大行程光栅刻划机及其刀具总成的制作方法

文档序号:12593714阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种大行程光栅刻划机的刀具总成,包括用于连接刻划移动装置并能够沿刻划方向移动的刀架底座,所述刀架底座下方安装有多个垂直向下的刻刀,多个所述刻刀沿步进方向依次均匀排布。将设置有多个刻刀的刀具总成安装于大行程光栅刻划机,充分利用大行程光栅刻划机的长行程优势,实现多块小面积光栅的同步刻划,提高了小面积光栅的刻划效率和稳定性。另外,仅通过更换刀具总成即可实现多块小面积光栅同步刻划,不改变大行程光栅刻划机的其他主要机械结构,简化了安装调节程序。本发明还公开了一种包括上述刀具总成的大行程光栅刻划机。

技术研发人员:唐玉国;宋莹;齐向东;糜小涛;张宁;巴音贺希格
受保护的技术使用者:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
文档号码:201710017948
技术研发日:2017.01.11
技术公布日:2017.06.09

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