(4)含有OH基的丙烯酸树脂与具有聚合性双键的二元酸酐反应得到的含聚合性双键丙烯酸树脂。上述树脂中特别优选(1)和(2)的树脂。作为具体例子，可以列举例如使具有OH基的丙烯酸-2-羟乙酯与例如具有COOH基的甲基丙烯酸、能与它们共聚的丙烯酸化合物或乙烯基化合物等单体的共聚物与含有对OH基具有反应性的环氧环和碳碳不饱和键的化合物(例如丙烯酸縮水甘油酯等化合物)反应得到的化合物等。在与OH基的反应中，除环氧环外，还可以使用酸酐、具有异氰酸酯基或丙烯酰基的化合物。另外，还可以使用日本专利特开平6-102669号公报、日本专利特开平6-1938号公报中记载的由具有环氧环的化合物和丙烯酸之类的不饱和羧酸反应得到的化合物与饱和或不饱和多元酸酐反应得到的反应物。作为兼具COOH基之类的碱可溶性基团和碳碳不饱和基团的化合物，可以列举例如DIANALNR系列(三菱丽阳株式会社(MitsubishiRayonCo.,Ltd.)制)；Photomer6173(含COOH基的聚氨酯丙烯酸低聚物、DiamondShamrockCo丄td.制)；VISCOTER-264、KS抗蚀剂106(均为大阪有机化学工业株式会社(OsakaOrganicChemicalIndustryLtd.)制)；CYCLOMERP系列、PLACCELCF200系列(均为大赛璐化学工业株式会社(DICELChemicalIndustries,Ltd.)制)；Ebecryl3800(DAICEL-CYTECCOMPANYLtd.制)等。碱可溶性树脂的添加量优选为感光性着色组合物层的总固体成分中的330质量％的范围，进一步优选为520质量％。在感光性着色组合物的制备时，作为粘合剂聚合物，除上述碱可溶性树脂外，优选进一步添加下述环氧树脂。作为环氧树脂，可以列举双酚(bisphenol)A型环氧树脂、甲酚线型酚醛(cresolnovolac)型环氧树脂、联苯(biphenyl)型环氧树脂以及脂环式环氧化合物等分子中具有2个以上环氧环的化合物。例如，作为双酚A型环氧树脂的例子，可以列举EPOTOHTOYD-115、YD-U8T、YD-127、YD-128、YD-134、YD-8125、YD-7011R、ZX-1059、YDF-8170、YDF-170等(以上均为东都化成株式会社(TohtoKaseiCo.,23Ltd.)制)、DENACOLEX-1101、EX-1102、EX-1103等(以上均为NagaseChemteXCorporation)制)、PLACCELGL-61、GL隱62、GlOl、G102(以上均为大赛璐化学工业株式会社制)等。此外，作为可以使用的环氧树脂，还可以列举与它们类似的双酚F型环氧树脂以及双酚S型环氧树脂。另夕卜，Ebecryl3700、3701、600(以上均为DAICEL-CYTECCOMPANYLtd.制)等的环氧丙烯酸酯也可以使用。作为甲酚线型酚醛型环氧树脂的例子，可以列举EPOTOHTOYDPN-638、YDPN-701、YDPN-702、YDPN-703、YDPN-704等(以上均为东都化成株式会社制)、DENACOLEM-125等(以上为长濑化成制)。作为联苯型环氧树脂的例子，可以列举3，5，3'，5'-四甲基-4，4'-二缩水甘油基联苯等。作为脂环式环氧化合物的例子，可以列举CELLOXIDE2021、2081、2083、2085、EPOLEADGT-301、GT-302、GT-401、GT-403、EHPE-3105(以上为大赛璐化学工业株式会社制)、SANTOHTOST-3000、ST-4000、ST-5080、ST-5100等(以上为东都化成株式会社制)、Epiclon430、Epiclon673、Epiclon695、Epiclon850S、Epiclon4032(以上为大日本油墨化学工业株式会社(DICCorporation)制)等。另外，还可以使用1，1，2，2-四(对氧化縮水甘油基苯基)乙垸、三(对氧化縮水甘油基苯基)甲垸、三縮水甘油基三(羟乙基)异氰酸酯、邻苯二甲酸二縮水甘油基酯、对苯二甲酸二縮水甘油基酯、作为胺型环氧树脂的EPOTOHTOYH-434和YH-434L以及在双酚A型环氧树脂的骨架中经过二聚酸改性的縮水甘油酯等。其中，优选的树脂为"分子量/环氧环的数量"为100以上的树脂，进一步优选为130500。若"分子量/环氧环的数量"小，则固化性高，固化时的收縮大，若过大，则固化性不足，可靠性欠佳，平坦性变差。作为优选的化合物的具体例子，可以列举EPOTOHTOYD-115、118T、127、YDF-170、YDPN陽638、YDPN-701、PLACCELGL-61、GL-62、3，5，3，，5'-四甲基-4，4，-二縮水甘油基联苯、CELLOXIDE2021、2081、EPOLEADGT-302、GT-403、EHPE-3105等。(C-l)聚合性化合物本发明使用的感光性着色组合物优选含有(C-l)聚合性化合物。本发明能使用的聚合性化合物从具有至少1个烯属性不饱和双键的加成聚合性化合物且具有至少1个、优选2个以上末端烯属性不饱和键的化合物中选择。这种化合物组在本领域广为人知，在本发明中均可以使用而无特殊限制。它们例如可以是单体、预聚物(即二聚物或三聚物)以及低聚物或它们的混合物以及它们的共聚物等化学形态。作为单体及其共聚物的例子，可以列举不饱和羧酸(例如丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、丁烯酸、异丁烯酸、马来酸等)及其酯类和酰胺类。优选使用不饱和羧酸与脂肪族多元醇化合物的酯类、或不饱和羧酸与脂肪族多元胺化合物的酰胺类。另外，还优选使用具有羟基、氨基或巯基等亲核性取代基的不饱和羧酸酯类或酰胺类与单官能或多官能异氰酸酯类或单官能或多官能环氧类的加成反应产物以及上述不饱和羧酸酯类或酰胺类与单官能或多官能羧酸的脱水縮合反应产物等。另外，还优选具有异氰酸酯基或环氧基等亲电性取代基的不饱和羧酸酯或酰胺类与单官能或多官能醇类、胺类或硫醇类的加成反应物以及具有卤基或甲苯磺酰氧基等离去性取代基的不饱和羧酸酯类或酰胺类与单官能或多官能醇类、胺类或硫醇类的取代反应物。作为其他例子，还可以使用将上述不饱和羧酸置换成不饱和膦酸、苯乙烯或乙烯基醚等而得到的化合物组。作为脂肪族多元醇化合物与不饱和羧酸的酯的单体的具体例子，作为丙烯酸酯，可以列举乙二醇二丙烯酸酯、三甘醇二丙烯酸酯、1，3-丁二醇二丙烯酸酯、四亚甲基二醇二丙烯酸酯、丙二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(丙烯酰氧基丙基)醚、三羟甲基乙烷三丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯、1，4-环己二醇二丙烯酸酯、四甘醇二丙烯酸酯、季戊四醇二丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇二丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、山梨糖醇三丙烯酸酯、山梨糖醇四丙烯酸酯、山梨糖醇五丙烯酸酯、山梨糖醇六丙烯酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)异氰酸酯、聚酯丙烯酸酯低聚物以及三聚异氰酸EO改性三丙烯酸酯等；作为甲基丙烯酸酯，可以列举四亚甲基二醇二甲基丙烯酸酯、三甘醇二甲基丙烯酸酯、新戊二醇二甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、三羟甲基乙烷三甲基丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、1，3-丁二醇二甲基丙烯酸酯、己二醇二甲基丙烯酸酯、季戊四醇二甲基丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四25甲基丙烯酸酯、二季戊四醇二甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、山梨糖醇三甲基丙烯酸酯、山梨糖醇四甲基丙烯酸酯、双〔对-(3-甲基丙烯酰氧基-2-羟基丙氧基)苯基)二甲基甲烷以及双〔对-(甲基丙烯酰氧基乙氧基)苯基〕二甲基甲垸等；作为衣康酸酯，可以列举乙二醇二衣康酸酯、丙二醇二衣康酸酯、1，3-丁二醇二衣康酸酯、1，4-丁二醇二衣康酸酯、四亚甲基二醇二衣康酸酯、季戊四醇二衣康酸酯以及山梨糖醇四衣康酸酯等；作为丁烯酸酯，可以列举乙二醇二丁烯酸酯、四亚甲基二醇二丁烯酸酯、季戊四醇二丁烯酸酯以及山梨糖醇四丁烯酸酯等；作为异丁烯酸酯，可以列举乙二醇二异丁烯酸酯、季戊四醇二异丁烯酸酯以及山梨糖醇四异丁烯酸酯等；作为马来酸酯，可以列举乙二醇二马来酸酯、三甘醇二马来酸酯、季戊四醇二马来酸酯以及山梨糖醇四马来酸酯等。作为其他酯的例子，优选使用例如日本专利特公昭51-47334号公报、日本专利特开昭57-196231号公报中记载的脂肪族醇系酯类、日本专利特开昭59-5240号公报、日本专利特开昭59-5241号公报、日本专利特开平2-226149号公报中记载的具有芳香族系骨架的酯、日本专利特开平1-165613号公报中记载的含有氨基的酯等。此外，上述酯单体还可以作为混合物使用。作为脂肪族多元胺化合物与不饱和羧酸的酰胺的单体的具体例子，可以列举亚甲基双丙烯酰胺、亚甲基双甲基丙烯酰胺、1，6-六亚甲基双丙烯酰胺、1，6-六亚甲基双甲基丙烯酰胺、二亚乙基三胺三丙烯酰胺、亚二甲苯基双丙烯酰胺以及亚二甲苯基双甲基丙烯酰胺等。作为其他优选的酰胺类单体的例子，可以列举日本专利特公昭54-21726号公报中记载的具有亚环己基结构的酰胺。另外，还优选用异氰酸酯与羟基的加成反应制造的氨基甲酸乙酯类加聚性化合物，作为其具体例子，可以列举例如日本专利特公昭48-41708号公报中记载的、1分子中具有2个以上异氰酸酯基的聚异氰酸酯化合物与下述通式(V)表示的含有羟基的乙烯基单体加成得到的、1分子中含有2个以上聚合性乙烯基的乙烯基氨基甲酸乙酯化合物等。CH2=C(R4)COOCH2CH(R5)OH(V)(其中，W和RS分别独立地表示H或CH3。)优选日本专利特开昭51-37193号公报、日本专利特公平2-32293号公报、日本专利特公平2-16765号公报中记载的氨基甲酸乙酯丙烯酸酯类、日本专利特公昭58-49860号公报、日本专利特公昭56-17654号公报、日本专利特公昭62-39417号公报、日本专利特公昭62-39418号公报中记载的具有环氧乙烷类骨架的氨基甲酸乙酯化合物类。此外，通过使用日本专利特开昭63-277653号公报、日本专利特开昭63-260909号公报、日本专利特开平1-105238号公报中记载的在分子内具有氨基结构或硫化物结构的加聚性化合物类，可以得到感光速度非常好的光聚合性组合物。作为其他例子，可以列举日本专利特开昭48-64183号公报、日本专利特公昭49-43191号公报、日本专利特公昭52-30490号公报的各公报中记载的聚酯丙烯酸酯类、环氧树脂与(甲基)丙烯酸反应得到的环氧丙烯酸酯类等多官能丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯。另外，还可以列举日本专利特公昭46-43946号公报、日本专利特公平1-40337号公报、日本专利特公平1-40336号公报中记载的特定的不饱和化合物、日本专利特开平2-25493号公报中记载的乙烯基磷酸类化合物等。在某些情况下，优选使用日本专利特开昭61-22048号公报中记载的含有全氟烷基的结构。此外，还可以使用在日本胶粘协会志(JournaIoftheAdhesionSocietyofJapan)vol.20、No.7、300308页(1984年)中记载的光固性单体和低聚物。关于这些聚合性化合物的结构、单独使用还是合用、添加量等使用方法的详细内容可以根据最终的感光性材料的性能设计来任意设定。例如，可以基于以下的观点来选择。在灵敏度方面，优选每一分子的不饱和基团含量多的结构，多数情况下优选2官能以上。为了提高着色图像部即感光性着色组合物层的强度，以3官能以上的聚合性化合物为宜。此外，通过合用不同官能数和/或不同聚合性基团(例如丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、苯乙烯类化合物、乙烯基醚类化合物)的聚合性化合物来调节灵敏度和强度这两者的方法很有效。从固化灵敏度的观点出发，优选使用含有2个以上(甲基)丙烯酸酯结构的化合物，进一步优选使用含有3个以上的化合物，最优选使用含有4个以上的化合物。从固化灵敏度以及未曝光部的显影性的观点出发，优选含有EO改性体。从固化灵敏度以及曝光部强度的观点出发，优选含有氨基甲27酸乙酯键。对于与感光性着色组合物层中的其他成分(例如粘合剂聚合物、引发剂、着色剂(颜料或染料等))的相溶性和/或分散性，加聚化合物的选择和使用方法是重要因素。例如，使用低纯度化合物或2种以上合用有时可以提高相溶性。另外，为了提高与基板的密合性，还可以选择特定的结构。基于以上观点，作为优选的例子，可以列举双酚A二丙烯酸酯、双酚A二丙烯酸酯EO改性体、三羟甲基丙垸三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(丙烯酰氧基丙基)醚、三羟甲基乙烷三丙烯酸酯、四甘醇二丙烯酸酯、季戊四醇二丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、山梨糖醇三丙烯酸酯、山梨糖醇四丙烯酸酯、山梨糖醇五丙烯酸酯、山梨糖醇六丙烯酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)异氰酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯EO改性体以及二季戊四醇六丙烯酸酯EO改性体等。作为市售品，优选氨基甲酸乙酯低聚物(urethaneolygomer)UAS-IO、UAB-140(日本制纸化学株式会社(NipponPaperChemicals)制)、DPHA(日本化药公司(NipponKayakuCo.,Ltd.)制)、UA-306H、UA-306T、UA-306I、AH-600、T-600、AI-600(共荣社化学工业株式会社(KyoeishaChemicalCo.，Ltd.)制)。其中，进一步优选双酚A二丙烯酸酯EO改性体、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)异氰酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯EO改性体、二季戊四醇六丙烯酸酯EO改性体以及作为市售品的DPHA(日本化药公司制)、UA-306H、UA-306T、UA-306I、AH-600、T-600、AI-600(共荣社化学工业株式会社制)。(C-l)聚合性化合物的含量优选为本发明的感光性着色组合物层中的总固体成分中的555质量％，进一步优选为1050质量％，更优选为1545质量％。(D)光聚合引发剂本发明的感光性着色组合物优选含有(D)光聚合引发剂。上述光聚合引发剂是在光的作用下分解并引发和促进上述(C-l)聚合性化合物聚合的化合物，优选在波长300500nm的区域有吸收。另外，28上述光聚合引发剂可以单独使用或2种以上合用。作为上述光聚合引发剂，可以列举例如有机卤化物、噁二唑(oxidiazole)化合物、羰基化合物、縮酮(ketal)化合物、苯偶姻(benzoin)化合物、吖啶(acridine)化合物、有机过氧化物、偶氮化合物、香豆素(coumarin)化合物、叠氮(azide)化合物、茂金属(metallocene)化合物、六芳基双咪唑(hexaarylbiimidazole)化合物、有机硼酸化合物、二磺酸化合物、肟酯(oximeester)化合物、鎗盐(oniumsalt)化合物、酰基膦(氧化物)(acylphosphineoxide)化合物。作为有机卤化物的具体例子，可以列举在若林等"BullChem.SocJapan"42、2924(1969)、美国专利第3905815号说明书、日本专利特公昭46-4605号公报、日本专利特开昭48-36281号公报、日本专利特开昭55-32070号公报、日本专利特开昭60-239736号公报、日本专利特开昭61-169835号公报、日本专利特开昭61-169837号公报、日本专利特开昭62-58241号公报、日本专利特开昭62-212401号公报、日本专利特开昭63-70243号公报、日本专利特开昭63-298339号公报、M.P.Hutt"JoumalofHeterocyclicChemistry"1(No3)，(1970)"中记载的化合物，特别是三卤代甲基取代的噁二唑化合物、s-三嗪化合物。作为s-三嗪化合物的例子，更优选在s-三嗪环上结合至少1个一、二或三-卤素取代甲基的s-三嗪衍生物。作为具体例子，可以列举2，4，6-三(一氯甲基)-s-三嗪、2，4，6-三(二氯甲基)-s-三嗪、2，4，6-三(三氯甲基)-s-三嗪、2-甲基-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2—正丙基-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(a，a，卩-三氯乙基)-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-苯基-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(对甲氧基苯基)-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(3，4-环氧基苯基)-4、6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(对氯苯基)-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-〔1-(对甲氧基苯基)-2，4-丁二烯基)-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-苯乙烯基-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(对甲氧基苯乙烯基)-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(对异丙基氧基苯乙烯基)-4、6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(对甲苯基)-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基萘基)-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-苯基硫代-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-苄29基硫代-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、4-(o-溴-p-N，M-(二乙氧基羰基氨基)-苯基)-2，6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2，4，6-三(二溴甲基)-s-三嗪、2，4，6-三(三溴甲基)-s-三嗪、2-甲基-4，6-双(三溴甲基)-s-三嗪以及2-甲氧基-4，6-双(三溴甲基)-s-三嗪等。作为噁二唑化合物的例子，可以列举2-三氯甲基-5-苯乙烯基-l，3，4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(氰基苯乙烯基)-1，3，4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(萘-l-基)-1，3，4-噁二唑以及2-三氯甲基-5-(4-苯乙烯基)苯乙烯基-1，3，4-噁二唑等。作为羰基化合物的例子，可以列举二苯甲酮(benzophenone)、米氏酮(Michler'sketone)、2-甲基二苯甲酮、3-甲基二苯甲酮、4-甲基二苯甲酮、2-氯二苯甲酮、4-溴二苯甲酮以及2-羧基二苯甲酮等二苯甲酮衍生物、2，2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、1-羟基环己基苯基酮、a-羟基-2-甲基苯基丙酮、l-羟基-l-甲基乙基-(p-异丙基苯基)酮、1-羟基-1-(p-十二烷基苯基)酮、2-甲基-1-(4，-(甲基硫代)苯基)-2-吗啉代-1-丙酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮-l、2，4，6-三甲基苯甲酰-二苯基-膦氧化物、1，1，l-三氯甲基-(p-丁基苯基)酮以及2-苄基-2-二甲基氨基-4-吗啉代苯丁酮等苯乙酮衍生物、噻吨酮(thioxanthone)、2-乙基噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、2，4-二甲基噻吨酮、2，4-二乙基噻吨酮以及2，4-二异丙基噻吨酮等噻吨酮衍生物、以及p-二甲基氨基苯甲酸乙酯和p-二乙基氨基苯甲酸乙酯等苯甲酸酯衍生物等。作为缩酮化合物的例子，可以列举苄基二甲基縮酮和苄基-|3-甲氧基乙基乙基縮酮等。作为苯偶姻化合物的例子，可以列举间苯偶姻异丙基醚、苯偶姻异丁基醚、苯偶姻甲基醚和邻苯偶姻苯甲酸甲酯等。作为吖啶化合物的例子，可以列举9-苯基吖啶、9-吡啶基吖啶、9-吡嗪基吖啶、1，2-二(9-吖啶基)乙垸、1，3-二(9-吖啶基)丙烷、1，4-二(9-吖啶基)丁浣、1，5-二(9-吖啶基)戊烷、1，6-二(9-吖啶基)己烷、1，7-二(9-吖啶基)庚烷、1，8-二(9-吖啶基)辛垸、1，9-二(9-吖啶基)壬烷、1，10-二(9-吖啶基)癸垸、1，11-二(9-吖啶基)十一烷和1，12-二(9-吖啶基)十二烷等二(9-吖啶基)烷等。作为有机过氧化物的例子，可以列举三甲基环己酮过氧化物、乙酰丙酮过氧化物、1，1-双(叔丁基过氧化)-3，3，5-三甲基环己烷、1，1-双(叔丁基过氧化)环己垸、2，2-双(叔丁基过氧化)丁烷、叔丁基过氧化物、过氧化氢异丙苯(cumenehydroperoxide)、二异丙基苯过氧化物、2，5-二甲基己烷-2，5-二过氧化氢、1，1，3，3-四甲基丁基过氧化物、过氧化叔丁基异丙苯、过氧化二异丙苯(dicumylperoxide)、2，5-二甲基-2，5-二(叔丁基过氧化)己烷、2，5-才年廿/<少/《一才年廿一K、过氧化琥珀酸、过氧化苯甲酰、2，4-二氯苯甲酰过氧化物、过氧化二碳酸二异丙酯、过氧化二碳酸二-2-乙基己酯、过氧化二碳酸二-2-乙氧基乙酯、过氧化碳酸二甲氧基异丙酯、过氧化二碳酸二(3-甲基-3-甲氧基丁基)酯、过氧化乙酸叔丁酯、过氧化新戊酸叔丁酯(tert-butylperoxypivalate)、过氧化新癸酸叔丁酯、过氧化辛酸叔丁酯、过氧化月桂酸叔丁酯、夕一、乂，力一求氺一卜、3，3，，4，4，-四(叔丁基过氧化羰基)二苯甲酮、3，3，，4，4，-四(叔己基过氧化羰基)二苯甲酮、3，3'，4，4'-四(p-异丙基异丙苯基过氧化羰基)二苯甲酮、羰基二(叔丁基过氧化二氢二邻苯二甲酸酯)以及羰基二(叔己基过氧化二氢二邻苯二甲酸酯)等。作为偶氮化合物的例子，可以列举日本专利特开平8-108621号公报中记载的偶氮化合物等。作为香豆素化合物的例子，可以列举3-甲基-5-氨基-((s-三嗪-2-基)氨基)-3-苯基香豆素、3-氯-5-二乙基氨基-((s-三嗪-2-基)氨基)-3-苯基香豆素以及3-丁基-5-二甲基氨基-((s-三嗪-2-基)氨基)-3-苯基香豆素等。作为叠氮化合物的例子，可以列举在美国专利第2848328号说明书、美国专利第2852379号说明书以及美国专利第2940853号说明书中记载的有机叠氮化合物、2，6-双(4-叠氮苯亚甲基)-4-乙基环己酮(BAC-E)等。作为茂金属化合物的例子，可以列举在日本专利特开昭59-152396号公报、日本专利特开昭61-151197号公报、日本专利特开昭63-41484号公报、日本专利特开平2-249号公报、日本专利特开平2-4705号公报、日本专利特开平5-83588号公报中记载的各种二茂钛(titanocene)化合物例如二环戊二烯基-Ti-联苯、二环戊二烯基-Ti-双-2，6-二氟苯-l-基、二环戊二烯基-Ti-双-2，4-二-氟苯-l-基、二环戊二烯基-Ti-双-2，4，6-三氟苯-1-基、二环戊二烯基-Ti-双-2，3，5，6-四氟苯-l-基、二环戊二烯基-Ti-双-2，3，4，5，6-五氟苯-l-基、二-甲基环戊二烯基-Ti-双-2，6-二氟苯-l-基、二-甲基环戊二烯基-Ti-双-2，4，6-三氟苯-l-基、二-甲基环戊二烯基-Ti-双-2，3，5，6-四氟苯-l-基、二-甲基环戊二烯基-Ti-双-2，3，4，5，6-五氟苯-1-基、以及在日本专利特开平1-304453号公报和日本专利特开平1-152109号公报中记载的铁-芳烃(arene)络合物等。作为六芳基双咪唑化合物的例子，可以列举日本专利特公平6-29285号公报、美国专利第3479185号、美国专利第4311783号、美国专利第4622286号等各说明书中记载的各种化合物，作为具体例子，可以列举2，2，-双(o-氯苯基)-4，4，，5，5，-四苯基双咪唑、2，2，-双(o-溴苯基)4，4，，5，5，-四苯基双咪唑、2，2，-双(o，p-二氯苯基)-4，4，，5，5，-四苯基双咪唑、2，2'-双(o-氯苯基)-4，4'，5，5，-四(m-甲氧基苯基)双咪唑、2，2，-双(o，o，-二氯苯基)-4，4，，5，5，-四苯基双咪唑、2，2，-双(o-硝基苯基)-4，4'，5，5'-四苯基双咪唑、2，2'-双(o-甲基苯基)-4，4'，5，5，-四苯基双咪唑以及2,2，-双(o-三氟苯基)-4，4，，5，5，-四苯基双咪唑等。作为有机硼酸盐化合物的例子，可以列举日本专利特开昭62-143044号公报、日本专利特开昭62-150242号公报、日本专利特开平9-188685号公报、日本专利特开平9-188686号公报、日本专利特开平9-188710号公报、日本专利特开2000-131837号公报、日本专利特开2002-107916号公报、专利第2764769号公报、日本专利特开2002-116539号公报等各公报以及Kunz，Martin"RadTech，98.ProceedingApril19-22，1998，Chicago"等中记载的有机硼酸盐、日本专利特开平6-157623号公报、日本专利特开平6-175564号公报以及日本专利特开平6-175561号公报中记载的有机硼锍络合物或有机硼氧锍(boronoxosulfonium)络合物、日本专利特开平6-175554号公报以及日本专利特开平6-175553号公报中记载的有机硼碘鐵(boroniodonium)络合物、日本专利特开平9-188710号公报中记载的有机硼辚(boronphosphonium)络合物、以及日本专利特开平6-348011号公报、日本专利特开平7-128785号公报、日本专利特开平7-140589号公32报、日本专利特开平7-306527号公报和日本专利特开平7-292014号公报等中记载的有机硼过渡金属配位络合物等。作为二磺酸化合物的例子，可以列举日本专利特开昭61-166544号公报和日本专利特开2002-328465号说明书等中记载的化合物等。作为肟酯(oximeester)化合物的例子，可以列举在J.C.S.PerkinII(1979)1653-1660、J.C.S.PerkinII(1979)156-162、JournalofPhotopolymerScienceandTechnology(1995)202-232以及日本专利特开2000-66385号公报中记载的化合物、以及在日本专利特开2000-80068号公报和日本专利特表2004-534797号公报中记载的化合物等。作为具体实例，适合的有CibaJapanK.K制的IRGACUREOXE-01以及OXE-02等。作为鎿盐化合物的例子，可以列举在S.I.Schlesinger，Photogr.Sci.Eng.，18，387(1974)以及T.S.Baletal，Polymer,21，423(1980)中记载的重氮(diazonium)盐、美国专利第4069055号说明书以及日本专利特开平4-365049号公报等中记载的铵盐、美国专利第4069055号说明书和美国专利第4069056号说明书等各说明书中记载的鳞盐、欧洲专利第104143号说明书、日本专利特开平2-150848号公报和日本专利特开平2-296514号公报的各公报中记载的碘鎗盐等。本发明能优选使用的碘鎗盐是二芳基碘鐵盐，从稳定性的观点出发，优选被2个以上烷基、烷氧基或芳氧(arylQxy)基等给电子基所取代。'作为本发明能优选使用的锍盐的例子，可以列举在欧洲专利第370693号说明书、欧洲专利第390214号说明书、欧洲专利第233567号说明书、欧洲专利第297443号说明书、欧洲专利第297442号说明书、美国专利第4933377号说明书、美国专利第4760013号说明书、美国专利第4734444号说明书、美国专利第2833827号说明书、德国专利第2904626号说明书、德国专利第3604580号说明书、德国专利第3604581号说明书的各说明书中记载的锍盐。从稳定性和灵敏度的观点出发，该锍盐优选被吸电子基取代。吸电子基的哈密特值优选大于0。作为优选的吸电子基的例子，可以列举卤原子和羧酸等。作为其他优选的锍盐的例子，可以列举三芳基锍盐的一个取代基具有香豆素结构或蒽醌结构且具有300nm以上吸收的锍盐。作为另一优选锍盐33的例子，还可以列举三芳基锍盐具有芳氧(aryloxy)基或芳硫基且具有300nm以上吸收的锍盐。作为鎗盐化合物的例子，可以列举在J.V.Crivelloetal，Macromolecules，10(6)，1307(1977)以及J.V.Crivelloetal，J.PolymerSci.，PolymerChem.Ed.，17，1047(1979)中记载的硒鐺(硒)盐以及在C.S.Wenetal，Teh，Proc.Conf.Rad.CuringASIA,p478Tokyo,Oct(1988)中记载的紳(arsonium)盐等鐺盐等。作为酰基膦(氧化物)化合物的例子，可以列举汽巴精化公司制的IRUGACURE819、DAROCURE4265、DAROCURETPO等。作为(D)光聚合引发剂的例子，从曝光灵敏度的观点出发，可以列举三卤代甲基三嗪化合物、苄基二甲基縮酮化合物、a-羟基酮化合物、a-氨基酮化合物、酰基膦类化合物、氧化膦化合物、茂金属化合物、肟化合物、三芳基咪唑二聚物(triarylimidazoledimer)、鐵盐化合物、苯并噻唑化合物、二苯甲酮化合物、苯乙酮化合物及其衍生物、环戊二烯-苯-铁络合物及其盐、卤代甲基噁二唑化合物以及3-芳基取代香豆素化合物。更优选三卤代甲基三嗪化合物、a-氨基酮化合物、酰基膦化合物、氧化膦化合物、肟化合物、三芳基咪唑二聚物、鎗盐化合物、二苯甲酮化合物、苯乙酮化合物，最优选从由三卤代甲基三嗪化合物、a-氨基酮化合物、肟化合物、三芳基咪唑二聚物、二苯甲酮化合物构成的组中选择的至少1种化合物。(D)光聚合引发剂的含量相对于感光性着色组合物层中的总固体成分优选为0.120质量％，进一步优选为0.515质量％，特别优选为l10质量％。在该范围内，可以得到良好的灵敏度和图案形成性。(E)溶剂本发明使用的感光性着色组合物一般可以使用溶剂来制备。作为溶剂的例子，优选酯类，例如乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸戊酯、乙酸异戊酯、乙酸异丁酯、丙酸丁酯、丁酸异丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、垸基酯类、乳酸甲酯、乳酸乙酯、羟基乙酸甲酯、羟基乙酸乙酯、羟基乙酸丁酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯以及乙氧基乙酸乙酯；3-羟基丙酸甲酯以及3-羟基丙酸乙酯等3-羟基丙酸垸基酯(例如3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯等)；2-羟基丙酸甲酯、2-羟基丙酸乙酯以及2-羟基丙酸丙酯等2-羟基丙酸垸基酯(例如2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-氧基-2-甲基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯等)；丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸甲酯、2-氧代丁酸乙酯以及l,3-丁二醇二乙酸酯等；醚类，例如二甘醇二甲基醚、四氢呋喃(tetrahydrofuran)、乙二醇一甲基醚、乙二醇一乙基醚、甲基溶纤剂乙酸酯(methylcellosolveacetate)、乙基溶纤剂乙酸酯、二甘醇一甲基醚、二甘醇一乙基醚、二甘醇一丁基醚、丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯、二甘醇二甲基醚、二甘醇一乙基醚乙酸酯、二甘醇一丁基醚、二甘醇一丁基醚乙酸酯、丙二醇正丙基醚乙酸酯、丙二醇二乙酸酯、丙二醇正丁基醚乙酸酯、丙二醇苯基醚、丙二醇苯基醚乙酸酯、二丙二醇一甲基醚乙酸酯、二丙二醇正丙基醚乙酸酯、二丙二醇正丁基醚乙酸酯、三丙二醇一正丁基醚以及三丙二醇甲基醚乙酸酯等；酮类，例如丙酮、甲乙酮、环己酮(cyclohexanone)、2-庚酮以及3-庚酮等；醇类，例如乙醇、异丙醇、丙二醇甲基醚、丙二醇一正丙基醚以及丙二醇一正丁基醚；以及芳香族烃类，例如甲苯和二甲苯等。其中，优选3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纤剂乙酸酯、乳酸乙酯、二甘醇二甲基醚、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、环己酮、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇甲基醚、丙二醇甲基醚乙酸酯以及丙二醇乙基醚乙酸酯等。溶剂可以单独使用，也可以2种以上组合使用。其他添加物另外，在本发明使用的感光性着色组合物中，除上述成分外，还可以根据目的使用各种公知的添加剂。35以下对此类添加剂进行说明。分散剂本发明的感光性着色组合物优选含有高分子分散剂。该高分子分散剂是重均分子量在3000100000范围内的树脂。此外，优选酸值为20300mg/g。以下有时将这种特定的高分子分散剂简称为"分散树脂"。本发明的分散树脂是作为在上述(A-l)着色剂中列举的颜料的分散剂或后述的黑矩阵形成用感光性黑色组合物中的遮光剂(黑矩阵形成用颜料)的分散剂起作用的化合物。分散树脂由于必须具有特定的酸值，因而优选为具有酸性基的高分子化合物。—作为该高分子化合物的高分子骨架，优选从由乙烯基单体的聚合物、乙烯基单体的共聚物、酯聚合物、醚聚合物、氨基甲酸乙酯聚合物、酰胺聚合物、环氧聚合物以及有机硅(silicone)聚合物以及它们的改性物或共聚物[例如包含聚醚/聚氨酯共聚物、聚醚/乙烯基单体聚合物的共聚物等(无规共聚物、嵌段共聚物、接枝共聚物中的任一种)]构成的组中选择的至少1种。进一步优选从由乙烯基单体的聚合物、乙烯基单体的共聚物、酯聚合物、醚聚合物、氨基甲酸乙酯聚合物以及它们的改性物或共聚物构成的组中选择的至少1种，特别优选乙烯基单体的聚合物和乙烯基单体的共聚物。作为在上述高分子骨架中导入酸性基的方法，可以列举例如在将上述高分子骨架聚合时使含有酸性基的单体共聚合的方法或在上述高分子骨架聚合后通过高分子反应导入的方法。作为含有酸性基的单体的例子，可以列举(甲基)丙烯酸、丁烯酸(crotonicacid)、衣康酸(itaconicacid)、马来酸(maleicacid)、富马酸(phmalicacid)、肉桂酸(cinnamicacid)、丙烯酸二聚体(acrylicaciddimer)、乙烯基苯甲酸、苯乙烯磺酸、2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸、磷酸一(甲基)丙烯酰基乙酯或甲基丙烯酸-2-羟乙酯等含醇性羟基单体以及通过使马来酸酐或富马酸酐等环状酸酐等反应而得到的单体等。此外，具有酸性基的高分子化合物还可以含有乙烯基单体成分作为共聚成分。作为上述乙烯基单体的例子，没有特殊限制，可以列举(甲基)丙烯酸酯类、丁烯酸酯类、乙烯基酯类、马来酸二酯类、富马酸二酯类、衣康酸二酯类、(甲基)丙烯酰胺类、乙烯基醚类、乙烯基醇的酯类、苯乙烯类以及(甲基)丙烯腈等。作为上述"酸性基"的优选例子，可以列举羧酸基、磺酸基、一硫酸酯基、磷酸基、一磷酸酯基以及硼酸基，进一步优选羧酸基、磺酸基、一硫酸酯基、磷酸基以及一磷酸酯基，特别优选羧酸基、磺酸基以及磷酸基。为了提高分散性，本发明的感光性着色组合物还优选含有具有碱性氮原子(basicnitrogenatom)的基团。作为上述具有碱性氮原子的基团的例子，可以优选列举氨基(-NH2)、取代亚氨基(-NHRS或-NR911^这里，R8、W和R"分别独立地表示碳原子数为120的垸基、碳原子数为6以上的芳基或碳原子数为7以上的芳烷基)、下述化学式(al)表示的胍基(guanidyl)或下述化学式(a2)表示的脒基(amidinyl)等。上述化学式(al)中，R"和R^分别独立地表示碳原子数为120的烷基、碳原子数为6以上的芳基或碳原子数为7以上的芳烷基。上述化学式(a2)中，R"和R"分别独立地表示碳原子数为120的烷基、碳原子数为6以上的芳基或碳原子数为7以上的芳垸基。其中，氨基(-NH2)、取代亚氨基(-NHR8或-NR9R1这里，R8、R9和111()分别独立地表示碳原子数为110的垸基、苯基或苄基)、上述化学式(al)表示的胍基[化学式(al)中，R"和R12分别独立地表示碳原子数为110的烷基、苯基或苄基]、上述化学式(a2)表示的脒基(amidinyl)[化学式(a2)中，R"和R"分别独立地表示碳原子数为110的垸基、苯基或苄基]还含有由1200个氢原子以及020个硫原子形成的基团，它们可以是未取代，也可以进一步具有取代基。其他的分散剂37本发明使用的感光性着色组合物还可以将上述分散树脂和目前公知的分散剂(颜料分散剂)合用。作为公知的分散剂(颜料分散剂)的例子，可以列举高分子分散剂(例如聚酰胺胺及其盐、高分子量不饱和酸酯、改性聚氨酯、改性聚酯、改性聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸类共聚物)、聚氧乙烯烷基磷酸酯、聚氧乙烯烷基胺、垸醇胺以及颜料衍生物等。高分子分散剂从其结构上可以进一步分为直链状高分子、末端改性型高分子、接枝型高分子(graftpolymer)以及嵌段型高分子(blockpolymer)。高分子分散剂吸附于颜料的表面，起防止再凝集的作用。因此，作为优选的结构，可以列举具有针对颜料表面的锚定(anchor)部位的末端改性型高分子、接枝型高分子或嵌段型高分子。另一方面，颜料衍生物具有通过对颜料表面进行改性来促进高分子分散剂吸附的效果。作为本发明能使用的公知的分散剂(颜料分散剂)的具体例子，可以列举BYKChemie公司制的Disperbyk-107(羧酸酯)、130(聚酰胺)、161、162、163、164、165、166、170(高分子共聚物)、EFKA公司制的EFKA4047、4050、4010、4165(聚氨酯类)、EFKA4330、4340(嵌段共聚物)、4400、4402(改性聚丙烯酸酯)、5010(聚酯酰胺)、6220(脂肪酸聚酯)、6745(酞菁衍生物)、6750(偶氮颜料衍生物)、味之素精细化学公司(AjinomotoFine-TechnoCo.,Inc.)制的AJISPERPB821、PB822、共荣社化学公司(KyodshaChemicalCo.,Ltd.)制的FLOWLENTG-710(氨基甲酸乙酯低聚物)、POLYFLOWNo.50E、No.300(丙烯酸类共聚物)、楠本化成公司(KusumotoChemicalsLtd.)制的DISPARLON弁7004(聚醚酯)、DA-703-50、DA-705、DA-725、花王公司(KAOCorporation)制的EMULGEN920、930、935、985(聚氧乙烯壬基苯基醚)、ACETAMIN86(十八垸胺乙酸酯)、路博润公司(TheLubrizolCorporation)制的SOLSPERSE5000(酞菁衍生物)、22000(偶氮颜料衍生物)、13240(聚酯胺)、3000、17000、27000(末端部具有功能部的高分子)、24000、28000、32000、38500(接枝型高分子)、日光化学公司(NikkoChemicalsCo.,Ltd.)制的NIKKOLT106(聚氧乙烯山梨糖醇酐单油酸酯)、MYS-IEX(聚氧乙烯单硬脂酸酯)等。38上述公知的分散剂可以根据需要在相对于分散树脂为10100质量％即分散剂/分散树脂=1/101/1(等量)的范围内使用。表面活性剂若颜料浓度增大，则涂布液的触变性(thixotr叩y)—般变大，因此在基板上涂布或转印感光性着色组合物而形成感光性着色组合物层(着色层涂膜)后的膜厚易产生不均。特别是通过狭缝涂布法形成感光性着色组合物层(着色层涂膜)时，感光性着色组合物层形成用涂布液在干燥前流平形成均一厚度的涂膜很重要。因此，上述感光性着色组合物优选含有合适的表面活性剂。作为上述表面活性剂的例子，可以列举日本专利特开2003-337424号公报、日本专利特开平11-133600号公报中公开的表面活性剂。作为用于提高涂布性的表面活性剂的例子，可以列举非离子型(nonionic)表面活性剂、氟类表面活性剂、有机硅类(silicone)表面活性剂等。作为非离子型表面活性剂的例子，可以列举聚氧乙烯二醇类、聚氧丙烯二醇类、聚氧乙烯烷基醚类、聚氧乙烯烷基芳基醚类、聚氧乙烯垸基酯类、聚氧丙烯烷基醚类、聚氧丙烯烷基芳基醚类、聚氧丙烯烷基酯类、失水山梨醇烷基酯类以及一甘油垸基酯类等。作为非离子型表面活性剂的具体例子，可以列举聚氧乙烯二醇、聚氧丙烯二醇等聚氧化烯二醇类；聚氧乙烯十二垸基醚、聚氧丙烯十八垸基醚、聚氧乙烯油基醚等聚氧化烯垸基醚类；聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯聚苯乙烯化醚、聚氧乙烯三苄基苯基醚、聚氧乙烯-丙烯聚苯乙烯化醚、聚氧乙烯壬基苯基醚等聚氧乙烯芳基醚類；聚氧乙烯二月桂酸酯、聚氧乙烯二硬脂酸酯等聚氧化烯二垸基酯；失水山梨醇脂肪酸酯；以及聚氧化烯山梨糖醇酐脂肪酸酯类等。作为它们的更具体的例子，可以列举艾德科PLURONIC系列、艾德科N0L系列、TETRONIC系列(以上为艾德科株式会社制)、EMULGEN系列、RHEODOL系列(以上为花王株式会社制)、ELEMINOL系列、NONIPOL系歹U、OCTAPOL系歹U、DODECAPOL系列、NEWPOL系列(以上为三洋化成株式会社制)、PIONIN系列(竹本油脂株式会社制)、NISSAN39NONION系列(日本油脂株式会社制)等。可以适当使用它们的市售品。优选的HLB(Hydrophile-LipophileBalance)值为820，更优选为1017。作为氟类表面活性剂的例子，可以列举在末端、主链和侧链中的至少任一部位具有氟代烷基或氟代亚烷基的化合物。作为具体的市售品的例子，可以列举MEGAFACF142D、MEGAFACF172、MEGAFACF173、MEGAFACF176、MEGAFACF177、MEGAFACF183、MEGAFAC780、MEGAFAC781、MEGAFACR30、MEGAFACR08(大日本油墨株式会社(Diecorporation)制)、FLUORADFC-135、FLUORADFC-170C、FLUORADFC-430、FLUORADFC-431(住友3M株式会社制)、SURFLONS-112、SURFLONS-113、SURFLONS-131、SURFLONS-141、SURFLONS-145、SURFLONS-382、SURFLONSC-lOl、SURFLONSC-102、SURFLONSC-103、SURFLONSC-104、SURFLONSC-105、SURFLONSC-106(旭硝子株式会社制)、EFTOPEF351、EFTOPEF352、EFTOPEF801、EFTOPEF802(JEMCO株式会社制)等。作为有机硅类表面活性剂的例子，可以列举ToreySiliconeDC3PA、ToreySiliconeDC7PA、ToreySiliconeSHllPA、ToreySiliconeSH21PA、ToreySiliconeSH28PA、ToreySiliconeSH29PA、ToreySiliconeSH30PA、ToreySiliconeSH-190、ToreySiliconeSH-193、ToreySiliconeSZ-6032、ToreySiliconeSF-8428、ToreySiliconeDC-57、ToreySiliconeDC-190(以上为东丽'道康宁'有机硅株式会社(DowComingToraySiliconeCo.，Ltd.)制)、TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4446、TSF-4460、TSF-4452(以上为MomentivePerformanceMaterialsJapan制)等。这些表面活性剂的量相对于用于形成感光性着色组合物层的涂布液100质量份优选为5质量份以下，进一步优选为2质量份以下。当表面活性剂的量超过5质量份时，涂布干燥时易使表面粗糙，平滑性容易下降。为了促进未固化部的碱溶解性以进一步提高光固性组合物的显影性，可以添加有机羧酸、优选重均分子量为1000以下的低分子量有机羧酸。作为该有机羧酸的具体例子，可以列举甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、戊酸、特戊酸、己酸、二乙基乙酸、庚酸(enanthicacid)、辛酸等脂肪族一元羧酸;草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸(pimelicacid)、辛二酸(subericacid)、壬二酸(azelaicacid)、癸二酸(sebacicacid)、巴西基酸(brasylicacid)、甲基丙二酸(methylmalonicacid)、乙基丙二酸、二甲基丙二酸、甲基琥珀酸、四甲基琥珀酸、柠康酸(citraconicacid)等脂肪族二元羧酸；丙三酸(tricarballylicacid)、乌头酸(aconiticacid)、樟脑三酸(camphoronicacid)等脂肪族三元羧酸；苯甲酸、甲苯酸(toluicacid)、枯酸(cuminicacid)、2，3-二甲基苯甲酸(hemelliticacid)、均三甲苯酸(mesityleneacid)等芳香族一元羧酸；邻苯二甲酸、间苯二甲酸、对苯二甲酸、偏苯三甲酸(trimelliticacid)、均苯三甲酸(trimesicacid)、偏苯四甲酸(mellophanicacid)、均苯四甲酸(pyromdliticacid)等芳香族多元羧酸；苯基乙酸、苯氧基乙酸、甲氧基苯氧基乙酸、氢化阿托酸(hydratropicacid)、氢化肉桂酸(hydrocinnamicacid)、扁桃酸(mandelicacid)、苯基琥珀酸、阿托酸(atropicacid)、肉桂酸、肉桂酸甲酯、肉桂酸节酯、亚肉桂基乙酸(cinnamylideneacetate)、香豆酸(cumaricacid)、伞形酸(umbellicacid)等其他羧酸。烷氧基硅烷(alkoxysilane)化合物从提高与基板的密合性等观点出发，本发明使用的感光性着色组合物还可以含有烷氧基硅垸化合物、具体为硅垸偶联剂。硅烷偶联剂优选具有垸氧基甲硅烷基作为能与无机材料化学结合的水解性基团的硅垸偶联剂，作为更优选的硅烷偶联剂的例子，可以列举能与有机树脂相互作用或成键而显示亲和性的、(甲基)丙烯酰基、苯基、巯基、环氧基硅烷，作为特别优选的例子，可以列举(甲基)丙烯酰基丙基三甲氧基硅垸。使用硅烷偶联剂时的添加量优选为在使用于本发明的感光性着色组合物层中的总固体成分中的0.2质量％5.0质量％的范围，进一步优选为0.5质量％3.0质量％。共增感剂本发明使用的感光性着色组合物还优选根据需要含有共增感剂。本发明的共增感剂具有进一步提高增感色素和/或引发剂对活性放射线的灵敏度或抑制氧对聚合性化合物的聚合抑制等作用。41作为该共增感剂的例子，可以列举胺类例如M.R.Sander等著《JoumalofPolymerSodety》第10巻3173页(1972)、日本专利特公昭44-20189号公报、日本专利特开昭51-82102号公报、日本专利特开昭52-134692号公报、日本专利特开昭59-138205号公报、日本专利特开昭60-84305号公报、日本专利特开昭62-18537号公报、日本专利特开昭64-33104号公报、ResearchDisclosure33825号记载的化合物等，作为具体例子，可以列举三乙醇胺、对二甲基氨基苯甲酸乙酯、对甲酰基二甲基苯胺、对甲基硫代二甲基苯胺等。作为共增感剂的其他例子，可以列举硫醇和硫醚类，例如日本专利特开昭53-702号公报、日本专利特公昭55-500806号公报、日本专利特开平5-142772号公报记载的硫醇化合物、日本专利特开昭56-75643号公报的二硫醚化合物等。作为具体的例子，可以列举2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并咪唑、2-巯基-4(3H)-喹唑啉、(3-巯基萘等。作为共增感剂的其他例子，可以列举氨基酸化合物(例如N-苯基甘氨酸等)、日本专利特公昭48-42965号公报记载的有机金属化合物(例如乙酸三丁基锡(tributyltinacetate)等)、日本专利特公昭55-34414号公报记载的供氢体、日本专利特开平6-308727号公报记载的硫化合物(例如三噻垸等)等。从提高聚合成长速度和链转移平衡的固化速度的观点出发，这些共增感剂的含量优选为固化性组合物的总固体成分的质量的0.130质量％的范围，进一步优选为125质量％的范围，更优选为0.520质量5%的范围。聚合抑制剂在本发明中，在感光性着色组合物的制造中或保存中，为了阻止具有能聚合的烯属性不饱和双键的化合物的不必要的热聚合，优选在感光性着色组合物中添加少量的热聚合抑制剂。作为本发明能使用的热聚合抑制剂的例子，可以列举氢醌(hydroquinone)、对甲氧基苯酚、二叔丁基对甲酚、邻苯三酚(pyrogallol)、叔丁基儿茶酚(t-butylcatechol)、苯醌(benzoquinone)、4，4，-硫代双(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、2，2，-亚甲基双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、N-亚硝基苯基羟胺亚铈盐等。热聚合抑制剂的添加量优选为相对于感光性着色组合物层中的质量为约0.01质量％约5质量％。另外，还可以根据需要添加二十二烷酸(behenicacid)或二十二烷酰胺等高级脂肪酸衍生物等以防止由氧引起的聚合抑制，在涂布后的干燥过程中偏聚于感光层的表面。高级脂肪酸衍生物的添加量优选为总组合物的约0.5质量％约10质量％。增塑剂在本发明中，还可以添加无机填充剂或增塑剂以改善感光性着色组合物层的物性或添加能提高感光层表面的油墨着壁性的感脂化剂等。作为增塑剂的例子，可以列举邻苯二甲酸二辛酯、邻苯二甲酸二(十二烷基)酯、三甘醇二辛酸酯、二甲基二醇邻苯二甲酸酯、磷酸三甲酚酯(tricresylphosphate)、己二酸二辛酯、癸二酸二丁酯、三乙酸甘油酯等。在使用粘合剂的情况下，可以添加相对于具有烯属性不饱和双键的化合物和粘合剂的总质量为10质量％以下的增塑剂。通过使用上述成分，本发明的感光性着色组合物以高灵敏度固化且保存稳定性也很好。另外，还显示对基板的高密合性。因此，含有上述各种成分的感光性着色组合物可以优选用于滤色器。感光性黑色组合物本发明使用的感光性黑色组合物优选含有(A-2)遮光剂、(B)粘合剂聚合物、(C-2)聚合性化合物、(D)光聚合引发剂以及(E)溶剂，还可以根据需要含有分散剂或表面活性剂等其他添加剂。(A-2)遮光剂'作为(A-2)遮光剂的例子，除上述(A-l)着色剂外，还可以列举炭黑(carbonblack)、钛黑(titaniumblack)、金属微粒、金属氧化物、硫化物的微粒等。其中，特别优选遮光性和成本的平衡良好的炭黑。它们可以根据需要单独使用或多种组合使用。例如，可炭黑单独使用，或与有机颜料混合，或将炭黑与有机颜料合用等。作为遮光用材料，一直以来将至少2种以上作为黑色着色剂的屏蔽可见光区域的颜料合用。作为这些颜料的例子，可以列举日本专利特开2005-17716号公报、日本专利特开2005-17521号公报中记载的颜料，关于使用这些颜料形成遮光层的方法，公开在日本专利特开平7-271020等中。为了进一步增强遮光效果，在日本专利特开2000-147240、日本专利特开2000-143985、日本专利特开2005-338328、日本专利特开2006-154849等中开发了炭黑、钛黑或石墨等作为理想的遮光材料。在本发明中，从遮光性和成本的观点出发，炭黑是遮光材料的优选例子。作为炭黑的例子，优选颜料黑(PigmentBlack)7(炭黑)。作为炭黑，可以列举例如三菱化学公司(MitsubishiChemicalCorporation)制的炭黑(CarbonBlack)#2400、#2350、#2300、#2200、#1000、#980、#970、#960、#950、#900、#850、MCF88、#650、MA600、MA7、MA8、MAll、MAIOO、MA220、IL30B、IL31B、IL7B、IL11B、IL52B、#4000、#4010、#55、#52、#50、#47、斜5、#44、斜0、#33、#32、#30、#20、#10、#5、CF9、#3050、#3150、#3250、#3750、#3950、DIABLACKA、DIABLACKN220M、DIABLACKN234、DIABLACKI、DIABLACKLI、DIABLACKII、DIABLACKN339、DIABLACKSH、DIABLACKSHA、DIABLACKLH、DIABLACKH、DIABLACKHA、DIABLACKSF、DIABLACKN55OM、DIABLACKE、DIABLACKG、DIABLACKR、DIABLACKN760M、DIABLACKLP;Evonik德固赛Japan制的炭黑ColorBlackFW200、ColorBlackFW2、ColorBlackFWl、ColorBlackFW18、ColorBlackS170、ColorBlackS160、SpecialBlack6、SpecialBlack5、SpecialBlack4、SpecialBlack4A、PrintexU、PrintexV、Printex140U、Printex140V、Printex35;CabotCorporation制的炭黑REGAL400、REGAL400R、REGALXC72、VULCANXC72R、MOGULL、MONARCH1400、MONARCH1000、BLACKPEARLS1400;AsahiCarbonCo.,Ltd.制的炭黑SUNBLACK900、SUNBLACK910、SUNBLACK930、SUNBLACK960、SUNBLACK970等。另外，为了增大电阻，作为优选的例子还可以列举将这些炭黑用高分子化合物覆盖后的物质。这些炭黑的优选单粒子的大小为10nmlOOnm，进一步优选为10nm50nm。(C-2)聚合性化合物作为黑矩阵形成用感光性黑色组合物中的(C-2)聚合性化合物，也44可以优选列举在上述感光性着色组合物中使用的(C-l)聚合性化合物，特别优选下述化合物。作为感光性黑色组合物中的聚合性化合物，优选具有2个以上烯属性不饱和双键并在光的照射下加聚的单体或低聚物。作为这样的单体和低聚物的例子，可以列举分子中具有至少1个加聚性烯属性不饱和基团且在常压下的沸点为IO(TC以上的化合物。作为其具体例子，可以列举聚乙二醇一(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇一(甲基)丙烯酸酯及苯氧基乙基(甲基)丙烯酸酯等单官能丙烯酸酯和单官能甲基丙烯酸酯；聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基乙院三丙烯酸酯、三羟甲基丙垸三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(丙烯酰氧基丙基)醚、三(丙烯酰氧基乙基)异氰酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)异氰酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯；以及三羟甲基丙烷或甘油等多官能醇与环氧乙烷或环氧丙垸加成后(甲基)丙烯酸酯化得到的物质等多官能丙烯酸酯或多官能甲基丙烯酸酯。作为优选的例子，还可以列举酸性多官能光固性化合物。作为酸性多官能光固性化合物的例子，可以列举(1)通过用二元酸酐将具有羟基和3个以上光固性官能团的单体或低聚物改性而导入羧基所得到的化合物、(2)通过使具有羟基和3个以上光固性官能团的单体或低聚物与具有縮水甘油基或异氰酸酯基和COOH基的化合物等来导入羧基所得到的化合物或(3)通过用浓硫酸或发烟硫酸将具有3个以上光固性官能团的芳香族化合物改性来导入磺酸基所得到的化合物等。另外，还可以将含有酸性多官能光固性化合物单体作为重复单元的低聚物作为酸性多官能光固性化合物使用。作为酸性多官能光固性化合物的优选例子，可以列举下述通式(i)或通式(ii)表示的化合物。另外，在通式(i)和通式(ii)中，当T或G为氧化烯基时，碳原子侧的末端与R、X或W结合。R—(T)n—CH广—CH2—(T)n—X(i)CH2—("n—RH2—(G)「WfH2—(G)「WW-(G)p-CH2—<J2~CH2—Z—CH2—，CH2-(G)p—W(ji)CH2—(G)FWCH2_(G)「W通式(i)中，R表示(甲基)丙烯酰氧基，X表示-COOH基或-OP03H2基。T表示氧化烯基，这里，亚烷基的碳原子数为14。n为020。通式(ii)中，W与通式(i)中的R或X同义，6个W中有3个以上的W与R同义。G与通式(i)中的T同义。Z表示-0-或-OC-ONH(CH2)qNHCOO-。p为020，q为18。一分子内多个存在的R、T、G、W可以分别相同，也可以不同。作为通式(0和通式(ii)表示的酸性多官能光固性化合物的市售品的例子，可以列举东亚合成株式会社制的含羧基3官能丙烯酸酯TO-756以及含羧基的5官能丙烯酸酯TO-1382等。作为更具体的例子，可以列举日本专利特公昭48-41708号公报、日本专利特公昭50-6034号公报以及日本专利特开昭51-37193号公报中记载的氨基甲酸乙酯丙烯酸酯类；日本专利特开昭48-64183号公报、日本专利特公昭49-43191号公报以及日本专利特公昭52-30490号公报中记载的聚酯丙烯酸酯类；作为环氧树脂与(甲基)丙烯酸的反应产物的环氧丙烯酸酯类等多官能丙烯酸酯和多官能甲基丙烯酸酯。其中，优选三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、上述含羧基的5官能丙烯酸酯等。此外，作为优选的例子，还可以列举日本专利特开平11-133600号公报中记载的"聚合性化合物B"。黑矩阵形成用感光性黑色组合物中的(C-2)聚合性化合物的含量优选为感光性黑色组合物层的总固体成分中的550质量％，进一步优选为740质量％，更优选为1035质量％。感光性黑色组合物使用的(B)粘合剂聚合物、(D)聚合引发剂、(E)溶剂、其他添加剂等与上述着色图案形成用感光性着色组合物中的相同，优选的含量也相同。滤色器本发明的滤色器是用本发明的滤色器制造方法制造的滤色器，具有黑矩阵与着色图案相重叠的重叠部，上述重叠部的黑矩阵宽度方向的长度为1.0fxm12(im。使用上述感光性着色组合物和感光性黑色组合物、并用本发明的滤色器制造方法制造的本发明的滤色器，其凸起的高度被抑制得较低，且重叠部的长度适宜，能进行高品质显示。优选上述重叠部的长度为1.0pm12pm，上述凸起的高度为0.5(nim以下。液晶显示装置本发明的液晶显示装置是具备本发明滤色器的液晶显示装置。因此，能显示高品质图像。隔离件可以优选采用利用涂布的制作方法或利用转印的制作方法。从工序简单的观点出发，优选利用涂布的制作方法。从隔离件高度的均一性好的观点出发，优选利用转印的制作方法。关于利用转印的制作方法，特别优选日本专利特开2008-146018号中记载的方法。关于显示装置的定义和各显示装置的说明，例如在"电子显示器(佐佐木昭夫著、株式会社工业调査会1990年发行)""显示器(伊吹顺章著、产业图书株式会社、1989年发行)"等中有记载。另外，关于液晶显示装置，例如在"次世代液晶显示技术(内田龙男编辑、株式会社工业调查会1994年发行)"中有记载。对于能使用本发明的液晶显示装置没有特殊限制，例如可以适用于上述"次世代液晶显示技术"中记载的各种方式的液晶显示装置。其中，本发明对于彩色TFT(ThinFilmTransistor)方式的液晶显示装置特别有效。关于彩色TFT方式的液晶显示装置，例如在"彩色TFT液晶显示(共立出版株式会社1996年发行)"中有记载。此外，本发明还可以适用于IPS(In-PlaneSwitching)等横向电场驱动方式、MVA(Multi-domain47VerticalAlignment)等像素分割方式等视角扩大的液晶显示装置、STN(Super-twistedNematic)、TN(TwistedNematic)、VA(VerticalAlignment)、OCS(OnChipSpacer)、FFS(FringeFieldSwitching)以及R-OCR(ReflectiveOpticallyCompensatedBend)等。这些方式例如在"EL(Electro-Luminescence)、PDP(PlasmaDisplayPanel)、LCD显示-技术与市场的最新动向-(东丽研究中心(TorayResearchCenterInc.)调查研究部门2001年发行)"的第43页中有记载。液晶显示装置除滤色器以外还由电极基板、偏振膜、相位差膜、背光源(backlight)、隔离件(spacer)、视角保障膜等各种部件构成。本发明的带遮光膜的基板可以应用于用这些公知的部件构成的液晶显示装置。这些部件例如在"94液晶显示周边材料，化学的市场(岛健太郎、株式会社CMC(CMCPublishingCo.，Ltd.)1994年发行)"、"2003液晶相关市场的现状与未来展望(下巻)(表良吉、株式会社富士总研(FujiChimeraResearchInstituteInc.)2003年发行)"中有记载。关于背光源，在SIDmeetingDigest1380(2005)(A.Konnoet.al)、显示器月刊2005年12月号的1824页(岛康裕)、同2530页(八木隆明)等中有记载。本发明的滤色器与目前公知的冷阴极管的三波长管组合时，能实现高对比度(contrast)。此外，通过使用红、绿和蓝的LED光源(RGB-LED)作为背光源，能提供亮度高且色纯度高的色重现性好的液晶显示装置。另一方面，液晶显示装置所窭求的性能是图像响应速度的提高。为了提高响应速度，对液晶的取向速度进行改良。另一方面，从单元(cell)的结构面考虑，液晶层厚度的减少对于成本降低而言是必须的。减少液晶层厚度所需的另一技术是减少着色像素与黑矩阵的边界部分的液晶取向紊乱。因此，力求减少在着色像素与黑矩阵的边界部分的凸起。使用本发明的滤色器制造方法而制造的滤色器中，显影后的黑矩阵形成用感光性黑色组合物层具有近似垂直的剖面形状，着色图案(着色像素)形成用感光性着色组合物层与黑矩阵的重叠部的长度为1.0^im12|im，能减小凸起。如上所述，本发明的滤色器由于凸起小，因而能减少上述重叠部的液晶取向的紊乱，图像显示时的视觉辨识性也提高。在本发明的液晶显示装置使用本发明的滤色器，能使各着色像素与黑矩阵的重叠部平坦，若平坦性良好，则液晶层变薄，在敷设透明电极ITO前，无需研磨或赋予平坦化层，有助于工序的合理化以及成本下降和批量生产。[实施例]下面，列举实施例来更具体地说明本发明。下述实施例所示的材料、试剂、比例、仪器、操作等只要不脱离本发明的范围均可作适当变更。因此，本发明的范围不限于下述具体例子。另外，在以下的实施例中，在无特殊说明的前提下，"％"和"份"表示"质量％"和"质量份"，分子量表示重均分子量。另外，"Wt。/。"表示"质量M"。r感光性黑色组合物的制备炭黑分散液(K-l)的制备按下述处方来制备炭黑分散液(K-l)。-炭黑(德固赛公司制的COLORBLACKFW2)…26.7份-分散剂(楠本化成制DISPARLONDA7500(酸值26;胺值40))…3.3份-甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物(=72/28[摩尔比]共聚物、分子量30000、丙二醇一甲醚乙酸酯的50质量%溶液)...IO份-丙二醇一甲醚乙酸酯".60份将上述各成分在3000rpm的条件下使用匀质机(homogenizer)搅拌1小时。将得到的混合溶液在采用0.3mm锆珠(zirconiumbeads)的珠分散机(商品名DESPERMAT、格茨曼公司(VMA-格茨曼GMBH)制)中实施8小时微分散处理，得到炭黑分散液(K-l)。使用得到的炭黑分散液(K-l)，按下述表1的处方来制备感光性黑色组合物涂布液CK-1、CK-3禾nCK-4。表l中的数值表示质量比。49[表1]<table>tableseeoriginaldocumentpage50</column></row><table>表1中各成分的详细情况如下所述。.树脂溶液C-2:甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物(=85/15[摩尔比讲聚物、MwlOOOO、丙二醇一甲醚乙酸酯的50wt。/o溶液)-11￥固化性树脂03:商品名CYCLOMERPACA-250大赛璐化学工业株式会社制[侧链具有脂环基、COOH基和丙烯酰基的丙烯酸类共聚物、丙二醇一甲基醚乙酸酯溶液(固体成分50质量％)]-聚合性化合物C-5:日本化药株式会社制KAYARADDPHA和日本化药株式会社制KAYARADR-684的60比40(质量比)的混合物-引发剂C-7:商品名"OXE-02"汽巴精化公司制-表面活性剂08:商品名"MEGAFACR30"大日本油墨化学工业株式会社制-溶剂PGMEA-丙二醇一甲醚乙酸酯EEP-3-乙氧基乙基丙酸酯2.利用涂布形成黑矩阵感光性黑色组合物层形成工序使用狭缝涂布机(slitcoater)(型号HC6000、平田机工株式会社(HirataCorporation)制)、调节狭缝与玻璃基板之间的间距以及喷出量以使后烘烤后的膜厚为1.2pm并以涂布速度120mm/秒将得到的感光性黑色组合物CK-1涂布于洗涤后的玻璃基板(ComingIncorporated制的MILLENIUM、厚0.7mm)。预烘烤工序和曝光工序接着，使用加热板(hotplate),在80。C下加热120秒(预烘烤处理)后，使用接近(proximity)方式曝光机(型号LE5565A、株式会社日立高禾斗技公司(HitachiHigh-TechnologiesCorporation)制)，在60mJ/cm2下曝光。显影工序然后，用水平运送型显影装置进行显影。即，采用氢氧化钾显影液CDK-l(富士胶片电子材料株式会社(FUJIFILMElectronicMaterialsCo.，Ltd.)制)的1.0%显影液(即，含有CDK-ll质量份和纯水99质量份的稀释液；24°C)，设定喷淋压为0.15MPa,显影37秒，用纯水洗涤，得到显影后的黑矩阵。这里，使用SEM(ScanningElectronMicrosc叩e:扫描电子显微镜)拍摄黑矩阵的剖面照片并确认剖面形状，结果为下部端相对于上部端位于黑矩阵的宽度方向的约3pm的位置的锥形。另外，以下的实施例和比较例中的、相对于上部端的下部端的位置(表6记为"上部端下部端的距离")如表6所示。关于SEM摄影，在黑矩阵的格子的长边的中央附近，沿黑矩阵的宽度方向并与基板表面垂直地将黑矩阵与基板一起切割来进行。烘烤工序接着，在220。C的洁净烘箱(deanoven)中进行40分钟后烘烤处理，形成着色像素形成的区域的开口为90pmx200iam、黑矩阵的厚度为L2nm、黑矩阵的线宽约为25^m的格子状黑矩阵基板。使用X-Rite361T(V)(SAKATAINXENG.Co.，Ltd.制)测定制得的黑矩阵的光学浓度(OD)，结果为4.2。3.感光性着色组合物的制备3-1.红色(R)用感光性着色组合物涂布液CR-1的制备按下述处方来制备红色(R)用分散液(R-l)。-颜料红254(SEM观察下的平均粒径为43nm)...11份-颜料红177(SEM观察下的平均粒径为58nm)-下述分散树脂A-3.分散剂(商品名Disperbyk-161、BYKJapanKK制)(丙二醇一甲基醚乙酸酯的30%溶液)…4份…5份-碱可溶性树脂甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物(=75/25[摩尔比]共聚物、分子量30000、丙二醇一甲基醚乙酸酯溶液(固将上述各成分在3000rpm的条件下使用匀质机搅拌1小时。将得到的混合溶液在采用0.3mm锆珠的珠分散机(商品名DESPERMAT、格茨曼公司制)中实施4小时微分散处理，得到红色(R)用分散液(R-l)。用SEM观察，结果平均粒径为36nm。使用得到的红色(R)用分散液(R-l)，按下述处方来制备红色(R)用感光性着色组合物涂布液CR-1。'红色(R)用分散液(R-l)...100份-环氧树脂(商品名EHPE3150大赛璐化学工业公司制)...2份-聚合性化合物二季戊四醇五丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯的混合物…8份-聚合引发剂4-(邻溴对-N，N-二(乙氧基羰基甲基))氨基-苯基-2，6-二(三氯甲基)-s-三嗪…1份-聚合引发剂2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮誦l…l份-聚合引发剂二乙基噻吨酮...0.5份-聚合抑制剂对甲氧基苯酚...0.001份-氟类表面活性剂(商品名MEGAFACR30大日本油墨化学工业公司制)…0.01份-非离子型表面活性剂(商品名TETRONICR150艾德科公司制)...0.2份体成分50质量％))-溶剂B:丙二醇一甲基醚乙酸酯9份…68份52-溶剂丙二醇正了基醚乙酸酯...30份-溶剂丙二醇一甲基醚乙酸酯...100份将上述成分混合搅拌，得到红色(R)用感光性着色组合物涂布液CR-1。3-2.绿色(G)用感光性着色组合物涂布液CG-1的制备按下述处方来制备绿色(G)用分散液(G-l)。-颜料绿36(SEM观察下的平均粒径为47nm)-颜料黄150(SEM观察下的平均粒径为39nm)...11份…7份…5份，下述分散树脂A-3..-分散剂(商品名Disperbyk-161、日本毕克化学公司制30%溶液)…3份-碱可溶性树脂甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物(=85/15[摩尔比]共聚物、分子量30000、丙二醇一甲基醚乙酸酯溶液(固体成分50质量％))11份-溶剂丙二醇一甲基醚乙酸酯...70份将上述各成分在3000rpm的条件下使用匀质机搅拌1小时。将得到的混合溶液在釆用0.3mm锆珠的珠分散机(商品名DESPERMAT、格茨曼公司制)中实施8小时微分散处理，得到绿色(G)用分散液(G-l)。使用得到的绿色(G)用分散液(G-l)，按下述处方来制备绿色(G)用感光性着色组合物涂布液CG-1。再用SEM观察，结果平均粒径为32nm。-绿色(G)用分散液(G-l)…100份-环氧树脂(商品名EHPE3150大赛璐化学工业公司制)...2份-聚合性化合物二季戊四醇五丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯的混合物…8份-聚合性化合物季戊四醇的四(乙氧基丙烯酸酯)…2份聚合引发剂1，3-双三卤代甲基-5-苯并四氢呋喃三嗪...2份53-聚合引发剂2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮-1…l份-聚合引发剂二乙基噻吨酮...0.5份-聚合抑制剂对甲氧基苯酚...0.001份，氟类表面活性剂(商品名MEGAFACR08大日本油墨化学工业公司制)...0.02份-非离子型表面活性剂(商品名EMALGNEA-60花王公司制)…0.5份-溶剂丙二醇一甲基醚乙酸酯...120份-溶剂丙二醇正丁基醚乙酸酯...30份将上述组成混合搅拌，得到绿色(G)用感光性着色组合物涂布液CG-1。3-3.蓝色(B)用感光性着色组合物涂布液CB-1的制备按下述处方来制备蓝色(B)用分散液(B-l)。-颜料蓝15:6(SEM观察下的平均粒径为55nm)…14份…l份..5份-颜料紫23(SEM观察下的平均粒径为61nm)-下述分散树脂A-3.-分散剂(商品名Disperbyk-161、日本毕克化学公司制30%溶液)…3份-碱可溶性树脂甲棊丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物(=80/20[摩尔比]共聚物、分子量30000、丙二醇一甲基醚乙酸酯溶液(固体成分50质量％))…4份-溶剂丙二醇一甲基醚乙酸酯...73份将上述各成分在3000rpm的条件下使用匀质机搅拌1小时。将得到的混合溶液在采用0.3mm锆珠的珠分散机(商品名DESPERMAT、格茨曼公司制)中实施4小时微分散处理，得到蓝色(B)用分散液(B-l)。再用SEM观察，平均粒径为39nm。使用得到的蓝色(B)用分散液(B-l)，按下述处方来制备蓝色(B)用感光性着色组合物涂布液CB-1。-蓝色(B)用分散液(B-l)...100份-碱可溶性树脂甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物(=80/20[摩尔比]共聚物、分子量30000、丙二醇一甲基醚乙酸酯溶液(固体成分50质量％))…7份-环氧树脂(商品名CELLOXIDE2080大赛璐化学工业公司制)…2份-UV固化性树脂(商品名廿^夕口7—pACA-250大赛璐化学工业公司制)(侧链具有脂环基、COOH基和丙烯酰基的丙烯酸类共聚物、丙二醇一甲基醚乙酸酯溶液(固体成分50质量％))…4份-聚合性化合物二季戊四醇五丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯的混合物...12份-聚合引发剂1-(9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰)一9H-咔唑-3-基)隱l-(邻乙酰基肟)苯乙酮…3份-聚合抑制剂对甲氧基苯酚...0.001份-氟类表面活性剂(商品名MEGAFACR08大日本油墨化学工业公司制)…0.02份-非离子型表面活性剂(商品名EMALGNEA-60花王公司制)..丄O份-溶剂3-乙氧基丙酸乙酯...20份-溶剂丙二醇一甲基醚乙酸酯...150份将上述成分混合搅拌，得到蓝色(B)用感光性着色组合物涂布液CB-1。4.分散树脂A-3的合成.4-l.链转移剂A3的合成将二季戊四醇六(3-巯基丙酸酯)[DPMP;堺化学工业株式会社(SakaiChemicalIndustryCo.,Ltd.)制](下述化合物(33))7.83份以及具有吸附部位且具有碳-碳双键的下述化合物(m-6)4.55份溶解于丙二醇一甲基醚28.90份，在氮气流下加热至70。C。向其中加入2，2'-偶氮双(2，4-二甲基戊腈)[V-65、和光纯药工业株式会社制(WakoPureChemicalIndustriesLtd.)制]0.04份，加热3小时。然后，加入0.04份V-65，在氮气流下、于7(TC下反应3小时。冷却至室温，得到下示硫醇(mercaptan)化合物(连转移剂A3)的30°/。溶液。4-2.分散树脂A-3的合成将上述得到的链转移剂A3的30%溶液4.99份、甲基丙烯酸甲酯19.0份、甲基丙烯酸1.0份以及丙二醇一甲基醚4.66份的混合溶液在氮气流下加热至90"C。一边搅拌该混合溶液，一边花2.5小时滴加2，2'-偶氮二异丁酸二甲酯[V-60K和光纯药工业株式会社制]0.139份、丙二醇一甲基醚5.36份以及丙二醇一甲基醚乙酸酯9.40份的混合溶液。滴加结束后，在9(TC下反应2.5小时，然后加入2，2'-偶氮二异丁酸二甲酯0.046份和丙二醇一甲基醚乙酸酯4.00份的混合溶液，再反应2小时。向反应液加入丙二醇一甲基醚1.52份和丙二醇一甲基醚乙酸酯21.7份后，冷却至室温，得到特定分散树脂A-3(聚苯乙烯换算的重均分子量为24000)的溶液(特定分散树脂30质量％、丙二醇一甲基醚21质量％、丙二醇一甲基醚乙酸酯49质量％)。该特定分散树脂A-3的酸值为48mg/g。分散树脂A-3的结构如下所oHS-CH2C(V(i—O—CH:HS-CH2—CH2-G—0—CH;656H02C,丫、s-H02C-R3—S'(n=3.5,m=2.5)滤色器的制作感光性着色组合物层形成工序将得到的红色(R)用感光性着色组合物涂布液CR-l涂布在上述黑矩阵基板的黑矩阵形成面侧。具体而言，与感光性黑色组合物层形成的情况相同，调节狭缝与黑矩阵基板之间的间距以及喷出量以使后烘烤后的感光性着色组合物层的层厚为约2.1pm并以涂布速度为120mm/秒进行涂布。着色层预烘烤工序和着色层曝光工序接着，使用加热板，在10(TC下加热120秒(预烘烤处理)后，使用接近方式曝光机(型号LE5565A、株式会社日立高科技公司制)，在90mJ/cm2下曝光。对掩模图案和曝光机进行设定使曝光图案与黑矩阵的交叠(曝光重叠量)为5.5jim。着色层显影工序和着色层烘烤工序然后，采用氢氧化钾类显影液CDK-1(富士胶片电子材料株式会社制)的1.0。/。显影液(含有1质量份的CDK-1和99质量份的纯水稀释液;25'C)，设定喷淋压为0.2MPa，显影45秒，用纯水洗涤。接着，在220。C的洁净烘箱内后烘烤处理30分钟，形成经热处理的红色像素。然后，除了将上述感光性着色组合物层形成工序、着色层预烘烤工序、着色层曝光工序、着色层显影工序以及着色层烘烤工序中的红色(R)用感光性着色组合物涂布液CR-1改为绿色(G)用感光性着色组合物涂布液CG-1夕卜，其余均同样操作来形成绿色像素。然后，除了将红色(R)用感光性着色组合物涂布液CR-1改为蓝色(B)用感光性着色组合物涂布57液CB-1夕卜，其余均同样操作来形成蓝色像素，得到滤色器。拍摄随机选择的IO像素SEM剖面照片，测定感光性着色组合物层与黑矩阵的重叠部在黑矩阵的宽度方向的长度，算术平均值为5.0pim。关于上述SEM剖面照片，对在黑矩阵的长边的中央附近与长边方向成直角的剖面进行SEM摄影。使用接触式表面粗糙度仪P-IO(KLATencorJapan制)，测定随机选择的IOO个着色图案的"凸起"的高度，算术平均值为0.22,。关于凸起的高度测定，如图8所示，在黑矩阵IO的格子长边的中央附近，使触针12沿上述黑矩阵IO的宽度方向(A方向)移动来进行。关于各色着色图案与黑矩阵形成的凸起的高度，求出着色图案的表面中重叠部距离基板表面最远的部分与重叠部以外的平坦表面部分之间在基板法线方向上的距离。液晶显示装置的制作在上述得到的滤色器的R像素、G像素和B像素以及黑矩阵上进一步通过溅射(sputtering)来形成ITO(IndiumTinOxide:氧化铟锡)透明电极。另行准备玻璃基板作为对置基板，同样通过溅射来形成ITO透明电极。然后，在相当于上述ITO透明电极上的隔板的上方的部分设置柱状光感应隔离件(photospacer)，在其上进一步设置由聚酰亚胺形成的取向膜。然后，在相当于包围滤色器的着色像素组周围而设置的黑矩阵外框的位置上，利用定量喷出方式涂布紫外线固化树脂的密封剂，滴加TN模式用液晶，在真空状态下与对置基板贴合。将贴合的基板进行UV照射后，热处理使密封剂固化。如此得到液晶单元。在该液晶单元的两面粘贴三立公司(SANRITZCorporation)制偏振片HLC2-2518，然后，在构成冷阴极管的背光源并成为设有上述偏振片的液晶单元的背面一侧配置，制作液晶显示装置。液晶显示装置的画质评价将液晶显示装置通电，肉眼观察各种显示图像，按下述评价基准进行评价。结果如表6所示。评价基准O:无斑，显示鲜艳生动。无斑，显示不生动。x:有斑，泛白，无法观看。实施例2实施例10和实施例13实施例24使用实施例1的感光性黑色组合物涂布液(表5记为黑色组合物)CK-1，将黑矩阵形成工序中的预烘烤条件及显影条件以及在着色图案形成工序中的曝光重叠量用表5所示的值代替，除此以外与实施例1同样操作，制作滤色器。使用该滤色器，与实施例1同样操作来制作液晶显示装置。然后与实施例l进行同样的评价。其结果如表6所示。实施例11通过下述的利用转印的形成而非利用涂布的形成来形成黑矩阵，使用与更大型的基板对应的镜面投影方式的曝光机(型号MPA-8800、佳能株式会社制)来代替曝光机，此外均与实施例1同样地制作滤色器。使用该滤色器制作液晶显示装置。然后实施与实施例1同样的评价。其结果如表6所示。转印形成黑矩阵感光性转印材料CK1的制作在厚75pm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜临时支撑体(PET临时支撑体)上，使用狭缝状喷嘴(nozzle),涂布由下述处方H1形成的热塑性树脂层用涂布液，干燥形成热塑性树脂层。接着，在热塑性树脂层上进一步涂布由上述处方P1形成的中间层用涂布液，干燥形成中间层(隔氧膜)。在该中间层上进一步涂布上述感光性黑色组合物涂布液CK-1，在90度的热气流中干燥形成感光性树脂层Kl。然后，在该感光性树脂层的表面压接保护膜(厚12pm的聚丙烯膜)，制作由临时支撑体与热塑性树脂层、中间层、感光性树脂层Kl形成一体的感光性转印材料CK1。热塑性树脂层用涂布液处方H1-甲醇…1U份-丙二醇一甲醚乙酸酯...6.36份-甲乙酮...52.4份-甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸-2-乙基己酯/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物(共聚组成比(摩尔比)=55/11.7/4.5/28.8、分子量=10万、59Tg—70°C)...6.80份-苯乙烯/丙烯酸共聚物(共聚组成比(摩尔比)=63/37、平均分子量=1万、TgNl00。C)...10.2份2，2-双[4-(甲基丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基]丙垸(新中村化学工业株式会社制(shin-nakamurachemicalco.，Ltd.))…9.1份-上述结构物l的30。/。MEK(甲乙酮)溶液...0.54份如此得到的感光性转印材料CK1的热塑性树脂的干燥膜厚为14.6^m，中间层的干燥膜厚为1.6pm，感光性树脂层K1的干燥膜厚为1.3pm。接着，对无碱玻璃基板(以下也简称为"玻璃基板")通过喷淋吹拂20秒调至25'C的玻璃洗涤剂液，并用具有尼龙毛的旋转刷洗漆，进而用纯水喷淋洗涤。然后，通过喷淋吹拂20秒硅烷偶联液(N-P(氨基乙基)Y-氨基丙基三甲氧基硅烷0.3质量％水溶液、商品名KBM603、信越化学工业株式会社制(Shin-EtsuChemicalCo.,Ltd.))，进行纯水喷淋洗涤。使用基板预备加热装置在IO(TC下将该基板加热2分钟。从上述得到的感光性转印材料CK1中除去保护膜，将除去保护膜后露出的感光性树脂层Kl以其表面与硅烷偶联处理玻璃基板的表面相接的方式与得到的硅烷偶联处理玻璃基板重合，使用WO2006-4225的图24中记载的大型双层层压机层压。层压的条件(转印条件)如下述表2所示。60[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage61</column></row><table>接着，在热塑性树脂层的界面将PET临时支撑体剥离，除去临时支撑体。将临时支撑体剥离后，使用镜面投影型曝光机(MPA-8800、佳能株式会社制)在曝光量100mJ/cn^下图案曝光。然后，将三乙醇胺类显影液(含有30%三乙醇胺、商品名T-PD2(富士胶片株式会社(FUJIFILMHoldingsCorporation)制)用纯水稀释至12倍，将得到的稀释液(将T-PD21份和纯水11份以此比例混合得到的液体)在30。C下以扁平喷嘴(flatnozzle)压力0.04MPa喷淋显影20秒，除去热塑性树脂层和中间层。然后，在该玻璃基板上面吹拂空气断液后，通过喷淋吹拂纯水10秒，进行纯水喷淋洗涤，吹拂空气以减少基板上的积液。然后，使用氢氧化钾类显影液CDK-1(富士胶片电子材料株式会社制)的1.0%显影液(含有1质量份CDK-1和99质量份纯水的稀释液、28°C)，将喷淋压设定为0.10MPa，显影55秒，用纯水洗涤。然后，使用将洗涤剂(含有磷酸盐、硅酸盐、非离子型表面活性剂、消泡剂以及稳定剂；商品名T-SD1(富士胶片株式会社制))用纯水稀释至10倍后得到的稀释液，在33t:下以锥形喷嘴压力0.02MPa喷淋吹拂20秒，然后用具有柔软尼龙毛的旋转刷擦拭形成的图案像以除去残渣，得到所需的黑矩阵图案。这里，使用SEM拍摄剖面照片，观察感光性黑色组合物层的剖面形状，可知锥形长度约为1.5,。上述锥形长度的测定方法与实施例1中的锥形长度的测定相同。然后，在22(TC的洁净烘箱内后烘烤处理40分钟，形成着色像素形成区域的开口为90nmx200nm、黑矩阵的线宽约25pm的格子状黑矩阵。实施例12除了将实施例11中的感光性黑色组合物涂布液CK-1改为下述感光性黑色组合物涂布液CK-2以外，与实施例11同样操作，得到滤色器，使用该滤色器制作液晶显示装置。感光性黑色组合物涂布液CK-2的制备称取下述表3中记载的量的颜料分散物K-2以及丙二醇一甲基醚乙酸酯，在温度24。C(±2°C)下混合，以150r.p.m.搅拌IO分钟。在该搅拌的过程中，称取表1中记载的量的甲乙酮、环己酮、粘合剂2、吩噻嗪、DPHA液、2，4-双(三氯甲基)-6-[4，-(N，N-双二乙氧基羰基甲基)氨基-3，-溴苯基]-s-三嗪以及下述表面活性剂l，在温度25。C(±2°C)下依次添加，在4(TC(±2°C)下以150r.p.m.搅拌30分钟，得到感光性黑色组合物涂布液CK陽2。感光性黑色组合物涂布液CK-2组成颜料分散物K-230.0丙二醇一甲基醚乙酸酯7.3甲乙酮34环己酮8.6粘合剂214/7DPHA液5.52,4-双(三氯乙基)-6-[4，-(N，N-二乙氧基羰基甲基)氨基-3'-溴苯基-s-三嗪]0.22吩噻嗪0.006表面活性剂10.05862另外，上述表3中记载的量为质量份，各成分的详细情况如下所示。颜料分散物K-2-炭黑(德固赛公司制Nipex35)13.1%-分散剂(下述化合物l)0.65%-聚合物(甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸=72/28摩尔比的无规共聚物、分子量3.7万)6.72%-丙二醇一甲基醚乙酸酯79.53%CONH化含物1^~NEt:粘合剂2-聚合物(甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸=78/22摩尔比的无规共聚物、分子量3.8万)...27%-丙二醇一甲基醚乙酸酯...73%DHPA液日本化药株式会社制KAYARADDPHA和日本化药株式会社KAYARADR-684的60比40(质量比)的混合物...76%-丙二醇一甲基醚乙酸酯...24%实施例25在实施例1的黑矩阵形成中涂布感光性黑色组合物涂布液CK-1时，调节狭缝与玻璃基板之间的间距和喷出量以使烘烤后的黑矩阵膜厚为1.51im来涂布感光性黑色组合物涂布液CK-l，将滤色器的制造工序(黑矩阵形成工序和着色图案形成工序)的各条件按表5所示进行改变，除此以外均与实施例1同样操作，制造滤色器。使用该滤色器来制作液晶显示装63置。实施例26将在实施例1的黑矩阵形成中的感光性黑色组合物涂布液CK-1变更为感光性黑色组合物涂布液CK-3，在涂布感光性黑色组合物涂布液CK-3时，调节狭缝与玻璃基板之间的间距和喷出量以使烘烤后的黑矩阵膜厚为1.8pm来涂布感光性黑色组合物涂布液CK-3，将滤色器的制造工序(黑矩阵形成工序和着色图案形成工序)的各条件按表5所示进行改变，除此以外均与实施例1同样操作，制造滤色器。使用该滤色器来制作液晶显示装置。实施例27在实施例1的黑矩阵形成中涂布感光性黑色组合物涂布液CK-1时，调节狭缝与玻璃基板之间的间距和喷出量以使烘烤后的黑矩阵膜厚为l.(Hmi来涂布感光性黑色组合物涂布液CK-l，将滤色器的制造工序(黑矩阵形成工序和着色图案形成工序)的各条件按表5所示进行改变，除此以外均与实施例1同样操作，制造滤色器。使用该滤色器来制作液晶显示装置。实施例28将在实施例1的黑矩阵形成中的感光性黑色组合物涂布液CK-1变更为感光性黑色组合物涂布液CK-4，在涂布感光性黑色组合物涂布液CK-4时，调节狭缝与玻璃基板之间的间距和喷出量以使烘烤后的黑矩阵膜厚为0.7pm来涂布感光性黑色组合物涂布液CK-4，将滤色器的制造工序(黑矩阵形成工序和着色图案形成工序)的各条件按表5所示进行改变，除此以外均与实施例1同样操作，制造滤色器。使用该滤色器来制作液晶显示装置。实施例29除了将实施例13中的柱状隔离件形成工序如下改变并使黑矩阵的显影条件按表5所示改变外，均与实施例13同样操作，制造滤色器。使用滤色器制作液晶显示装置。隔离件形成工序在上述感光性转印材料CK1的制作中，除了将感光性树脂组合物层64Kl按表4所示处方1变更之外，与感光性转印材料CK1的制作同样，制作具有干燥层厚为4.1pm的感光性树脂组合物层的隔离件形成用感光性转印材料。另外，表4中的单位为质量份。<table>tableseeoriginaldocumentpage65</column></row><table>化合物结构p-l表示的树脂的合成在反应容器中事先加入l-甲氧基-2-丙醇(大赛璐化学工业株式会社制)8.57份并升温至9(TC，在氮气气氛下、于9(TC的反应容器中花2小时滴加由甲基丙烯酸异丙酯6.27份、甲基丙烯酸5.15份、偶氮类聚合引发剂(和光纯药公司制V-601)l份以及l-甲氧基-2-丙醇8.57份形成的混合溶液。滴加后反应4小时，得到丙烯酸类树脂溶液。然后，在上述丙烯酸树脂溶液中加入氢醌一甲基醚0.025份和四乙基溴化铵0.084份，然后花2小时滴加甲基丙烯酸缩水甘油酯5.41份。滴加后，一边吹入空气一边在9(TC下反应4小时，然后添加溶剂MMPGAC使固体成分浓度为45%，进行制备，得到具有不饱和基团的下述化合物结构P-l表示的树脂溶液。另外，上述化合物结构P-l表示的树脂的分子量Mw表示重均分子量，作为上述分子量的测定方法，使用凝胶渗透色谱法(GPC)来测定。碱可溶树脂(20)的制备在反应容器中事先加入l-甲氧基-2-丙醇25g和l-甲氧基-2-丙基乙酸酯25g的混合溶剂，升温至9(TC，在氮气氛围下、于9(TC的反应容器中花2小时滴加由苯乙烯32.1g、甲基丙烯酸36.5g、偶氮类聚合引发剂(和光纯药公司制V-601)6.73g、l-甲氧基-2-丙醇25g和l-甲氧基-2-丙基乙酸酯25g形成的混合溶液。滴加后反应4小时，得到丙烯酸树脂溶液。然后，在上述丙烯酸树脂溶液中加入氢醌一甲基醚0.5g和四乙基溴化铵0.015g，然后花2小时滴加甲基丙烯酸縮水甘油酯31.3g。滴加后，一边吹入空气一边在90'C下反应4小时，得到碱可溶树脂溶液。该碱可溶树脂(20)溶液中的固体成分为50%。将得到的隔离件形成用感光性转印材料的保护层(coverfilm)剥离，将露出的感光性树脂组合物层的表面与滤色器基板重合，使用WO2006-4225的图24中记载的大型双层层压机，在线压100N/cm、130°C的加压，加热条件下以运送速度2m/分钟进行贴合。然后，将PET临时支撑体在与热塑性树脂层的界面剥离除去，将感光性树脂组合物层与热塑性树脂层和中间层一起转印。然后，使用具有超高压汞灯的接近型曝光机(日立高科技株式会社制)，在将掩模(具有图像图案的石英曝光掩模)以及该掩模和热塑性树脂层相对配置而成的滤色器基板近似平行地垂直竖立的状态下，使掩模面和与感光性树脂组合物层的中间层相接一侧的表面之间的距离为100pm，隔着掩模，从热塑性树脂层侧以曝光量90mJ/cn^进行接近曝光。接着，将三乙醇胺类显影液(将商品名T-PD2用纯水稀释至12倍后的液体)在30'C下以扁平喷嘴压力0.04MPa喷淋显影50秒，除去热塑性树脂层和中间层。然后，在该玻璃基板上面吹拂空气去液后，通过喷淋x:y:z=45:20:3566吹拂纯水10秒，进行纯水喷淋洗涤，吹拂空气以减少基板上的积液。然后，使用碳酸钠类显影液(含有0.38摩尔/L的碳酸氢钠、0.47摩尔/L的碳酸钠、5%的二丁基萘磺酸钠、阴离子表面活性剂、消泡剂和稳定剂；商品名T-CD1(富士胶片株式会社制)用纯水稀释10倍后的稀释液)，在29。C下以锥形喷嘴压力0.15MPa喷淋显影50秒，得到隔离件的图案像。然后，使用洗涤剂(含有磷酸盐、硅酸盐、非离子型表面活性剂、消泡剂以及稳定剂；商品名T-SD3(富士胶片株式会社制))用纯水稀释至10倍后得到的稀释液)，在33i:下以锥形喷嘴压力0.02MPa喷淋吹拂20秒，然后除去形成的图案像周围的残渣，得到所需的隔离件图案。接着，将设有隔离件图案的滤色器基板在24(TC下加热处理50分钟(热处理工序)，制作光感应隔离件。得到的隔离件图案为直径24pm、平均高度3.6pm的圆柱形。另外，对得到的隔离件20个，使用三维表面结构分析显微镜(制造商ZYGOCorporation类型NewView5022)，测定距离ITO的透明电极形成面最高的位置，求平均值，即为平均高度。实施例30和31将实施例1中的柱状隔离件形成工序改为实施例29那样，将黑矩阵显影条件按表5所示改变，除此以外均与实施例1同样。实施例32将实施例1中的柱状隔离件形成工序改为实施例29那样，改变黑矩阵与像素的掩模图案使黑矩阵的线宽为17pm、曝光重叠量为4.5pm，将黑矩阵显影条件按表5所示改变，其余均与实施例1同样。实施例33除了将实施例32中的显影装置变更为水平运送型以外，其余均与实施例32同样操作，制造滤色器。使用该滤色器制作液晶显示装置。实施例34除了将实施例32中的显影装置变更为垂直运送型以外，其余均与实施例32同样操作，制造滤色器。使用该滤色器制作液晶显示装置。比较例1比较例6除了将实施例1的黑矩阵形成工序中的预烘烤条件和显影条件以及着色图案形成工序中的曝光重叠量用表5所示的值代替外，其余均与实施例1同样操作，制作滤色器，使用该滤色器，与实施例1同样地制作液晶显示装置。<table>tableseeoriginaldocumentpage69</column></row><table>表5中，"黑矩阵形成工序"一栏中的预烘烤时间和显影时间的单位为"秒"，预烘烤温度和显影温度的单位为""c"。另外，"着色图案形成工序"一栏中的曝光重叠量的单位为m"。对上述实施例2实施例34以及比较例1比较例6中制作的各液晶显示装置，与实施例1同样地进行画质评价。结果如表6所示。另外，在比较例1比较例4中，在黑矩阵显影后产生残渣或黑矩阵的线宽增加，或黑矩阵缺口，因而无法在基板上形成着色图案。另外，在比较例5中，由于在黑矩阵与像素之间产生局部间隙等漏白现象，因而成为不适合进行之后的评价和显示装置制作的滤色器。因此，在比较例15中，无法求出凸起的高度，无法进行液晶显示装置的评价。[表6]黑矢巨阵滤色器评价厚度上部端下部端的距离重叠凸起高度画质11.23.05.00.22〇21.22.01.50.12031.22.02,50.17041.22.0500.26〇51.22.07.50.27061.22.08.50.28〇了1.22.09.50.29〇81.22.0".50.30091.21.05.00.29〇101.20.5500.31o111.20.5500.29o121.20.55,00.30o131.20.0500.33o141.2-1.01.50.200入施例151.2-1.02.50.250161.2-1.05.00.310"1.2-1.07.50.34o181.2-1.08.50.370191.2-1.09.50.39o201.2-1.011.50.42厶211.2-1.55.00.30o221.2-2.05.00.27o231.2-2.55.00.25o241.2-3.05.00.220251.50.05.00.37o261.80.05.00.40厶271.00.05.00.29o280.70.05.00.190291.21.05.00.28o301.20.05.00.33o311.22.06.00.26o321.2-1.04.00.290331.2_1.04.00.29o341.2-1.04.00.29o比较例11.24.0产生BM残渣，无法制作——21.24.0BM线宽增加，无法制作'——31.2-4.0BWI缺口，无法制作—一41.2-4.0BM缺口，无法制作—_51.20.00.5、漏白——61.20.012.50.55X71表6中，厚度、上部端下部端的距离、重叠量以及凸起高度的单位均为'、m"。由表6可知，实施例1实施例34的滤色器的凸起高度被抑制，使用这些滤色器的液晶显示装置具有高品质的画质。7权利要求1.一种滤色器的制造方法，其具有黑矩阵形成工序，通过使用感光性黑色组合物在基板上形成感光性黑色组合物层、将所述感光性黑色组合物层曝光以及将曝光后的所述感光性黑色组合物层显影来形成下述黑矩阵图案，然后将所形成的黑矩阵图案烘烤，其中，所述黑矩阵图案位于从所述感光性黑色组合物层内的上部端向所述基板的法线方向延伸的线与所述感光性黑色组合物层内的下部端之间在黑矩阵宽度方向上的距离为-3.0μm～+3.0μm范围的位置；和着色图案形成工序，通过使用感光性着色组合物在烘烤后的形成有黑矩阵的所述基板上形成感光性着色组合物层、将所述感光性着色组合物层曝光、将曝光后的所述感光性着色组合物层显影、将显影后的所述感光性着色组合物层烘烤来形成着色图案，其中，该烘烤后的、该着色图案与所述黑矩阵相重叠的重叠部在黑矩阵宽度方向上的长度为1.0μm～12μm。2.根据权利要求1所述的滤色器的制造方法，其中，在所述基板上形成的所述感光性黑色组合物层的厚度为0.2pm2.2pm。3.根据权利要求1所述的滤色器的制造方法，其中，在所述黑矩阵形成工序中的所述显影中，显影温度为20°C35°C，显影时间为20秒120秒。4.根据权利要求3所述的滤色器的制造方法，其中，所述显影温度为20°C30°C，所述显影时间为30秒70秒。5.根据权利要求1所述的滤色器的制造方法，其中，所述黑矩阵形成工序中在形成所述感光性黑色组合物层之后、所述曝光之前还含有预烘烤。6.根据权利要求5所述的滤色器的制造方法，其中，所述预烘烤中的预烘烤温度为65'C12(TC。7.根据权利要求5所述的滤色器的制造方法，其中，所述预烘烤中的预烘烤时间为50秒300秒。8.根据权利要求1所述的滤色器的制造方法，其中，在所述着色图案形成工序中的所述曝光中，隔着掩模图案进行曝光，曝光图案与黑矩阵的交叠部分在黑矩阵宽度方向上的长度为3.0pm8.(^m。9.根据权利要求8所述的滤色器的制造方法，其中，在所述着色图案形成工序中的所述显影中，显影温度为2(TC35。C，显影时间为20秒120秒。10.根据权利要求8所述的滤色器的制造方法，其中，在所述着色图案形成工序中，曝光图案与黑矩阵的交叠部分在黑矩阵宽度方向上的长度为2.0^im10^im，所述显影温度为2(TC35°C，所述显影时间为20秒120秒。11.根据权利要求10所述的滤色器的制造方法，其中，所述长度为3.(Him8.(Him，所述显影温度为20°C30°C，显影时间为30秒70秒。12.根据权利要求1所述的滤色器的制造方法，其中，所述重叠部距离基板表面最远的部分与所述重叠部以外的部分之间在基板的法线方向上的距离为0.5iam以下。13.根据权利要求1所述的滤色器的制造方法，其中，感光性着色组合物层的层厚为0.5pm3.0|im。14.一种滤色器，其是用权利要求113中任一项所述的滤色器的制造方法制造的滤色器，具有黑矩阵与着色图案相重叠的重叠部，所述重叠部在黑矩阵宽度方向的长度为1.0^im12pm。15.根据权利要求14所述的滤色器，其中，在所述着色图案的表面，所述重叠部距离基板表面最远的部分与所述重叠部以外的部分之间在基板的法线方向上的距离为0.50pm以下。16.—种液晶显示装置，其具有权利要求14所述的滤色器。17.—种液晶显示装置，其具有权利要求15所述的滤色器。全文摘要一种滤色器的制造方法，其具有黑矩阵形成工序和着色图案形成工序，在所述黑矩阵形成工序中，通过使用感光性黑色组合物在基板上形成感光性黑色组合物层、将上述感光性黑色组合物层曝光以及将曝光后的上述感光性黑色组合物层显影，来形成相对于上述感光性黑色组合物层内的上部端使下部端位于-3.0μm～+3.0μm范围的位置的黑矩阵图案，然后将形成的黑矩阵图案烘烤；在所述着色图案形成工序中，通过在烘烤后的形成了黑矩阵的上述基板上，使用感光性着色组合物形成感光性着色组合物层，将上述感光性着色组合物层曝光，将曝光后的上述感光性着色组合物层显影，将显影后的上述感光性着色组合物层烘烤，形成着色图案，这里，该烘烤后的该着色图案与上述黑矩阵重叠的重叠部在黑矩阵宽度方向上的长度为1.0μm～12μm。文档编号G03F7/00GK101493649SQ20091000486公开日2009年7月29日申请日期2009年1月21日优先权日2008年1月25日发明者匹田政宪,安藤豪,山岸庸恭申请人:富士胶片株式会社