技术特征：
技术总结
致动器装置(1)具备：支撑部(5)；可动部(6)；连结部(8)，以可动部(6)能够在第二轴线(X2)周围摇动的方式在第二轴线(X2)上将可动部(6)连结于支撑部(5)；第一配线(21)，被设置于连结部(8)上；第二配线(31)，被设置于支撑部(5)上；绝缘层(52)，具有使第一配线(21)以及第二配线(31)的一方的配线中位于支撑部(5)上的第一连接部分(25)中的支撑部(5)的相反侧的表面(25a)露出的第一开口(52a)并且覆盖第一连接部分(25)的角(25b)。构成第一配线(21)的第一金属材料其刚性高于构成第二配线(31)的第二金属材料。第一配线(21)以及第二配线(31)的另一方的配线在第一开口(52a)被连接于第一连接部分(25)的表面(25a)。
技术研发人员：泷本贞治;森永勇树;铃木大几;藁科祯久
受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社
技术研发日：2016.12.22
技术公布日：2018.08.31