掩膜板及柔性显示面板的制作方法

本申请涉及显示技术领域，特别是涉及一种掩膜板及柔性显示面板。

背景技术

随着全面屏的普及，为了使屏占比最大化，需要利用amoled具有柔性显示的特点将显示区以外的区域尽量弯折到面板的背面区，这样，显示区的金属走线需穿过弯折区与背面区的电路连接。

目前，弯折区设置有填充孔，且在填充孔的上方设置有金属走线，通过在填充孔内填充有机柔性层以及在金属走线上打孔来释放应力、防止金属走线断裂。在填充有机柔性层时，采用涂布机涂布有机柔性层后，再用光罩遮蔽需要保留的区域，其余区域曝光显影掉，这种方式会在填充孔上方的周边残留有机柔性层，导致镀在有机柔性层上的金属走线在填充孔正上方和填充孔周边存在高度段差，使得金属走线在后续的曝光/蚀刻过程中存在断线的风险。

因此，有必要提出一种掩膜板及柔性显示面板以解决上述技术问题。

技术实现要素：

本申请主要解决的技术问题是提供一种掩膜板及柔性显示面板，通过使用该掩膜板能降低金属走线断线的风险，进而提升显示质量。

为了解决上述技术问题，本申请采用的第一个技术方案是提供一种掩膜板，该掩膜板上间隔设置有多个条形部，条形部沿其长度方向上间隔设置有多个通孔，条形部两端的单位面积上通孔所占的面积比例小于条形部中间的单位面积上通孔所占的面积比例。

为了解决上述技术问题，本申请采用的第二个技术方案是提供一种柔性显示面板，该柔性显示面板包括显示区以及围绕显示区设置的非显示区，非显示区设置有弯折区，多条金属走线从显示区延伸至弯折区，金属走线包括位于弯折区边缘的第一部分和弯折区内的第二部分，第一部分比第二部分位于更高平面上，在第一部分和第二部分上形成有通孔，金属走线的第一部分和第二部分在形成有通孔处的金属宽度相当。

本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请的掩膜板上间隔设置有多个条形部，条形部沿其长度方向上间隔设置有多个通孔，条形部两端的单位面积上的通孔所占的面积比例小于条形部中间的单位面积上通孔所占的面积比例，通过使用该掩膜板形成的金属走线在高度不同的第一部分和第二部分上形成有通孔处的金属走线的宽度相当，从而能降低金属走线断线的风险，进而提升显示质量。

附图说明

图1是现有技术中柔性显示面板弯折区的部分结构示意图；

图2是形成图1中金属走线所采用的掩膜板在俯视面上的结构示意图；

图3是图1中金属走线在俯视面上的结构示意图；

图4是本申请提供的掩膜板第一实施方式的结构示意图；

图5是采用图4中的掩膜板所形成的金属走线的结构示意图；

图6是本申请提供的掩膜板第二实施方式的结构示意图；

图7是采用图6中的掩膜板所形成的金属走线的结构示意图；

图8是本申请提供的掩膜板第三实施方式的结构示意图；

图9是采用图8中的掩膜板所形成的金属走线的结构示意图；

图10是本申请提供的柔性显示面板一实施方式的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，均属于本申请保护的范围。

请参阅图1，图1是现有技术中柔性显示面板弯折区的部分结构示意图。如图1所示，弯折区依次设置有聚酰亚胺层11、钝化层12、栅极绝缘层13、电容绝缘层14、绝缘层15，其中绝缘层15为三层膜结构，该三层膜为氧化硅膜、氮化硅膜、聚酰亚胺膜。在弯折区还设置有填充孔17，且在填充孔17内填充有有机柔性物，此有机柔性物在一具体实施方式中为聚酰亚胺。通过在弯折区设置填充有聚酰亚胺的填充孔17能释放应力，从而防止弯折区的断裂。

显示面板包括显示区和围绕显示区设置的非显示区，弯折区设置在非显示区内，图1中只示出了弯折区内的部分结构示意图，在填充孔17上方依次设置有金属走线18、平坦层16，金属走线18包括位于弯折区边缘的第一部分181和位于弯折区内的第二部分182，第一部分181比第二部分182位于更高平面上，在第一部分181和第二部分182上形成有通孔。

现有技术中，一般采用涂布的方式在填充孔17内填充聚酰亚胺，具体地，通过涂布机涂布聚酰亚胺后，再用光罩遮蔽需要保留的区域，即用光罩遮蔽填充孔17的区域，其余区域曝光显影掉，但这种方式会在填充孔17的周边残留有未曝光显影掉的聚酰亚胺，从而导致金属走线18在填充孔17的正上方和填充孔17的周边存在高度段差h，使得金属走线18在第一部分181的单位面积上形成的通孔所占的面积比例大于第二部分182的单位面积上形成的通孔所占的面积比例，从而金属走线18容易断线。

请参阅图2，图2是形成图1中金属走线所采用的掩膜板在俯视面上的结构示意图。如图2所示，掩膜板上间隔设置有多个条形部21，条形部21沿其长度方向上均匀设置有多个通孔22，具体地，条形部21在俯视面上的形状为矩形，通孔22在俯视面上的形状为圆形，且每个通孔22的形状、大小完全相同。该掩膜板只是整个掩膜板中形成弯折区的金属走线所对应的那部分掩膜板，对应弯折区以外的其他区域的掩膜板在图中未示出。

请参阅图3，图3是图1中金属走线在俯视面上的结构示意图。由于金属走线31在填充孔的正上方和在填充孔的周边存在高度段差，从而采用图2中的掩膜板对金属走线31进行曝光显影后，每条金属走线31第一部分的单位面积上形成的通孔32所占的面积比例大于第二部分的单位面积上形成的通孔33所占的面积比例，从而金属走线31容易断线。

为了降低金属走线断裂的风险，本申请设置掩膜板中条形部两端的单位面积上通孔所占的面积比例小于条形部中间的单位面积上通孔所占的面积比例。从而通过本申请的掩膜板得到的每条金属走线在第一部分和第二部分上形成有通孔处的金属走线的宽度相当，进而能降低金属走线断线的风险以提升产品的质量。以下，结合附图中的具体实施方式对本申请进行详细说明。

请参阅图4，图4是本申请提供的掩膜板第一实施方式的结构示意图。如图4所示，掩膜板上间隔设置有多个条形部41，条形部41沿其长度方向上间隔设置有多个通孔44，条形部41两端的单位面积上通孔42所占的面积比例小于条形部41中间的单位面积上通孔43所占的面积比例。具体地，条形部41两端的通孔42的周长与两端的条形部41宽度的比值小于条形部41中间的通孔43的周长与中间的条形部41宽度的比值。

本实施例中，条形部41两端的宽度与中间的宽度相等，图4中用d表示此宽度，且条形部41两端的通孔42的周长小于中间的通孔43的周长。条形部41在俯视面上的形状为矩形，通孔44在俯视面上的形状为圆形，在其他实施例中，通孔44在俯视面上的形状可以为弧形或菱形或矩形或其他任意形状。

请参阅图5，图5是采用图4中的掩膜板所形成的金属走线的结构示意图。如图5所示，每条金属走线51第一部分的宽度与第二部分的宽度均为d，且第一部分上的通孔52的面积不大于第二部分上的通孔53的面积。每条金属走线51第一部分上的通孔52的周长与第一部分的金属走线宽度d的比值不大于金属走线51第二部分的通孔53的周长与第二部分的金属走线宽度d的比值。

本实施例中，第一部分的单位面积上通孔52所占的面积比例不大于第二部分的单位面积上通孔53所占的面积比例，通孔54为圆形，在其他实施例中也可以为其他形状。金属走线51的第一部分比第二部分位于更高的平面上，且第一部分和第二部分在形成有通孔处的金属走线宽度相当。此处的金属走线宽度指的是在金属走线宽度方向上通孔两侧剩余金属的总宽度，相当指为同一数量级。具体地，在第一部分形成的通孔52处和第二部分形成的通孔53处的金属走线的宽度均为d，用d1和d2分别表示圆形通孔52和圆形通孔53的直径，则通孔52处的金属走线的宽度范围为d-d1至d，通孔52处的金属走线的宽度范围为d-d2至d，d-d1与d-d2的大小为同一数量级。优选地，本实施例中，金属走线上第一部分的通孔52与第二部分的通孔53的大小相当。

本实施例中的金属走线为通过图4中的掩膜板形成的，金属走线的第一部分比第二部分位于更高的平面上，对应的在利用掩膜板进行图案化形成金属走线时，由于金属走线对应的有位于不同水平高度的部分，经过曝光的效益，通孔在不同高度上形成的图案比例不同。图4中设置掩膜板条形部两端的通孔的周长与两端的条形部宽度的比值小于条形部中间的通孔的周长与中间的条形部宽度的比值，经过这样的补偿设计后，形成的每条金属走线第一部分上的通孔的周长与第一部分的金属走线宽度的比值不大于金属走线第二部分的通孔的周长与第二部分的金属走线宽度的比值，从而金属线在高度不同的面上形成的宽度相当，进而能降低金属走线断线的风险。

请参阅图6，图6是本申请提供的掩膜板第二实施方式的结构示意图。如图6所示，掩膜板上间隔设置有多个条形部61，条形部61沿其长度方向上间隔设置有多个通孔64，条形部61两端的单位面积上通孔62所占的面积比例小于条形部61中间的单位面积上通孔63所占的面积比例。具体地，条形部61两端的通孔62的周长与两端宽度d3的比值小于条形部61中间的通孔63的周长与中间宽度d4的比值。

进一步地，本实施例中设置条形部61两端的宽度d3大于中间的宽度d4，且两端的通孔64与中间通孔63的大小相当，也即两端的通孔62与中间的通孔63的周长相当。本实施例中设置通孔64的形状为圆形，其他实施例中也可以设置为其他形状，此处不做具体限定。

请参阅图7，图7是采用图6中的掩膜板所形成的金属走线的结构示意图。如图7所示，每条金属走线71上间隔设置有多个通孔74，第一部分的单位面积上通孔72所占的面积比例不大于第二部分的单位面积上通孔73所占的面积比例。具体地，第一部分通孔72的周长大于第二部分通孔73的周长，第一部分的宽度d3大于第二部分的宽度d4，且第一部分通孔72的周长与第一部分宽度d3的比值不大于第二部分通孔73的周长与第二部分宽度d4的比值。本实施例中，通孔74为圆形，在其他实施例中也可以为其他形状，此处不做具体限定。

金属走线71的第一部分比第二部分位于更高的平面上，且第一部分与第二部分在形成有通孔处的金属走线宽度相当，此处的金属走线宽度指的是在金属走线宽度方向上通孔两侧剩余金属的总宽度，相当指为同一数量级。具体地，用d1和d2分别表示圆形通孔72和圆形通孔73的直径，则通孔72处的金属走线的宽度范围为d-d1至d，通孔73处的金属走线的宽度范围为d-d2至d，d-d1与d-d2的大小为同一数量级。本实施例中，第一部分的圆形通孔72的面积大于第二部分的圆形通孔73的面积，第一部分的宽度d3大于第二部分的宽度d4，且第一部分通孔72的周长与第一部分宽度d3的比值不大于第二部分通孔73的周长与第二部分宽度d4的比值。

本实施例中的金属走线为通过图6中的掩膜板形成的，金属走线的第一部分比第二部分位于更高的平面上，对应的在利用掩膜板进行图案化形成金属走线时，由于金属走线对应的有位于不同水平高度的部分，经过曝光的效益，通孔在不同高度上形成的图案比例不同。图6中设置掩膜板条形部两端的宽度大于中间的宽度，经过这样的补偿设计后，图7中形成的每条金属走线71第一部分上的通孔72的周长与第一部分的金属走线宽度d3的比值不大于金属走线71第二部分的通孔73的周长与第二部分的金属走线宽度d4的比值，从而金属线71在高度不同的面上形成的宽度相当，进而能降低金属走线断线的风险。

请参阅图8，图8是本申请提供的掩膜板第三实施方式的结构示意图。如图8所示，掩膜板上间隔设置有多个条形部81，条形部81两端的单位面积上通孔82所占的面积比例小于条形部81中间的单位面积上通孔83所占的面积比例。具体地，条形部81沿其长度方向上间隔设置有多个通孔84，且位于条形部81两端的通孔82交错设置于条形部81的两侧边上，条形部81的两侧边所在的直线分别用虚线a和虚线b标示。

本实施例中，条形部81两端的宽度与中间的宽度相同，条形部81在俯视面上的形状为矩形，条形部81中间的通孔83在俯视面上的形状为圆形，条形部81两端的通孔82在俯视面上的形状为弧形，具体地，该弧形为半圆形。在其他实施例中也可以将中间的通孔和两端的通孔设置为其他形状，只要满足将两端的通孔交错的设置于条形部的两侧边上即可。

进一步地，条形部81中间设置的圆形的通孔83的圆心位于条形部81的中心线c上，条形部81两端的弧形的通孔82所对应的圆心交错位于条形部81的两侧边a、b上。

请参阅图9，图9是采用图8中的掩膜板所形成的金属走线的结构示意图。如图9所示，第一部分的单位面积上通孔92所占的面积比例不大于第二部分的单位面积上通孔93所占的面积比例。本实施例中，每条金属走线91第二部分的通孔93沿其中心线c方向均匀分布，第一部分的通孔92交错设置于金属走线91的两侧边a和b上。

本实施例中，金属走线91第一部分的宽度与第二部分的宽度均为d，第二部分上的通孔为圆形，第一部分上的通孔为半圆形。

金属走线91的第一部分比第二部分位于更高的平面上，且第一部分与第二部分在形成有通孔处的金属走线宽度相当，此处的金属走线宽度指的是在金属走线宽度方向上通孔两侧剩余金属的总宽度，相当指为同一数量级。具体地，用d1表示半圆形通孔92所对应的直径，用d2表示圆形通孔93的直径，则通孔92处的金属走线的宽度范围为d-d1/2至d，通孔93处的金属走线的宽度范围为d-d2至d，d-d1/2与d-d2的大小为同一数量级。

本实施例中的金属走线为通过图8中的掩膜板形成的，金属走线的第一部分比第二部分位于更高的平面上，对应的在利用掩膜板进行图案化形成金属走线时，由于金属走线对应的有位于不同水平高度的部分，经过曝光的效益，通孔在不同高度上形成的图案比例不同。图8中设置掩膜板条形部两端的通孔交错位于条形部的两侧边上，经过这样的补偿设计后，图9中形成的每条金属走线91第一部分的单位面积上通孔92所占的面积比例不大于第二部分的单位面积上通孔93所占的面积比例，从而金属线91在高度不同的面上形成的宽度相当，进而能降低金属走线断线的风险。

请参阅图10，图10是本申请提供的柔性显示面板一实施方式的结构示意图。如图10所示，柔性显示面板包括显示区101以及围绕显示区101设置的非显示区102，非显示区102设置有弯折区1021，多条金属走线从显示区101延伸至弯折区1021，金属走线包括位于弯折区1021边缘的第一部分和弯折区1021内的第二部分，第一部分比第二部分位于更高平面上，在第一部分和第二部分上形成有通孔，金属走线的第一部分和第二部分在形成有通孔处的金属宽度相当。本实施例中，柔性显示面板中设置的金属走线为上述任一实施方式中的金属走线。

本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请的掩膜板上间隔设置有多个条形部，条形部沿其长度方向上间隔设置有多个通孔，条形部两端的单位面积上的通孔所占的面积比例小于条形部中间的单位面积上通孔所占的面积比例，通过使用该掩膜板形成的金属走线在高度不同的第一部分和第二部分上形成有通孔处的金属走线的宽度相当，从而能降低金属走线断线的风险，进而提升显示质量。

显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。