用来将基板保持在二级装置内的设备的制作方法

文档序号:11142086阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用来保持基板的装置,所述装置包括:

基部,所述基部包括基部平台,所述基部平台用来支承基板的一部分;

第一臂,所述第一臂包括近端部和远端部,所述近端部连接到所述基部的第一端部;所述远端部从所述基部延伸;以及

第二臂,所述第二臂包括近端部和远端部,所述第二臂的近端部连接到所述基部的第二端部;所述第二臂的远端部从所述基部延伸,

其中,所述基部平台以及所述第一臂和第二臂从所述基部沿相同的方向延伸,

其中,所述第一臂包括第一平台和至少一个固定块,所述第一平台向着所述第二臂延伸以支承所述基板的另一部分,并且

其中,所述第二臂包括第二平台以及固定杆,所述第二平台向着所述第一臂延伸以支承所述基板的另一部分;所述固定杆包括固定块。

2.如权利要求1所述的装置,其中,每一个固定块包括坡道部以及止挡部,所述坡道部用来引导所述基板离开平台;所述止挡部用来约束所述基板。

3.如权利要求2所述的装置,其中,所述第一臂包括两个固定块。

4.如权利要求3所述的装置,其中,当所述固定杆处于关闭位置时,所述第一臂上的固定块和所述固定杆上的固定块为所述基板提供三个接触点。

5.如权利要求1所述的装置,其中,所述基部平台、第一平台和第二平台相毗邻以形成单个平台。

6.如权利要求1所述的装置,其中,所述基部、所述第一臂和所述第二臂形成U形。

7.如权利要求1所述的装置,其中,所述基部、所述第一臂和所述第二臂形成J形。

8.如权利要求1所述的装置,还包括弹簧,所述弹簧从所述固定杆延伸到所述第二臂以预加载所述固定杆。

9.如权利要求1所述的装置,还包括至少一个切口,所述至少一个切口在所述第一臂和第二臂中的每一个臂的近端部处的内角部上,在所述至少一个切口处所述第一臂和第二臂连接到所述基部,所述至少一个切口用来接纳所述基板的一部分。

10.如权利要求9所述的装置,还包括在所述第一臂和第二臂中的每一个臂的远端部处的至少一个切口。

11.如权利要求1所述的装置,其中,每个固定块包括至少一个高度调节器,所述至少一个高度调节器用来相对于每个固定块附接到其上的臂或固定杆而调节该固定块的高度。

12.如权利要求1所述的装置,还包括轴承和紧固件,所述轴承和紧固件用来将所述固定杆附接到所述第二臂,其中,所述轴承允许所述固定杆相对于所述第二臂运动到打开位置和关闭位置。

13.如权利要求12所述的装置,其中,所述打开位置允许所述基板自由地滑动进入和离开所述保持器,而所述关闭位置引起所述固定杆上的固定块和所述第一臂上的所述至少一个固定块在所述基板上施加力以固定所述基板。

14.一种保持基板的方法,所述方法包括:

将所述基板插入保持器,所述保持器包括:

基部,所述基部包括基部平台,所述基部平台用来支承所述基板的一部分,

第一臂,所述第一臂包括近端部以及远端部,所述近端部用来连接到所述基部的第一端部;所述远端部从所述基部延伸,以及

第二臂,所述第二臂包括近端部以及远端部,所述第二臂的近端部用来连接到所述基部的第二端部,所述第二臂的远端部从所述基部延伸,

其中,所述基部平台以及所述第一臂和第二臂从所述基部沿相同的方向延伸,

其中,所述第一臂包括第一平台和至少一个固定块,所述第一平台向着所述第二臂延伸以支承所述基板的另一部分,并且

其中,所述第二臂包括第二平台以及固定杆,所述第二平台向着所述第一臂延伸以支承所述基板的另一部分;所述固定杆包括固定块;以及

使所述保持器的一部分从打开位置运动到关闭位置,

其中,所述保持器的关闭位置使得所述基板升起离开至少一个平台并且在至少一个给定点处被约束。

15.如权利要求14所述的方法,其中,所述基部、所述第一臂和所述第二臂形成U形或J形。

16.如权利要求14所述的方法,其中,每一个固定块包括坡道部以及止挡部,所述坡道部用来引导所述基板离开平台;所述止挡部用来约束所述基板。

17.如权利要求16所述的方法,其中,所述第一臂包括两个固定块。

18.如权利要求17所述的方法,其中,当所述固定杆处于所述关闭位置时,所述第一臂上的固定块和所述固定杆上的固定块为所述基板提供三个接触点。

19.如权利要求14所述的方法,其中,每个固定块包括至少一个高度调节器,所述至少一个高度调节器用来相对于每个固定块附接到其上的臂而调节该固定块的高度。

20.如权利要求14所述的方法,其中,所述保持器还包括打开位置以允许所述基板自由地滑动进入和离开所述保持器。

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