增强型腔体内信号探测三束光纤装置的制作方法

本实用新型涉及光纤连接设备，尤其涉及增强型腔体内信号探测三束光纤装置。

背景技术：

目前，在集成电路芯片制造领域，光纤在相应设备上有着广泛的应用。在刻蚀及镀膜终点检测环节需要光纤探测反应腔内不同波长物质变化，进行终点判断。光纤检测反应腔内光的强度，对设备终点判断至关重要。尤其，当设备上有狭缝时，如果用单根光纤束，光强较弱。为此，特设计增强型腔体内信号探测三束光纤装置，代替传统一根光纤束装置，从而提高探测光的强度，确保设备终点探测准确性。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供增强型腔体内信号探测三束光纤装置，提高探测反应腔内光的强度，确保设备终点探测准确性。

为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案是：增强型腔体内信号探测三束光纤装置，包括固定座后板、固定座前板、光纤和光纤接头。所述的固定座后板与外接设备固定；所述的固定座后板与固定座前板配合，固定光纤；所述的固定座前板上有矩形槽口，用于水平摆放三根光纤束；所述的光纤接头用于固定光纤，光纤接头端三根光纤束呈品字形摆放。

所述的固定座后板内有半圆形槽口，用于固定光纤；固定座后板上有四个孔洞，用于与固定座前板固定，固定座后板两边有两个椭圆形槽口，用于与外界设备固定。

所述的固定座前板内有半圆形槽口，用于固定光纤，固定座前板上有四个螺纹孔，用于与固定座后板固定，固定座前板一端有一矩形槽口，用于水平摆放三根光纤束。

所述的光纤接头内有圆柱形通孔，用于固定光纤，光纤接头一端三根光纤束呈品字形摆放。

本实用新型的使用方法和有益效果是：

装配时，光纤固定在固定座前板和固定座后板之间，通过四个螺纹孔进行固定；三根光纤束并排摆放在固定座前板的矩形槽内，确保三根光纤束紧密贴合且光纤束端面水平；固定座后板两端椭圆形槽口用于与外接设备固定；光纤另一端与光纤接头固定，三根光纤束在光纤接头端呈品字形摆放。

本实用新型有益效果是：设计三根光纤束水平摆放，代替传统的一根光纤束，从而提高探测光的强度，确保设备终点探测准确性。

附图说明

图1为增强型腔体内信号探测三束光纤装置整体结构示意图；

图2为增强型腔体内信号探测三束光纤装置固定座后板结构示意图；

图3为增强型腔体内信号探测三束光纤装置固定座前板结构示意图；

图4为增强型腔体内信号探测三束光纤装置固定座钱板三根光纤束水平摆放结构示意图；

1.固定座后板；2.固定座前板；3.光纤；4.光纤接头。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。

本实用新型较佳实施例为：参见附图1、附图2、附图3和附图4。本实例增强型腔体内信号探测三束光纤装置，包括固定座后板、固定座前板、光纤和光纤接头。所述的固定座后板与外接设备固定；所述的固定座后板与固定座前板配合，固定光纤；所述的固定座前板上有矩形槽口，用于水平摆放三根光纤束；所述的光纤接头用于固定光纤，光纤接头端三根光纤束呈品字形摆放。所述的固定座后板内有半圆形槽口，用于固定光纤；固定座后板上有四个孔洞，用于与固定座前板固定，固定座后板两边有两个椭圆形槽口，用于与外界设备固定。

所述的固定座前板内有半圆形槽口，用于固定光纤，固定座前板上有四个螺纹孔，用于与固定座后板固定，固定座前板一端有一矩形槽口，用于水平摆放三根光纤束。

所述的光纤接头内有圆柱形通孔，用于固定光纤，光纤接头一端三根光纤束呈品字形摆放。

以上所述实例只为本实用新型之较佳实例，并非以此限制本实用新型的实施范围。故任何在上述实施方式的精神和原则内所做的修改、等同替换和改进等，均应包含在该实用新型的保护范围内。