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具有薄膜图案的基板及形成薄膜图案于基板的方法与流程
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来源:国知局
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具有薄膜图案的基板及形成薄膜图案于基板的方法与流程
技术特征:
技术总结
本发明公开一种具有薄膜图案的基板及形成薄膜图案于基板的方法,所述具有薄膜图案的基板包含:一基板;至少一薄膜图案层,配置于该基板上;及一周边图案层,配置于该基板上,无缝地环绕于该薄膜图案层。本发明运用光阻掀离制程的技术手段,来实现一次光罩、无蚀刻或一次蚀刻的技术功效,并达到无缝薄膜图案制作的特殊技术功效。
技术研发人员:
许铭案
受保护的技术使用者:
许铭案
技术研发日:
2017.03.15
技术公布日:
2017.09.26
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