光波导路组件的制造方法

专利名称：光波导路组件的制造方法
技术领域：
本发明涉及一种光通信、光信息处理、其它一般光学中广 泛应用的光波导^^组件的制造方法。
背景技术：
如图7所示，光波导路组件例如包括基^反81;形成在该基 1o板81的表面的、由下lt层84、芯85、上数层86构成的光波导路； 安装在上述基板81的背面的发光元件31和受光元件32。上述发光 元件31和受光元件32的电极31a、 31b分别与导电配线83连接。 并且，在发光元件31的上方和受光元件32的上方，在上述基板81 上形成有作为光路的通孔88，以便能借助于光波导路将来自发光 ls元件31的光(光信号)L传播到受光元件32上，并且光波导路的 两端部定位在两通孔88的上方。该光波导^各的两端部形成为相对 于光轴倾斜45。的倾斜面，该倾斜面的与芯85相对应的部分形成 为光路变换镜85a (例如，参照专利文献l)。
上述光波导路组件中的光L的传播如下所述这样进行。首 先，光L从发光元件31射出到上方。该光L通过上述基々反81的通 孔88后，穿过光波导路的一端部(在图7中的左端部)的下敷层 84，入射到芯85的一端部。接着，该光L由芯85的一端部的光 路变换镜85a反射(光路发生90。变换)，被引导到芯85的里侧。 然后，该光L在芯85内传:播到另 一端部(图7中的右端部)。4妄 着，该光L由上述另 一端部的光路变换镜85a向下方反射(光路 发生90°变换)，穿过下敷层84而从光波导路射出。然后，该光 L通过上述基板81的通孔88后，传播到受光元件32上。而且，为了降低光波导路与发光元件31或受光元件32之间 的光L的耦合损失，如图8所示，提出了将与光波导路两端部的 光路变换镜95a相对应的下li层96的表面部分形成为凸状透镜 部96a(例如，参照专利文献2、 3)。即，在光波导^各的一端部 中，从发光元件31射出的光L净皮上述凸状透4竟部96a聚光，以该 聚光状态被引导到芯95的 一端部的光路变换镜95a。在光波导路 的另 一 端部中，由芯95的另 一端部的光路变换镜95a反射的光被 上述凸状透镜部96a聚光，以该聚光状态朝着受光元件32射出。 利用这样的上述凸状透镜部96a的聚光作用，降低了光L的耦合 损失。另外，在图8中，附图标记94是下敷层。
专利文献l:曰本对争开2007画4043号7>才艮(,更落0096 ~ 0100 以及图25、 26、 32、 34)
专利文献2:日本特开2003-172837号公报
专利文献3:日本特开2006-154335号公报
但是，在上述专利文献1~3中，为了形成光路变换镜(倾 斜面)85a、 95a,需要利用旋转刀具等切削光波导路两端部，生 产效率差。并且，光路变换镜85a、 95a的形成是利用旋转刀具 等的切削时，其切断角度(倾斜面的角度)、切断面(倾斜面) 的平面度等精度易于产生偏差。光路变换镜85a、 95a的精度不 够时，无法恰当地进行光路变换，光L的耦合损失变大。而且， 在专利文献2、 3中，形成凸状透镜部96a时要求其与光路变换镜 95a的定位精度，凸状透镜部96a的形成很困难。

发明内容
本发明是鉴于上述问题而做成的，其目的在于提供一种光 波导路组件的制造方法，能以稳定的精度形成光的反射部，其 生产效率高。为了达到上述目的，本发明的光波导路组件的制造方法，
其用于制造光波导路组件，该光波导路组件包括在表面侧具 有芯和覆盖该芯的上敷层的光波导路；在该光波导路的背面侧 与上述光波导路的端部相关联地安装的光学元件；能将光反射 而在上述芯和上述光学元件之间进行光传播的反射部，该光波 导路组件的制造方法采取具有如下工序的结构利用模具成形 法形成上述上敷层的同时，将与上述光波导路的端部相对应的 上敷层的端部形成为反射部。
在本发明的光波导路组件的制造方法中，利用模具成形法 形成光波导路的上敷层的同时，在上敷层上也形成反射部。因 此，能稳定(无偏差)地形成上敷层的形状。并且，也能以稳 定的精度形成上敷层端部的反射部。由此，在所制造的光波导 路组件中，在借助于上述反射部的、芯和光学元件之间的光传 播中，能恰当地进行上述反射部中的光反射(光路变换)，能减 少光的耦合损失。而且，利用模具成形法上述反射部与上敷层 同时形成，因此形成反射部不需要旋转刀具等的切削工序(现 有技术的光路变换镜部分(倾斜面)的形成工序)，提高了光波 导路的生产效率，其结果，提高了光波导路组件的生产效率。
特别是，在将上述上敷层的端部形成为反射部的工序是将 上敷层本身的端部形成为截面呈弧状的曲面的工序的情况下， 在所制造的光波导路组件中，上述反射部的反射是凹曲面的反 射，因此能将上述反射部反射的光聚光。由此，借助于上述反 射部的、在芯的端部和光学元件之间的光传播能以聚光的状态 进行，更能减少光的耦合损失。
而且，在将上述上敷层的端部形成为反射部的工序包括将 上敷层本身的端部形成为截面呈弧状的曲面的工序以及还在所 形成的曲面上形成金属膜的工序的情况下，在所制造的光波导路组件中，利用上述金属膜能提高反射部的光的反射率，因此 也能提高光的传播效率。


图l的(a) ~ (d)是示意性地表示本发明的光波导路组件 的制造方法的第l实施方式的说明图。
图2的(a) ~ ( c)是示意性地表示上述光波导路组件的制 造方法的第l实施方式的说明图。
图3是示意性地表示上述光波导路组件的剖视图。
图4是示意性地表示本发明的光波导路组件的制造方法的 第2实施方式的说明图。
图5的(a) ~ ( d)是示意性地表示本发明的光波导路组件 的制造方法的第3实施方式的说明图。
图6的(a) (b)是示意性地表示本发明的光波导路组件 的制造方法的第4实施方式的上敷层的形成工序的说明图。
图7是示意性地表示以往的光波导路组件的说明图。
图8是示意性地表示以往的另 一光波导路组件的剖视图。
具体实施例方式
接着，基于附图对本发明的实施方式进行详细说明。 图l的(a) ~ ( d)、图2的(a) ~ ( c)表示本发明的光波 导路组件的制造方法的第l实施方式。在该实施方式中，首先， 如图l的(a)所示，在不锈钢制基板l的下表面的规定位置，将 绝缘层2形成规定图案之后，在该绝缘层2的表面上，将导电配 线3形成规定图案。接着，如图l的(b)所示，在上述不锈钢制 基板l的上表面的规定位置，按下敷层4、芯5的顺序将下敷层4、 芯5层叠形成为规定图案。然后，如图l的(c) ~ (d)所示，
7使用上敷层6形成用的成形模具10进行模具成形。在该成形模具 IO的模面上，在其两端形成有反射部6a形成用的、将空心球大 约一分为四而形成的大约l/4球面(凹部ll的两端部lla)。然后， 利用使用了该成形模具10的模具成形法，以覆盖上述芯5的状态 形成上敷层6。由此，制作出了由上述下敷层4、芯5、上敷层6 构成的光波导路。在本实施方式中，上述上敷层6的两端部形成 为大约l/43求面(截面为大约l/4圆)，该大约1/4J求面(截面为弧 状的曲面)为反射部6a。在本发明中，这样利用模具成形法形 成具有反射部6a的上敷层6，从而能提高光波导路的生产效率， 能提高光波导路组件的生产效率。
并且，在本实施方式中，如图2的(a)所示，通过电镀或 蒸镀在上述大约l/4球面上形成金属膜7。接着，如图2的(b) 所示，将包括上述光波导路的规定区域与上述不锈钢制基板l 等一起冲裁。然后，如图2(c)的所示，利用激光加工等在与 上述光波导^各的两端部的反射部6a相对应的绝纟彖层2部分和不 锈钢制基板1部分形成通孔8后，覆盖各通孔8的下方地分别安装 发光元件31和受光元件32(安装)。该安装通过将上述发光元件 31和受光元件32的电才及31a、 32a与上述导电配线3的-见定位置 (形成在导电配线3的一部分上的焊盘)连接来进行。这样，制 造了光波导路组件。
在该光波导路组件中，上述发光元件31和受光元件32与上 述光波导路的端部相关联地安装在光波导路的背面侧，形成在 上述光波导路的端部的反射部6a反射光而能在芯5、发光元件31 和受光元件32之间进行光传播。即，在上述光波导路组件中， 如图3所示，上述发光元件31安装在光波导路的一端部(图3中 的左端部)的背面侧(图3中的下侧)，上述受光元件32安装在 光波导路的另一端部(图3中的右端部)的背面侧。并且，上述发光元件31是相对于上敷层6的一端部的反射部6a射出光L的 光学元件，从该发光元件31射出的光L通过上述不锈钢制基板1 的通孔8后，穿过光波导路的一端部的下敷层4，入射到上敷层6 的一端部。接着，该光L由上敷层6的一端部的反射部6a反射， 从芯5的一端面入射到芯5内。然后，该光L在芯5内传播到另一 端面，/人该芯5的另 一端部射出。4妄着，该光L由上J丈层6的另 一端部的反射部6a反射，穿过下敷层4而从光波导路射出。然后， 该光L通过上述基板1的通孔8后，由受光元件32接受。在这样 的光的传播中，在本实施方式中，上述两端部的反射部6a的反 射是凹曲面(上述大约l/4球面)的反射，因此上述反射部6a 反射的光L进行聚光，能更减少光的耦合损失。
述不锈钢基板l (参照图l的(a))的厚度#1设定在20 ~ 200jim 的范围内。
作为上述绝缘层2 (参照图l的(a))的形成材料，例如能 列举出感光性聚酰亚胺树脂、感光性环氧树脂等感光性树脂。 并且，上述绝缘层2的形成如下所述首先，在上述不锈钢制基 板l的下表面(形成绝缘层2时朝上)的规定位置涂布上述感光 性树脂而形成感光性树脂层之后，隔着形成有与绝缘层2的图案 相对应的开口图案的光掩模，利用照射线对上述感光性树脂层 进行曝光。接着，通过利用显影液来进行显影，使未曝光部分 溶解并除去，将残存的感光性树脂层形成为绝缘层2的图案。之 后，利用加热处理除去该残存感光性树脂层中的显影液。由此， 将上述残存感光性树脂层形成为绝缘层2。绝缘层2的厚度通常 被设定在5~ 15pm的范围内。
上述导电配线3 (参照图l的(a))的形成如下所述例如， 首先，利用溅射或非电解电镀等在上述绝缘层2的表面(形成导电配线3时朝上)形成金属层(厚度为600 ~ 2600A左右)。接着， 在该金属层的表面上贴附干膜(干膜抗蚀剂)之后，利用光刻 在上述干膜上形成导电配线3的图案的槽部，使上述金属层的表 面部分在该槽部的底部露出。接着，利用电解电镀，在露出到 上述槽部的底部的上述金属层的表面部分层叠形成电解电镀层
(厚度5 ~ 20pm左右)。然后，利用氢氧化钠水溶液将上述干膜 剥离。之后，利用软蚀刻除去未形成有上述电解电镀层的金属 层部分，将由残存的电解电镀层和其之下的金属层构成的层叠 体形成为导电配线3。
作为上述绝缘层4 (参照图l的(b))的形成材料，例如能 列举出感光性聚酰亚胺树脂、感光性环氧树脂等感光性树脂。 并且，上述绝缘层4的形成如下所述首先，在上述不锈钢制基 板1的上表面的规定位置涂布上述下敷层4形成用的感光性树脂 溶解于溶剂而形成的清漆之后，根据需要对其进行加热处理
(50~ 120°Cxl0~ 30分钟左右)而^f吏清漆干燥，形成了形成于 下敷层4上的感光性树脂层。接着，利用光刻将上述感光性树脂 层形成为规定图案的下敷层4。下敷层4的厚度通常被设定在5 ~ 50nm的范围内。
作为上述芯5(参照图1的(b))的形成材料，例如，能列 举出与上述下敷层4同样的感光性树脂，能采用折射率大于上述 下敷层4和上敷层6的形成材料的材料。可通过对例如上述下敷 层4、芯5、上敷层6的各形成材料的种类进行选择、对各形成材 料的组成比率进行调整来调整该折射率。并且，芯5的形成如下 所述在上述下敷层4的表面的规定位置涂布上述芯5形成用的 感光性树脂溶解于溶剂而形成的清漆之后，利用光刻形成规定 图案的芯5。芯5的厚度通常被设定在5 ~ 60ium的范围内，其宽 度通常被设定在5 ~ 60pm的范围内。上述上敷层6的形成是在上述芯5的形成之后如图l的(c)~(d)所示那样利用模具成形法形成上敷层6的，这是本发明的重要特征。即，如图l的(c)所示，在上述模具成形法所使用的成形模具10上形成了具有与上述上敷层6 (参照图l的(d))的表面形状相对应的才莫面的凹部ll。并且，在形成上敷层6时，将芯5定位在上述凹部11内的状态下，4吏该凹部11的开口面与下敷层4的表面紧密接触，由此由上述凹部ll的模面、下敷层4的表面、芯5的表面围成的空间形成为成形空间。而且，在上述成形模具10中，用于将后述的上敷层6形成用的感光性树脂注入到上述成形空间的注入孔12以与上述凹部1 l相连通的状态形成。并且，在本实施方式中，上述凹部ll的才莫面的两端部lla为复制形成了上敷层6的反射部6a的模面。而且，如后所述，需要透过上述成形模具10利用紫外线等照射线对充满上述成形空间的上敷层6形成用的感光性树脂进行曝光，因此作为上述成形模具IO使用由使照射线透过的材料构成的模具(例如石英制模具)。
作为上述上敷层6的形成材料，例如能列举出与上述下敷层4同样的感光性树脂，使用无溶剂型的材料。为了能注入到上述成形空间中，其粘度最佳被设定在100- 2000mPa . s的范围内。
并且，上敷层6的形成是使用上述上敷层6形成用的成形模具10和感光性树脂、例如如下所述这样进行的。即，首先，如图l的(c)所示，以上述芯5定位在上述成形模具10的模面所形成的凹部ll内的方式， -使上述凹部ll的开口面与上述下Jt层4的表面紧密接触。然后，将上敷层6形成用的感光性树脂(无溶剂)6A乂人形成在上述成形才莫具10上的注入孔12注入到成形空间中，使上述成形空间充满上述感光性树脂6A,该成形空间是由上述凹部ll的模面、下敷层4的表面、芯5的表面围成的。接着，在使紫外线等照射线透过上述成形模具10并进行曝光之后，进行加热处理。由此，上述感光性树脂6A固化，形成具有反射部6a的上敷层6 (参照图l的(d))。而且，上敷层6和下敷层4由同样的感光性树脂构成，因此在它们的接触部分进行同化。然后，如图l的(d)所示，进行脱模，得到两端部形成为反射部6a的上敷层6。该上敷层6的厚度通常祐:设定在50 ~ 2000pm的范围内。
作为形成在上述反射部6a表面的金属膜7(参照图2的(a))的形成材料，例如能列举出镍、铜、银、金、铬、铝、锌、锡、钴、钽、白金、钯以及包括上述两种以上元素的合金材料等。并且，上述金属膜7的形成是例如在利用抗蚀剂层对上述反射部6a之外的部分进行掩蔽的状态(只露出反射部6a的状态)下，利用先前所述电镀或蒸镀进行的。之后，除去上述抗蚀剂层。上述金属膜7的厚度例如被设定在50nm 5ium的范围内。
并且，如先前所述，如图2的(b)所示，将包括光波导路的规定区域与上述不锈钢制基板l一起冲裁。之后，如图2的(c)所示，利用激光加工等在与形成在上述光波导路的两端部的反射部6a相对应的不锈钢制基纟反1部分形成通孔8之后，以覆盖各通孔8的下方的方式将发光元件31和受光元件32分别与导电配线3连接。作为上述发光元件31,能列举出VCSEL(垂直腔面发射5敫光器Vertical Cavity Surface Emitting Laser)等，作为受光元件32,能列举出PD (光电二极管Photo Diode)等。
这样，在不锈钢制基板l的上表面上制作了由下敷层4、芯5、上敷层6构成的光波导路，能制造在上述不锈钢制基板l的下表面上形成有绝缘层2和导电配线3、且安装有发光元件31和受光元件32的光波导路组件。在光波导路组件的制造方法中，上敷层6的形成是利用模具成形法进行的，因此上敷层6的两端部的反射部6a利用模具复制以稳定的精度形成。而且，能形成上敷层6的同时形成反射部6a,因此不需要现有技术那样的上敷层6形成后的两端部的切削工序，光波导路组件的生产效率高。
另外，在上述实施方式中，将上敷层6的反射部6a形成为大约l/4球面，但在芯5的宽度宽的情况下，为了覆盖其整体，也可以将反射部6a形成为截面形状具有弧状曲面(例如，大约1/4圓)的筒状面。
而且，在上述实施方式中，也可以将不锈钢制基^反1形成为
基板l，并且从形成绝缘层2到冲裁的工序。或者，也可以连续地进行到中途的工序(例如，光波导路的制作)之后，巻成巻状，将其抽出并且连续地进行之后的工序。这样采用连续工序更提高生产效率。
而且，在上述实施方式中，作为基板l,使用了不锈钢制基板l,但也可以是由其他金属或树脂材料等构成的基板l。并且，该基板l具有绝缘性的情况下，也可以不形成上述绝缘层2，直接在上述基板1上形成导电配线3。上述绝缘层2用于防止上述金属制基板1那样的具有导电性的基板1与导电配线3之间发生短路。
而且，在上述实施方式中，形成了下l丈层4， ^旦也可以不形成下敷层4，直接在不锈钢制基板1等的基板1上形成芯5，上述
而且，在上述实施方式中，形成了导电配线3之后，制作了光波导路，之后，分别安装了发光元件31和受光元件32，但只要利用模具成形法形成上敷层6，也可以是其他顺序。例如，在形成了导电配线3之后，分别安装发光元件31和受光元件32,之后制作光波导路。
图4是表示本发明的光波导路组件的制造方法的第2实施方式。本实施方式是在上述第l实施方式中未形成金属膜7 (参照图2的(a) ~ (c))的方式。除此之外的部分与上述实施方式l相同，对同样的部分标上相同的附图标记。
在本实施方式中，未形成金属膜7，因此反射部6a的反射率虽降低，但上敷层6的折射率大于处于上述反射部6 a的外侧的空气的折射率，因此照射到反射部6a的光的大部分被反射。因此，与上述第l实施方式相同，光的传播能恰当地进行。并且，在该第2实施方式中，也利用模具成形法进行上敷层6的形成，因此，能以稳定的精度形成上敷层6的两端部的反射部6a,并且，光波导路组件的生产效率高。
图5的(a) (d)表示本发明的光波导路组件的制造方法的第3实施方式。该实施方式是制造没有构成上述第l实施方式中的不锈钢制基板l (参照图l的(a) (d))等基板l的光波导路组件的方式。即，首先，如图5的(a)所示，准备聚苯二甲酸乙二醇酯(PET)制膜等基台9，与上述第l实施方式相同，在该基台9上的规定部分以下敷层4、芯5、上敷层6的顺序将它们形成来制作光波导路。并且，在该实施方式中，如图5的(b)所示，利用电镀或蒸镀将金属膜7形成在上述反射部6a的表面。接着，如图5的(c)所示，从上述基台9将光波导路剥离。接着，如图5的(d)所示，与上述第l实施方式相同，将规定的导电配线3直接形成在该剥离了的光波导路的下敷层4的下表面上之后，将发光元件31和受光元件32连接于与上述光波导路的两端部的反射部6a相对应的导电配线3部分。这样，制造了光波导路组件。
在该第3实施方式中，也利用模具成形法进行了上敷层6的形成，因此，能以稳定的精度形成上敷层6的两端部的反射部6a,并且，光波导路组件的生产效率高。
14图6的(a) ~ ( b)表示本发明的光波导路组件的制造方法的第4实施方式的上敷层6的形成工序。本实施方式是在上述第1实施方式中上敷层6的形成方法为冲压成形(模成形)的方式。即，在上述第l实施方式中，形成芯5之后(参照图l的(b)),如图6的(a)所示，以覆盖该芯5的方式在上述下敷层4的表面形成上敷层6形成用的半固化(B级)或未固化的感光性树脂层6B。然后，如图6的(b)所示，使成形模具20对该感光性树脂层6B进行冲压，将该感光性树脂层6B成形为上敷层6的形状。然后，在该状态下，在使紫外线等照射线透过上述成形模具20进行曝光之后，进行加热处理。由此，形成具有反射部6a的上敷层6。除此之外的部分与上述第l实施方式相同，对相同的部分标上相同的附图标记。
在本实施方式中，上述半固化的感光性树脂层6B的形成是通过涂布上敷层6形成用的感光性树脂(无溶剂)之后、适当地调整对该涂布层的照射线的曝光、加热处理来进行的。而且，上述半固化的感光性树脂层6B是上述感光性树脂(无溶剂)的涂布层。并且，上述成形模具20使用在上述第l实施方式中所采用的成形模具10中(参照图l的(c))未形成有材料注入用的注入孔12的模具。
在第4实施方式中，也利用模具成形法进行上敷层6的形成，因此，能以稳定的精度形成上敷层6的两端部的反射部6a,并且，光波导路组件的生产效率高。
另外，上述第4实施方式中的上敷层6的冲压成形也可以使用于上述第3实施方式中的上敷层6的形成。
而且，在上述各实施方式中，将上敷层6的两端部的反射部6a形成为截面呈弧状的曲面，但只要利用模具成形法形成具有上述反射部6a的上敷层6，借助于该反射部6a能在芯5的端面、发光元件31、受光元件32之间进行光传播，其形状也可以是除截面呈弧状的曲面之外的例如45。倾斜面等。
以下，与比较例一起对实施例进行说明。 <旦是，本发明不限于实施例。
实施例
下敷层及上敷层的形成材料
混合35重量份的下述通式(1 )所示的双苯氧乙醇芴基缩水甘油基瞇(成分A)、 40重量份的脂环式环氧树脂即3'， 4，-环氧环己基甲基3， 4-环氧乙烯羧酸酯(大赛璐化学工业公司制造，Celloxide 2021P )(成分B )、 25重量份的具有环氧环己烷骨架的脂环式环氧树脂(大赛璐化学工业公司制造，Celloxide 2081 )(成分C)、 2重量份的4， 4，-双〔二 ((3羟基乙氧基)苯基亚硫酸基〕苯基石危酸-双-六氟锑酸盐的50%石友酸丙二酯溶液(成分D),由此调制成下敷层及上敷层的形成材料。<formula>formula see original document page 16</formula>
(式中，R1 R6均为氢原子，n=l)芯的形成材料
将70重量份的上述成分A、 30重量份的1， 3, 3-三{4-〔2-(3-氧杂环丁烷)〕丁氧基苯基} 丁烷、1重量份的上述成分D溶解于乳酸乙烷中，由此调制成芯的形成材料。光波导路组件的光波导路的制作
利用敷贴器(applicator)在不锈钢制基板(厚度50^m)的表面上涂布上述下敷层的形成材料之后，对整个面进行2000mJ/ cn^的紫外线照射的曝光。接着，通过进行100。C xl5分钟的加热处理，形成了下敷层。用接触式膜厚计测定该下敷层的厚度时为10nm。
然后，在上述下敷层的表面，利用敷贴器涂布芯的形成材料之后，进行了 100。Cx5分钟的干燥处理。接着，在其上方，配置形成有与芯的图案形状相同的开口图案的合成石英系的铬掩模(曝光掩模)。而且，从其上方，通过接近式曝光法进行了4000mJ/ cm2的紫外线照射的曝光。还进行了 80°C x 15分钟的加热处理。接着，使用Y-丁内酯水溶液进行显影，由此溶解除去未曝光部分之后，进行12(TCxl5分钟的加热处理，形成了芯。芯的截面尺寸用SEM (扫描型电子显微镜)测定为宽度50jimx高度50jim。
接着，以覆盖上述芯的方式利用敷贴器涂布上述上敷层的形成材料之后，使用石英制的成形模具进行冲压，透过上述成形模具，进行2000mJ/cm"的紫外线照射的曝光。接着，进行120。Cxl5分钟的加热处理之后进行脱;f莫，由此形成了两端部形成为大约1/4球面并将大约1/4球面作为反射部的上敷层。 一端部(发光元件侧)的上述大约l/4球面的曲率半径为540nm,另一端部(受光元件侧)的上述大约l/4^求面的曲率半径为320^im。用接触式膜厚计测定上述上敷层的厚度为100pm。这样制作了光波导路组件。
比较例
与上述实施方式相同，在不锈钢制基板的表面上形成了下敷层和芯。然后，以覆盖上述芯的方式利用敷贴器涂布上述上敷层的形成材料之后，进行100。Cxi5分钟的干燥处理，形成了感光性树脂层。接着，将形成了与上敷层的图案相同形状的开口图案的合成石英系的曝光掩模定位在该感光性树脂层的上
方。然后，从其上方以接触式曝光法进行2000mJ/cn^的紫外线照射的曝光之后，进行了 150。Cx60分钟的加热处理。接着，使用Y -丁内酯水溶液进行显影，由此溶解除去未曝光部分之后，进行100。Cxl5分钟的加热处理，由此形成了上敷层(厚度lOO(im)。之后，从上敷层的正上方使刀尖角度为90。的旋转刀具下降，将由上述下敷层、芯、上敷层构成的光波导路的两端部切削成45。的倾斜面，将该倾斜面形成为反射部。这样，制作了光波导路组件的光波导路。
在上述实施方式中，利用模具成形法形成具有反射部的上敷层，因此能以稳定的精度形成反射部，且光波导路的生产效率高。相对于此，在上述比较例中，形成上敷层之后，使用旋转刀具进行切削来形成反射部，因此反射部的精度易于产生偏差，光波导路的生产效率差。
18
权利要求
1.一种光波导路组件的制造方法，其用于制造光波导路组件，该光波导路组件包括在表面侧具有芯和覆盖该芯的上敷层的光波导路；在该光波导路的背面侧与上述光波导路的端部相关联地安装的光学元件；能将光反射而在上述芯和上述光学元件之间进行光传播的反射部，其特征在于，该光波导路组件的制造方法包括如下工序利用模具成形法形成上述上敷层的同时，将与上述光波导路的端部相对应的上敷层的端部形成为反射部。
2 光反射而在上述芯和上述光 学元件之间进行光传播的反射部，其特征在于，该光波导路组件的制造方法包括如下工序利用模具成形 法形成上述上敷层的同时，将与上述光波导路的端部相对应的 上敷层的端部形成为反射部。征在于，将上述上敷层的端部形成为反射部的工序是将上敷层本身 的端部形成为截面呈弧状的曲面的工序。
3. 根据权利要求2所述的光波导路组件的制造方法，其特 征在于，上述截面呈弧状的曲面是截面为大约l/4圆面的曲面。
4. 根据权利要求2所述的光波导路组件的制造方法，其特 征在于，将上述上敷层的端部形成为反射部的工序包括将上敷层 本身的端部形成为截面呈弧状的曲面的工序；还在所形成的曲 面上形成金属膜的工序。
5. 根据权利要求l ~ 4中任一项所述的光波导路组件的制 造方法，其特征在于，上述光学元件的安装直接在光波导路的端部的背面侧进行。
6. 根据权利要求l ~ 4中任一项所述的光波导路组件的制 造方法，其特征在于，上述光学元件的安装是隔着具有光通过用的通孔的基板在光波导路的端部的背面侧进行的。
7.根据权利要求l ~ 4中任一项所述的光波导路组件的制 造方法，其特征在于，
8.根据权利要求l ~ 4中任一项所述的光波导路组件的制 造方法，其特征在于，上述光学元件是接受来自上述芯的光的受光元件，上述反 射部对来自上述芯的光进行反射。
全文摘要
本发明提供一种光波导路组件的制造方法，能以稳定的精度形成光的反射部，其生产效率高。在光学元件被安装在光波导路的端部的背面侧的光波导路组件的制造方法中，上述光波导路的制作使用了成形模具(10)的模具成形法，以覆盖了芯(5)的状态将上敷层(6)形成在表面侧的同时，将与光波导路的端部相对应的上敷层(6)的端部形成为反射部(6a)。
文档编号G02B6/13GK101561532SQ200910135509
公开日2009年10月21日 申请日期2009年4月17日 优先权日2008年4月17日
发明者清水裕介 申请人:日东电工株式会社