多层介质膜反射窄带分离滤光片组合器件的制作方法
【专利摘要】一种多层介质膜反射窄带分离滤光片组合器件，特点在于其构成是沿光路入射方向依次包括第一平面反射镜、第一反射截止滤光片、第二反射截止滤光片和第二平面反射镜，所述的第一平面反射镜与入射光束成45°角，所述的第一反射截止滤光片与所述的第一平面反射镜相向且平行放置，所述的第二反射截止滤光片与所述的第一反射截止滤光片相向且成90°角放置，所述的第二平面反射镜与所述的第二反射截止滤光片相向且成45°角放置，所述的短波通反射截止滤光片或长波通反射截止滤光片由多层介质膜反射截止滤光片构成。本发明的角谱选择性达到了亚毫弧度。
【专利说明】多层介质膜反射窄带分离滤光片组合器件
【技术领域】
[0001] 本发明设计滤光片组合器件，特别是一种多层介质膜反射窄带分离滤光片组合器 件。
【背景技术】
[0002] 激光具有单色性好、相干性好、方向性好、亮度高的特点，这使其成为了自然科学 中的一颗璀璨明珠。高功率激光在光谱技术及光学测量中得到了广泛应用，已成为医疗卫 生研究与临床诊断的重要手段；在军事科技、工业生产及日常生活等领域更有着重大的应 用潜力。激光装置的发展离不开光学器件，近半个世纪以来，电子、通讯技术的发展要求器 件的尺寸越来越小，因此薄膜材料的研究成为非常重要的课题。
[0003] 在高功率系统中，多层介质膜反射窄带分离滤光片作为重要的光学元器件之一， 其性能对整个高功率激光系统有着至关重要的影响，它应具有优良的光谱性能和高的激光 损伤阈值（LIDT)，这对提高激光系统的输出功率非常有利。多层介质膜窄带滤光片的基本 结构为高、低折射率膜层相间，每层的光学厚度都是四分之一参考波长的整数倍。薄膜截止 滤光片在倾斜入射时不可避免地会产生s和p二个偏振分量的分离，由于这一特性可以对 其偏振态作选择，在空间滤波器的光路中插入两块相同的多层介质膜长波通或短波通截止 滤光片就可以起到角度选择的作用。据我们所知，迄今为止还没有人针对空间滤波器的光 路设计两块相同的多层介质膜截止滤光片来达到角谱选择的特性。
【发明内容】
[0004] 本发明的目的是提出通一种多层介质膜反射窄带分离滤光片组合器件，该滤光片 组合器件截止滤光片在光波倾斜入射时s和p两种偏振态光波偏振分离，由于这一特性可 以对其偏振态作任意选择，并且实现了长波通或短波通两种截止滤光片的组合设计。
[0005] 本发明的技术解决方案如下：
[0006] -种多层介质膜反射窄带分离滤光片组合器件，特点在于其构成是沿光路入射方 向依次包括第一平面反射镜、第一反射截止滤光片、第二反射截止滤光片和第二平面反射 镜，所述的第一平面反射镜与入射光束成45°角，所述的第一反射截止滤光片与所述的第 一平面反射镜相向且平行放置，所述的第二反射截止滤光片与所述的第一反射截止滤光 片相向且成90°角放置，所述的第二平面反射镜与所述的第二反射截止滤光片相向且成 45°角放置，所述的第一反射截止滤光片和第二反射截止滤光片是膜系相同的短波通反射 截止滤光片或长波通反射截止滤光片。
[0007] 所述的第一反射截止滤光片和第二反射截止滤光片是在玻璃基底上由高折射率 膜层和低折射率膜层交替制备而成的，所述的高折射率层的材料为A1203、Nb205、HfO2、Ta2O5 或TiO2，所述的低折射率层的材料为Si02。
[0008] 本发明的技术效果：
[0009] 本发明多层介质膜反射截止滤光片在倾斜入射时不可避免地会产生s偏振分量 和P偏振分量的分离，由于这一特性可以对其偏振态作选择，在空间滤波器的光路中插入 两块相同的多层介质膜反射截止滤光片就可以起到角度选择的特性。
【专利附图】
【附图说明】
[0010] 图1为本发明多层介质膜反射截止滤光片组合器件实施例1的示意图。
[0011] 图2为实施例1多层介质膜反射窄带分离滤光片组合器件的光谱图。
[0012] 图3为实施例1多层介质膜反射窄带分离滤光片组合器件的角谱图。
[0013] 图4为实施例3多层介质膜反射窄带分离滤光片组合器件的光谱图。
[0014] 图5为实施例3多层介质膜反射窄带分离滤光片组合器件的角谱图。
[0015] 图中：
[0016] 1-小于Θ的光波2-等于Θ的光波3-大于Θ的光波4-平面反射镜5-反射 截止滤光片6-反射截止滤光片7-平面反射镜
【具体实施方式】
[0017] 下面结合中心波长为l〇64nm的多层介质膜反射窄带分离滤光片组合器件的具体 实例来说明本发明。但不应以此限制本发明的保护范围。
[0018] 下列表1、表2、表3、表4和表5共列出了本发明多层介质膜反射窄带分离滤光片 组合器件20个实施例的参数。
[0019] 表1多层介质膜反射窄带分离滤光片组合器件实施例1-4的组成
【权利要求】
1. 一种多层介质膜反射窄带分离滤光片组合器件，特征在于其构成是沿光路入射方向 依次包括第一平面反射镜（4)、第一反射截止滤光片（5)、第二反射截止滤光片（6)和第二 平面反射镜（7)，所述的第一平面反射镜（4)与入射光束成45°角，所述的第一反射截止滤 光片（5)与所述的第一平面反射镜（4)相向且平行放置，所述的第二反射截止滤光片（6) 与所述的第一反射截止滤光片（5)相向且成90°角放置，所述的第二平面反射镜（7)与所 述的第二反射截止滤光片（6)相向且成45°角放置，所述的第一反射截止滤光片（5)和第 二反射截止滤光片（6)是膜系相同的短波通反射截止滤光片或长波通反射截止滤光片。
2. 根据权利要求1所述的多层介质膜反射窄带分离滤光片组合器件，其特征在于所述 的第一反射截止滤光片（1)和第二反射截止滤光片（2)是在玻璃基底上由高折射率膜层和 低折射率膜层交替制备而成的，所述的高折射率层的材料为Al 203、Nb205、Hf02、Ta 20^Ti02， 所述的低折射率层的材料为Si02。
【文档编号】G02B27/28GK104237993SQ201410499781
【公开日】2014年12月24日 申请日期:2014年9月26日 优先权日:2014年9月26日
【发明者】易葵, 章瑛, 齐红基, 隋展 申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所