致动器装置的制作方法

文档序号:15306592发布日期:2018-08-31 21:05阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
致动器装置(1)包括:支撑部(5);可动部(6);以可动部(6)可在第二轴线(X2)周围摇动的方式将可动部(6)在第二轴线(X2)上与支撑部(5)连结的连结部(8);设置于连结部(8)上的第一配线(21);和设置于支撑部(5)上的第二配线(31)。构成第一配线(21)的第一金属材料与构成第二配线(31)的第二金属材料相比,刚性高。第二配线(31)与第一连接部分(25)中位于支撑部(5)上的第一连接部分(25)中的支撑部(5)的相反侧的表面(25a)连接。

技术研发人员:泷本贞治;森永勇树;铃木大几;藁科祯久
受保护的技术使用者:浜松光子学株式会社
技术研发日:2016.12.22
技术公布日:2018.08.31
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