用来将基板保持在二级装置内的设备的制作方法

文档序号:11142086阅读:来源:国知局
技术总结
本公开涉及一种设备,该设备用来可靠地保持基板,诸如显微镜载物片。一种保持器包括框架,该框架包括至少三个壁,诸如基部、第一臂和第二臂。每一个壁包括用来支承基板的平台或平台的一部分。第一臂包括至少一个固定块并且与第一臂相对的第二臂包括具有固定块的固定杆。该固定块包括:坡道部,该坡道部用来引导基板离开平台;以及止挡部,该止挡部用来设置最大升起距离且用来约束基板。

技术研发人员:S·夸里;D·斯图尔特
受保护的技术使用者:瑞尔赛特股份有限公司
文档号码:201580028007
技术研发日:2015.05.21
技术公布日:2017.02.15

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