与外涂布光致抗蚀剂一起使用的涂料组合物的制作方法

技术特征：

技术总结
提供有机涂料组合物，尤其用于与外涂布光致抗蚀剂一起使用的抗反射涂料组合物，所述涂料组合物包含1)一种或多种树脂和2)一种或多种被取代的异氰尿酸酯化合物，其不同于所述1)一种或多种树脂。

技术研发人员：柳义炫;金明烈;赵恩惠;李晶真;沈载桓
受保护的技术使用者：罗门哈斯电子材料韩国有限公司
技术研发日：2017.09.29
技术公布日：2019.05.21