一种显影机的防灰尘喷嘴装置的制作方法

本实用新型涉及一种显影机的防灰尘喷嘴装置，属于刻蚀机技术领域。

背景技术：

photo工程一般包括涂胶，曝光，显影等过程，是利用对光敏感的PR胶在晶片上刻出所需要的图案的过程，将晶片放置在显影机中的旋转卡盘上，旋转部分带动晶片旋转，显像液喷出口会从等待位置移动到喷射位置，并在旋转的晶片中心喷洒一定量的显像液，旋转结束后进行显像。此后使旋转部分继续旋转，并在晶片中央和背面喷洒水流水以清洗晶片，在晶片背面喷洒的过程中，溶液流淌到镜片边缘，容易使晶片边缘附着灰尘。为了解决上述困难，需要开发一款能防灰尘喷嘴装置。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种显影机的防灰尘喷嘴装置。

本实用新型要解决的问题是现有技术的显影机在晶片背面喷洒的过程中容易使晶片边缘附着灰尘的问题。

为实现本实用新型的目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种显影机的防灰尘喷嘴装置，包括控制器、轮架、滚轮、第一电机、皮带、支板、滑轨、直线电机、气缸、第二电机、喷嘴、电动推杆、移动块、台板、滑块和显影机机壳，所述显影机机壳内顶部左右两侧各安装轮架，轮架左右两侧各安装滚轮，滚轮的轴通过联轴器与第一电机相连，第一电机安装在轮架上，皮带安装在两个滚轮上，皮带下安装支板，支板下安装滑轨，滑轨上安装滑块，滑块下安装台板，台板上安装移动块，移动块安装在直线电机上，直线电机安装在支板下，台板下安装气缸，气缸下安装第二电机，第二电机的输出轴上安装电动推杆，电动推杆下端安装喷嘴，控制器安装在显影机机壳顶部，控制器通过导线分别与电动推杆、第一电机、第二电机、直线电机和喷嘴相连。

所述气缸内置电磁阀，电磁阀通过导线与控制器相连。

本实用新型的优点是：控制器控制第一电机启动，使滚轮旋转，使皮带旋转，使支板左右移动；控制器控制直线电机启动，使移动块移动，使滑块在滑轨上移动；控制器控制气缸做伸缩运动，使喷嘴上下移动；控制器控制第二电机启动，使喷嘴旋转；控制器控制电动推杆做伸缩运动，使喷嘴上下移动；喷嘴中喷出气体将晶片周围的灰尘吹落，避免晶片边缘附着灰尘。

附图说明

图1是本实用新型一种显影机的防灰尘喷嘴装置整体结构图；

图2是滑轨在支板上的安装结构仰视图；

图中：1、控制器 2、轮架 3、滚轮 4、第一电机 5、皮带 6、支板 7、滑轨 8、直线电机 9、气缸 10、第二电机 11、喷嘴 12、电动推杆 13、移动块 14、台板 15、滑块 16、显影机机壳。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步的说明。

本实用新型一种显影机的防灰尘喷嘴装置，包括控制器1、轮架2、滚轮3、第一电机4、皮带5、支板6、滑轨7、直线电机8、气缸9、第二电机10、喷嘴11、电动推杆12、移动块13、台板14、滑块15和显影机机壳16，所述显影机机壳16内顶部左右两侧各安装轮架2，轮架2左右两侧各安装滚轮3，滚轮3的轴通过联轴器与第一电机4相连，第一电机4安装在轮架2上，控制器1控制第一电机4启动，使滚轮3旋转，使皮带5旋转，使支板6左右移动；皮带5安装在两个滚轮3上，皮带5下安装支板6，支板6下安装滑轨7，滑轨7上安装滑块15，滑块15下安装台板14，台板14上安装移动块13，移动块13安装在直线电机8上，直线电机8安装在支板6下，控制器1控制直线电机8启动，使移动块13移动，使滑块15在滑轨7上移动；台板14下安装气缸9，气缸9内置电磁阀，电磁阀通过导线与控制器1相连，控制器1控制气缸9做伸缩运动，使喷嘴11上下移动；气缸9下安装第二电机10，控制器1控制第二电机10启动，使喷嘴11旋转；第二电机10的输出轴上安装电动推杆12，电动推杆12下端安装喷嘴11，控制器1控制电动推杆12做伸缩运动，使喷嘴11上下移动；喷嘴11中喷出气体将晶片周围的灰尘吹落，避免晶片边缘附着灰尘，控制器1安装在显影机机壳16顶部，控制器1通过导线分别与电动推杆12、第一电机4、第二电机10、直线电机8和喷嘴11相连。

本实用新型使用方法：控制器1控制第一电机4启动，使滚轮3旋转，使皮带5旋转，使支板6左右移动；控制器1控制直线电机8启动，使移动块13移动，使滑块15在滑轨7上移动；控制器1控制气缸9做伸缩运动，使喷嘴11上下移动；控制器1控制第二电机10启动，使喷嘴11旋转；控制器1控制电动推杆12做伸缩运动，使喷嘴11上下移动；喷嘴11中喷出气体将晶片周围的灰尘吹落，避免晶片边缘附着灰尘。