光敏树脂组合物的制作方法
【专利摘要】光敏树脂组合物包含：丙烯酸共聚物，其含有包括选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐的至少一种的第一单体，以及包括烯烃类不饱和化合物的第二单体的聚合反应产物；光敏组分，其包含选自由化学式1至化学式4表示的化合物中的至少一种1,2-二叠氮醌-5-磺酸酯化合物；偶联剂；和溶剂，其中如通过高效液相色谱法所测定，光敏组分中不对称化合物的总量大于或等于45面积百分比：其中R1是羟基或甲基，并且NQD是1,2-二叠氮醌-5-磺酰基。
【专利说明】光敏树脂组合物
【技术领域】
[0001]本申请涉及光敏树脂组合物和使用该组合物形成图案的方法。
【背景技术】
[0002]通常，目前广泛使用的平板显示器包括各种类型，例如，液晶显示器(“LCD”)和有机发光二极管(“0LED”)显示器。
[0003]在形成平板显示器的工艺中，光刻胶材料可用于通过光处理将膜图案化。同样，光刻胶材料可通过曝光和显影在膜中直接形成。
[0004]绝缘层、柱状间隔物、外涂层以及滤色层也可通过使用光刻胶材料形成。分辨率、粘附性和残留率可根据用于形成光刻胶材料的光敏树脂组合物的组分而受到影响。
【发明内容】
[0005]本公开提供了具有优异的灵敏度、透光率和耐化学性的光敏树脂组合物。
[0006]同样，本公开提供了在高温高湿环境中具有优异的粘附性和加工余量的改进的图案形成方法，而在形成显示装置的有机层时没有红色缺陷。
[0007]光敏树脂组合物的示例性实施方式包含:丙烯酸共聚物，其含有包括选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐的至少一种的第一单体以及包括烯烃类不饱和化合物的第二单体的聚合反应产物；光敏组分，其包含选自由化学式I至化学式4表示的化合物中的至少一种1，2-二叠氮醌-5-磺酸酯化合物；偶联剂；和溶剂，其中如通过高效液相色谱法所测定，所述光敏组分中不对称化合物的总量大于或等于45面积百分比。
[0008]
【权利要求】
1.一种光敏树脂组合物，包含: 丙烯酸共聚物，包含以下单体的聚合反应产物: 第一单体，包括选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐的至少一种，和 第二单体，包括烯烃类不饱和化合物； 光敏组分，包含选自由化学式I至化学式4表示的化合物中的至少一种1,2-二叠氮醌-5-磺酸酯化合物:
2.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中 所述光敏组分进一步包含选自由化学式5至化学式7表示的化合物中的至少一种化合物:
3.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中 所述偶联剂包括硅烷偶联剂。
4.根据权利要求3所述的光敏树脂组合物，其中: 各自基于100重量份的所述丙烯酸共聚物，所述光敏组分以5重量份至50重量份的量存在，并且所述硅烷偶联剂以0.1重量份至30重量份的量存在。
5.根据权利要求1或4所述的光敏树脂组合物，其中，各自基于100重量份的所述第一单体和所述第二单体，所述丙烯酸共聚物是以下单体的聚合反应产物: 5重量份至40重量份的所述第一单体，和 60重量份至95重量份的所述第二单体。
6.根据权利要求1或5所述的光敏树脂组合物，其中 所述溶剂包含具有110°C至150°C的沸点和0.3至1.0的相对于乙酸正丁酯的蒸发速度的第一溶剂。
7.根据权利要求1或6所述的光敏树脂组合物，其中 基于所述溶剂的总重量，所述第一溶剂以超过50重量百分比的量存在。
8.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中 所述不饱和羧酸和所述不饱和羧酸酐包括选自丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸和它们的酸酐中的至少一种。
9.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中所述烯烃类不饱和化合物包括选自以下的至少一种:甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸异丙酯、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸2-甲基环己酯、丙烯酸二环戊烯酯、丙烯酸二环戊酯、甲基丙烯酸二环戊烯酯、甲基丙烯酸二环戊酯、丙烯酸1-金刚烷酯、甲基丙烯酸1-金刚烷酯、甲基丙烯酸二环戊基氧基乙酯、甲基丙烯酸异冰片酯、丙烯酸环己酯、丙烯酸2-甲基环己酯、丙烯酸二环戊基氧基乙酯、丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸2-羟基乙酯、苯乙烯、邻甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、对甲氧基苯乙烯、1，3- 丁二烯、异戊二烯、2，3- 二甲基-1，3- 丁二烯、丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、α -乙基丙烯酸缩水甘油酯、α -正丙基丙烯酸缩水甘油酯、α -正丁基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸-β -甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-β -甲基缩水甘油酯、丙烯酸-β -乙基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-β -乙基缩水甘油酯、丙烯酸_3，4-环氧丁基酯、甲基丙烯酸-3，4-环氧丁基酯、丙烯酸_6，7-环氧庚基酯、甲基丙烯酸_6，7-环氧庚基酯、α-乙基丙烯酸_6，7-环氧庚基酯、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、对乙烯基苄基缩水甘油醚和甲基丙烯酸-3，4-环氧环己酯。
10.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中 所述丙烯酸共聚物具 有3000道尔顿至30，000道尔顿的聚苯乙烯换算重均分子量。
【文档编号】G03F7/004GK103995436SQ201410053044
【公开日】2014年8月20日 申请日期:2014年2月17日 优先权日:2013年2月15日
【发明者】周振豪, 沈承辅, 金俊基, 郑壤镐, 孔香植, 金炳郁, 金珍善, 吕泰勋, 尹赫敏, 李相勋 申请人:三星显示有限公司, 株式会社 东进世美肯