专利名称：具有传感器的掩膜版盒的制作方法
技术领域：
本发明涉及用以存放半导体元件或掩膜版的容器，特别是关于一种掩膜版盒，通过配置在掩膜版盒中的感测装置(特别是一种压力传感器)来判断掩膜版盒是否被稳定地固定。
背景技术：
近代半导体科技发展迅速，其中光刻技术(Optical Lithography)扮演重要的角色，只要是关于图形(pattern)定义，皆需依赖光刻技术。光刻技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的掩膜版。利用曝光原理，则光源通过掩膜版投影至硅片(silicon wafer)可曝光显示特定图案。产业界的趋势是朝向生产较小的芯片以及/或于较大的晶圆上生产具较高逻辑密度以符合线宽越来越小的芯片。显然地，掩膜版表面能被图样化的精密程度以及这图样能够准确地复制于晶圆表面上的程度，此二者影响着半导体最终产品的质量。图样能被复制于晶圆上的分辨率(resolution)取决于用来投影于涂有光阻剂的晶圆表面上的紫外光波长。现时的光刻器具利用波长为193纳米(nm)的深紫外光(de印ultraviolet light ； DUV)，其允许具IOOnm等级的最小特征尺寸。目前已发展的器材利用157nm的远紫外光 (extreme ultraviolet light ;EUV)，使得特征尺寸的分辨率小于70nm。因此避免掩膜版表面受到污染物的污染是很重要的，该污染物能够造成表面的伤害或者使得在过程中投影到光刻胶的图样失真(distort)，因此导致不良质量的最终产品。 传统的掩膜版表面具有一层薄、光学透明的薄膜，并依附支撑于一框架，并附着于掩膜版上。其目的在于密封外来污染物以及减少可能由迁移至图案样版的污染物所引起的印痕缺陷。然而，极远紫外光利用来自图样化表面的反射，与深紫外光光刻利用传输的掩膜版特性相反。目前，传统技术尚无法提供远紫外光穿透的薄膜材料。因此，使用于远紫外光光刻中的反射式掩膜版较传统光刻中使用的掩膜版容易受到更大程度的污染与伤害。这情形对于预定用于远紫外光光刻，用以接收、储存、运输及装运晶圆的任何容器，增加了功能上强化的要求。因此，为了减少在储存、制造、运输期间所产生的污染，在现有技术已发展的隔绝技术，是以一内部容器来承载掩膜版，并再以一外部容器将内部容器固定于其中的掩膜版盒，请参考图6。如图6所示，通过一内部容器的下盖c与内部容器之上盖d将掩膜版e盖合并固定于其中，之后再以一外部容器的下盖a与外部容器之上盖b将内部容器盖合并固定于其中。在远紫外光的曝光工艺中，需于曝光设备中将内部容器自外部容器取出，之后再将掩膜版自内部容器取出以进行曝光。因此，在进行曝光工艺期间，内部容器与外部容器是需要被分离或是盖合的；然而，在此曝光工艺期间，操作人员却无法得知非透明的外部容器中是否有内部容器存在，或者是否有无确实已将内部容器盖紧，在此不确定的情况下，很容易导致内部容器脱落或遗失，使得掩膜版损害而造成成本损失。有鉴于此，本发明提供一种具有可以感测外部容器与内部容器间的压力的掩膜版盒。
发明内容
依据上述的说明，本发明的一主要目的是提供一种于外部容器与内部容器间配置压力传感器的掩膜版盒，利用设置于外部容器至内部容器之间的压力传感器来感测，经由与压力传感器电性连接的灯号来判读外部容器是否已固定内部容器。本发明的另一主要目的，是提供一种于外部容器与内部容器间配置压力传感器的掩膜版盒，利用设置于外部容器至内部容器之间的压力传感器，将内部容器稳固于外部容器中，以避免摇晃及碰撞对掩膜版所产生的损坏。发明的再另一主要目的，是提供一种于外部容器与内部容器间配置温湿度传感器的掩膜版盒，利用设置于外部容器至内部容器之间的温湿度测量装置来测量掩膜版盒内部的环境状况，避免过高或过低的温湿度污染内部的掩膜版。基于上述的目的，本发明首先提供一种配置于掩膜版盒内的压力传感器及温湿度测量装置，掩膜版盒由具有一第一内表面的下盖板与一具有第二内表面之上盖板所组成， 该下盖板与该上盖板盖合时，第一内表面与第二内表面形成一第一容置空间；位于第一容置空间中配置一具有一子第一内表面的子下盖板与一具有一子第二内表面的子上盖板，该子第一内表面与该子第二内表面形成一第二容置空间；多个压力传感器贯穿于上盖板的外表面至第二内表面的多个贯穿孔，且其感应端位于第二内表面至子上盖板的子外表面之间。本发明接着提供一种配置于掩膜版盒内的压力传感器及温湿度测量装置，该掩膜版盒由具有一第一内表面的下盖板与一具有第二内表面之上盖板所组成，下盖板与该上盖板盖合时，第一内表面与第二内表面形成一第一容置空间；位于第一容置空间中配置一具有一子第一内表面的子下盖板与一具有一子第二内表面的子上盖板，该子第一内表面与该子第二内表面形成一第二容置空间；一凹槽部，形成于上盖板的外表面上；多个压力传感器贯穿于上盖板的外表面的凹槽部至相对于另一侧的第二内表面的多个贯穿孔，且其感应端位于第二内表面至子上盖板的子外表面之间。本发明接着再提供一种配置于掩膜版盒内的压力传感器及温湿度测量装置，该掩膜版盒由具有一第一内表面的下盖板与一具有第二内表面之上盖板所组成，下盖板与该上盖板盖合时，第一内表面与第二内表面形成一第一容置空间；位于第一容置空间中配置一具有一子第一内表面的子下盖板与一具有一子第二内表面的子上盖板，该子第一内表面与该子第二内表面形成一第二容置空间；多个压力传感器贯穿于上盖板的外表面至第二内表面的多个贯穿孔，且其感应端位于第二内表面至子上盖板的子外表面之间；一温湿度测量装置，设置于上盖板的第二内表面上；一接收器，设置于该外表面上，并电性连接该压力传感器及该温湿度测量装置。经由本发明所提供的设计，可经由对感测压力的判读来判断其外部容器之上下盖板是否有确实固定，以避免搬运或储存其间所造成不必要的损坏。
图1是本发明的爆炸示意图；图2是本发明之上盖板示意5图3是本发明装载掩膜版的剖视示意图； 图4是本发明另一实施例的压力传感器配置示意5是本发明另一实施例的压力传感器配置示意6是现有掩膜版存放盒示意图。主要元件符号说明
10下盖板
101第一内表面
103气阀
11上盖板
111第二内表面
113外表面
115凹槽部
117贯穿孔
13把手
15突缘
17第一容置空间
20子下盖板 201子第一内表面 203支撑件
21子上盖板 211子第二内表面 213子外表面
23第二容置空间
30压力传感器 301感应端 303调整端
31温湿度测量装置 33发讯器
35数据显示器
351显示灯
40固定件
50掩膜版
a外部容器的下盖
b外部容器之上盖
c内部容器的下盖
d内部容器之上盖
e掩膜版
具体实施方式
由于本发明揭露一种于外部容器与内部容器间配置传感器的掩膜版盒，特别是配置一种压力传感器的掩膜版盒；其中所利用到的一些关于掩膜版、掩膜版盒，掩膜版盒中的支撑件或是传感器，利用现有技术来达成，故在下述说明中，并不作完整描述。此外，于下述内文中的图式，亦并未依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本发明特征有关的示意图。首先，请参阅图1，为本发明的掩膜版盒爆炸示意图。如图1所示，掩膜版盒由一下盖板10与一上盖板11所形成，其中，下盖板10包括一第一内表面101，至少多个固定件 40形成于第一内表面101上，而在一较佳实施例中，在第一内表面101上有三个凸起的固定件40 ；上盖板11包括一第二内表面111及相对于第二内表面另一侧的一外表面113，而当下盖板10与上盖板11盖合时，下盖板10的第一内表面101与上盖板11的第二内表面 111之间形成一个第一容置空间17，故可以形成一外部容器；一子下盖板20，具有一子第一内表面201，至少多个凸起的支撑件203形成于第一子内表面201上的四个角落；一子上盖板21，具有一子第二内表面211及相对于第二内表面另一侧的一子外表面213，子下盖板20 与子上盖板21皆设置于第一容置空间17内，且当子下盖板20与子上盖板21盖合时，子下盖板20的子第一内表面201与子上盖板21的子第二内表面211之间形成一个第二容置空间23，故可以形成一内部容器；一凹槽部(RECESS) 115系形成于上盖板11的外表面113上； 一把手13设置于上盖板11的外表面113上且横跨于凹槽部115上，使得把手13与凹槽部 115之间保持一距离，其中此一距离可方便搬运时，搬运者能将手伸入手把13的伸展空间； 一对突缘15，设置在上盖板11的外表面113上，此突缘15为方便机器手臂或人力抓取掩膜版盒的装置，本发明并不限制其形状，而在一较佳实施例中该突缘15的形状为左右对称的直角折板体，以利机器的抓取。另外，在下盖板10内配置至少一气阀103，此气阀103为一柱状体，从下盖板10的底部贯穿至相对于底部的第一内表面101，且柱状气阀103向上延伸至子下盖板20并贯穿于子下盖板20至子第一内表面201。气阀103主要是将惰性气体充入第二容置空间23中以清洁及保护内部容器内的掩膜版50。本发明的最佳实施例为配置两个气阀103于下盖板10内，其中一气阀103为充气阀，一气阀103为出气阀，且气阀103配置于下盖板10的位置与充气、出气的机台(未显示于图中)位置相同，但本发明并不限定气阀103个数、位于下盖板10的位置或限定气阀103为充气或出气的功能。接着，请参阅图2，为本发明之上盖板的示意图。如图2所示，在上盖板11的外表面113之上的凹槽部115周围配置有多个贯穿孔117 ；在各个贯穿孔117内各设置一压力传感器30，此压力传感器30为一种可上下调动的装置，例如使用具有旋转功能的锁固装置，可由螺旋转动作为上下调动的锁固装置等。在此要强调，在本发明中，并不局限将贯穿孔117配置在凹槽部115周围，贯穿孔117亦可配置在凹槽部115上，对此，本发明并不加以限制。此外，多个压力传感器30则电性连接至上配置于盖板11的外表面113的数据显示器35上，用以显示压力传感器30所读出的压力值，同时，数据显示器35上亦进一步配置至少一个显示灯351，用以依据压力传感器30所读出的压力值显示不同颜色的灯号。接着，请参阅图3，为本发明的掩膜版盒中装载掩膜版的剖视示意图。如图3所示， 一掩膜版50放置并固定在子下盖板20的子第一内表面201与子上盖板21的子第二内表面211所形成的第二容置空间23中，其中子下盖板20的子第一内表面201的四个角落附近配置有多个凸起的支撑件203，使得掩膜版50被限制在多个凸起的支撑件203中；而下盖板10的第一内表面101上有配置多个固定件40，当上盖板11与下盖板10盖合时，会形成一第一容置空间17，而盖合成一体后的子下盖板20与子上盖板21会放置并固定于第一容置空间17中；此时，下盖板10的第一内表面101上的固定件40会支撑着子下盖板20。 再者，多个压力传感器30，设置于经由相应的贯穿孔117中，每一压力传感器30的一调整端303设置于上盖板11的外表面113之上，而每一压力传感器30的感应端301设置于上盖板11的第二内表面111之上，并使其感应端301位于第二内表面111与子外表面213之间，并且可以先通过压力传感器30的调整端303将感应端301调整至接触于到子上盖板 21的子外表面213上，使得压力传感器配置于掩膜版盒的外部容器与内部容器间。很明显地，当多个压力传感器30在下盖板10与上盖板11盖合后，由于经过调整后的感应端301 调至即会压抵并接触于子上盖板21的子外表面213上，再通过与下盖板10的第一内表面 101上的固定件40的支撑，使得子下盖板20被固定住，因此，压力传感器30的感应端301 会压在子上盖板21的子外表面213上，并保持一固定压力，并通过数据显示器35显示固定压力压力读值，故可以依据此数据显示器35所显示压力读值来判断上盖板11与下盖板10 盖合后，是否已将子上盖板21与子下盖板20准确地固定于其中；如果是当压力读值到达所设定的压力值时，则数据显示器35上的显示灯351会显示一灯号，例如显示绿色灯号。此时，即表示掩膜版盒可以进行传递；当此掩膜版盒需要由机械手臂进行传递时，即可通过掩膜版盒上盖板11上的突缘15来进行传递；当此掩膜版盒需要由操作人员进行传递时，操作人员即可通过掩膜版盒上盖板11上的把手13来进行传递，由于掩膜版盒把手13的下方形成一凹槽部115，因此便于操作人员的手伸入凹槽部115，以握紧把手13。更由于子上盖板 21与子下盖板20准确地被固定于第一容置空间17中，因此可以确保掩膜版盒在传递或搬运的过程中，位于子上盖板21与子下盖板20所形成的第二容置空间23中的掩膜版50可以被安全地传递。又例如如果是当多个压力传感器30的压力读值有任何一个并未到达所设定的压力值时，则数据显示器35上的显示灯351会显示另一灯号，例如显示红色灯号； 此时，即表示上盖板11未确实与下盖板10盖合，使得多个压力传感器30彼此之间所感测的压力值不同。又再例如当子上盖板21与子下盖板20已由上盖板11与下盖板10中取出后，此时，在上盖板11与下盖板10盖合后，由于上盖板11与下盖板10所形成的第一容置空间17中无子上盖板21与子下盖板20，因此，压力传感器30的感应端301会压不到子上盖板21的子外表面213上，故压力传感器30无任何压力读值出现，此时，数据显示器35 上的显示灯351显示一灯号，例如显示黄色灯号。此时，即表示上盖板11与下盖板10中无掩膜版。经由上述，当本发明中的掩膜版盒的上盖板11与下盖板10盖合后，使用者也可以很容易地依据数据显示器35上所显示的灯号来判断出上盖板11与下盖板10的第一容置空间17是否有掩膜版存在，以及容纳掩膜版的子上盖板21与子下盖板20是否已被稳固地被固定于第一容置空间17中。接着，本发明还可以进一步在上盖板11的第二内表面111上配置一温湿度测量装置31，此温湿度测量装置31主要为测量第一容置空间17内的温湿度，并经由电性连接至外表面113的数据显示器35上，由数据显示器35所显示的温湿度来判断第一容置空间17 内是否有温湿度的变化。此外，在本发明的实施例中，压力传感器30与温湿度测量装置31可以进一步具备无线传输的功能。压力传感器30与温湿度测量装置31电性连接于发讯器 33，并将压力传感器30与温湿度测量装置31所测量到的压力数据及温度数据无线传送至主控端(未显示)，以方便监控；由于此无线传输的功能与现有技术相同，故不再予赘述。在此要强调，本实施例配置的压力传感器30并不局限于只配置压力传感器30，亦可配置其它类型的传感器。在一较佳实施例中，可配置一物体传感器(未显示于图中)，先测量内部容器是否在外部容器中，再将信息传送至其它压力传感器30，通知其测量感压内部容器的压力，确认内部容器是否有放正。因此，本发明对于传感器的类型及数量，或者各传感器讯号传送的方式，并不加以限制。接着，请参阅图4，为本发明的压力传感器另一实施例的配置示意图。图4与图3 的差异在于，图4是将上盖板11上的多个贯穿孔117设置于上盖板11的外表面113的凹槽部115中，且多个压力传感器30配置于多个贯穿孔117内，每一压力传感器30的一调整端303设置于上盖板11的位于凹槽部115的外表面113上，而每一压力传感器30的感应端301设置于上盖板11的位于凹槽部115的第二内表面111上，并使其感应端301位于凹槽部115的第二内表面111与子外表面213之间，并且可以先通过压力传感器30的调整端 303将感应端301调整至接触于到子上盖板21的子外表面213上，使得压力传感器配置于掩膜版盒的外部容器与内部容器间；当在上盖板11与下盖板10盖合时，压力传感器30会与下盖板10的第一内表面101上的固定件40固定住内部容器(即子上盖板21的子外表面21 ，且在固定状态的压力传感器30会保持一固定压力并输出一个压力值。很明显地， 本实施例相对于图3的实施例而言，两者间的差异在于本实施例将多个压力传感器30配置于凹槽部115中，故本实施例的掩膜版盒的功能与图3的实施例相同，故不再重复赘述。接着，请再参阅图5，是本发明的压力传感器再一实施例的配置示意图。多个压力传感器30直接配置于上盖板11的位于凹槽部115的第二内表面111上，并使其感应端301 位于第二内表面111与子上盖板21的外表面213间；在本实施例中，压力传感器30为一固定不可调动的状态，因此，压力传感器的长度大小，即为外部容器盖合时，上盖板11的第二内表面111与子上盖板21的子外表面213的间距。而其感应端301会接触于到子上盖板 21的子外表面213上，并在上盖板11与下盖板10盖合时，压力传感器30会与下盖板10的第一内表面101上的固定件40固定住内部容器，且在固定状态的压力传感器30会保持一固定压力并输出一个压力值。很明显地，本实施例相对于图3的实施例而言，两者间的差异在于本实施例将多个压力传感器30配置于凹槽部115中，故本实施例的掩膜版盒的功能与图3的实施例相同，故不再重复赘述。虽然本发明以前述的较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何熟习相像技艺者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的专利保护范围须视本说明书所附的申请专利范围所界定者为准。
权利要求
1.一种具有传感器的掩膜版盒，其特征在于包括一下盖板，具有一第一内表面，且该第一内表面上形成有多个固定件； 一上盖板，具有一第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一外表面，且配置至少一贯穿该外表面及该第二内表面的贯穿孔，且于该下盖板与该上盖板盖合时，该第一内表面与该第二内表面形成一第一容置空间；一子下盖板，位于该第一容置空间内并与该多个固定件接触，且该子下盖板具有一子第一内表面；一子上盖板，位于该第一容置空间内，其具有一子第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一子外表面，且于该子下盖板与该子上盖板盖合时，该子第一内表面与该子第二内表面形成一第二容置空间；以及至少一传感器，配置于该贯穿孔内，每一该传感器具有一感测端，且该感测端位于该上盖板的第二内表面上。
2.一种具有传感器的掩膜版盒，其特征在于包括一下盖板，具有一第一内表面，且该第一内表面上形成有多个固定件； 一上盖板，具有一第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一外表面，且该上盖板的外表面向该下盖板的第一内表面方向形成一凹槽部，且配置至少一贯穿该外表面及该第二内表面的贯穿孔于该凹槽部上，且于该下盖板与该上盖板盖合时，该第一内表面与该第二内表面形成一第一容置空间；一子下盖板，位于该第一容置空间内并与该多个第一固定件接触，且该子下盖板具有一子第一内表面；一子上盖板，位于该第一容置空间内，其具有一子第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一子外表面，且于该子下盖板与该子上盖板盖合时，该子第一内表面与该子第二内表面形成一第二容置空间；以及至少一传感器，配置于该上盖板的该凹槽部的该贯穿孔内，每一该传感器具有一感测端，且该感测端位于该上盖板的第二内表面上。
3.一种具有传感器的掩膜版盒，其特征在于包括一下盖板，具有一第一内表面，且该第一内表面上形成有多个固定件； 一上盖板，具有一第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一外表面，且该上盖板的外表面向该下盖板的第一内表面方向形成一凹槽部，且于该下盖板与该上盖板盖合时， 该第一内表面与该第二内表面形成一第一容置空间；一子下盖板，位于该第一容置空间内并与该多个第一固定件接触，且该子下盖板具有一子第一内表面；一子上盖板，位于该第一容置空间内，其具有一子第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一子外表面，且于该子下盖板与该子上盖板盖合时，该子第一内表面与该子第二内表面形成一第二容置空间；以及至少一传感器，配置于该上盖板的该凹槽部的第二内表面上。
4.如权利要求1、2或3所述的掩膜版盒，其特征在于，该传感器为一种压力传感器。
5.如权利要求1、2或3所述的掩膜版盒，其特征在于，进一步配置一温湿度测量装置， 并设置于该第一容置空间内。
6.如权利要求4所述的掩膜版盒，其特征在于，进一步配置一数据显示器，且电性连接于该压力传感器。
7.如权利要求5所述的掩膜版盒，其特征在于，进一步配置一数据显示器，且电性连接于该温湿度测量装置。
8.如权利要求1或2所述的掩膜版盒，其特征在于，该传感器进一步具有调整端。
9.如权利要求1所述的掩膜版盒，其特征在于，进一步配置一凹槽部于该上盖板上。
10.如权利要求1所述的掩膜版盒，其特征在于，进一步配置至少一把手位于该上盖板之上。
11.如权利要求2或3所述的掩膜版盒，其特征在于，进一步配置至少一把手位于该上盖板之上且该把手横跨于该凹槽部上。
12.如权利要求1、2或3所述的掩膜版盒，其特征在于，进一步配置一对突缘位于该上盖板的该外表面上。
13.如权利要求1、2或3所述的掩膜版盒，其特征在于，进一步配置一发讯器，且电性连接于该传感器，其中该发讯器具有无线传输的装置。
14.如权利要求1、2或3所述的掩膜版盒，其特征在于，进一步配置至少一气阀于该下盖板，该气阀为一柱状体，从该下盖板的底部贯穿至相对于该底部的该第一内表面，且该气阀向上延伸至该子下盖板并贯穿于该子下盖板至该子第一内表面。
全文摘要
本发明公开了一种于外部容器与内部容器间配置压力传感器的掩膜版盒，是利用设置于外部容器内侧的压力传感器来感测外部容器与内部容器间的压力，经由对感测压力的判读来判断其内部容器是否被外部容器紧实地固定。
文档编号G03F1/00GK102376606SQ20101025099
公开日2012年3月14日 申请日期2010年8月9日 优先权日2010年8月9日
发明者古震维, 吕绍玮, 林志铭 申请人:家登精密工业股份有限公司