技术总结
本发明提供了一种用于感光性聚酰亚胺前体的显影剂及图案化方法，包括至少两种溶剂组成的混合溶液，所述溶剂中包括至少一种非质子极性溶剂，混合溶液中的极性组分溶解度参数不小于7；本发明提供的用于感光性聚酰亚胺前体的显影剂，相比于传统的显影剂，得到聚酰亚胺图案的时间更短，形成的聚酰亚胺图案具有图案尺寸波动小的优点，显影后没有残留物，并且显影区和非显影区之间的溶解速度差异很大，足以给出高分辨率的图案，是一种性能优良的显影剂。
技术研发人员：张国平;黄超;孙蓉;李金辉
受保护的技术使用者：深圳先进技术研究院
技术研发日：2019.03.21
技术公布日：2019.05.17