曝光机真空密封夹的制作方法

文档序号:2720823阅读:1090来源:国知局
曝光机真空密封夹的制作方法
【专利摘要】曝光机真空密封夹,涉及到曝光机真空密封夹【技术领域】。解决现有的曝光机真空密封夹的上框架采用麦拉膜存在菲林在抽真空吸气时发生形变时偏位,造成品质异常的技术不足,包括有铰接的上框架和下框架,下框架上设有玻璃台面,上框架与下框架之间设有密封垫圈和气弹簧,在下框架上设有抽真空吸气口;其特征在于:所述的上框架上设有与下框架上的玻璃台面对应的光学玻璃。本实用新型把上框架上的麦拉膜换成光学玻璃,这样在吸气过程中,真空泵在抽曝光机真空密封夹中的空气时,玻璃这种刚性材料不会发生形变,不会对菲林造成影响,巧妙的解决了抽真空造成的菲林偏位的问题,提高了产品品质。
【专利说明】曝光机真空密封夹

【技术领域】
[0001]本实用新型涉及到曝光机真空密封夹【技术领域】。

【背景技术】
[0002]现有的曝光机真空密封夹的上框架是麦拉膜,夹在上框架的麦拉膜和下框架的玻璃台面之间的菲林在抽真空吸气时就会因麦拉膜这种柔性材料的发生形变时偏位,造成品质异常。


【发明内容】

[0003]综上所述,本实用新型的目的在于解决现有的曝光机真空密封夹的上框架采用麦拉膜存在菲林在抽真空吸气时发生形变时偏位,造成品质异常的技术不足,而提出曝光机真空密封夹。
[0004]为解决本实用新型所提出的技术问题,采用的技术方案为:曝光机真空密封夹,包括有铰接的上框架和下框架,下框架上设有玻璃台面,上框架与下框架之间设有密封垫圈和气弹簧,在下框架上设有抽真空吸气口 ;其特征在于:所述的上框架上设有与下框架上的玻璃台面对应的光学玻璃。
[0005]所述的上框架通过与光学玻璃一对侧边配合卡接。
[0006]所述的卡接槽与光学玻璃之间设有密封圈或密封胶。
[0007]本实用新型的有益效果为:本实用新型把上框架上的麦拉膜换成光学玻璃,这样在吸气过程中,真空泵在抽曝光机真空密封夹中的空气时,玻璃这种刚性材料不会发生形变,不会对菲林造成影响,巧妙的解决了抽真空造成的菲林偏位的问题,提高了产品品质。

【专利附图】

【附图说明】
[0008]图1为本实用新型的立体结构示意图。

【具体实施方式】
[0009]以下结合附图和本实用新型优选的具体实施例对本实用新型的结构作进一步说明。
[0010]参照图1中所示,本实用新型包括有铰接的上框架I和下框架2,下框架2上设有玻璃台面21,所述的上框架I上设有与下框架2上的玻璃台面21对应的光学玻璃11 ;上框架I与下框架2之间设有密封垫圈12和气弹簧23,在下框架2上设有抽真空吸气口 24。
【权利要求】
1.曝光机真空密封夹,包括有铰接的上框架和下框架,下框架上设有玻璃台面,上框架与下框架之间设有密封垫圈和气弹簧,在下框架上设有抽真空吸气口 ;其特征在于:所述的上框架上设有与下框架上的玻璃台面对应的光学玻璃。
2.根据权利要求1所述的曝光机真空密封夹,其特征在于:所述的上框架通过与光学玻璃一对侧边配合卡接。
3.根据权利要求2所述的曝光机真空密封夹,其特征在于:所述的卡接槽与光学玻璃之间设有密封圈或密封胶。
【文档编号】G03F7/20GK203965799SQ201420355409
【公开日】2014年11月26日 申请日期:2014年6月30日 优先权日:2014年6月30日
【发明者】连大学 申请人:深圳市卓力达电子有限公司
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