掩模板的定位点制作方法和掩模板与流程

文档序号:24159917发布日期:2021-03-05 15:13阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种掩模板的定位点制作方法,其特征在于,包括如下步骤:第一金属层(31)制作:在基板(1)的表面制作第一金属层(31);变色:对所述第一金属层(31)的表面作变色处理;第二金属层(32)制作:在基板(1)的表面制作第二金属层(32),所述第二金属层(32)覆盖部分所述第一金属层(31),并在所述第一金属层(31)的所在区域留出通孔(4)。2.根据权利要求1所述的掩模板的定位点制作方法,其特征在于,所述第一金属层(31)制作步骤,包括:第一图形膜(22)制作:在所述基板(1)的表面制作第一图形膜(22),所述第一图形膜(22)的横截面围合成封闭的平面图形;第一次电铸和退膜:通过电铸的方式,在基板(1)的位于所述平面图形内部的表面制作第一金属层(31),并去除所述第一图形膜(22)。3.根据权利要求2所述的掩模板的定位点制作方法,其特征在于,所述第一图形膜(22)制作步骤,包括:第一膜层(21)制作:在基板(1)上制作第一膜层(21);第一次曝光显影:在所述第一膜层(21)上曝光出图形区域,将第一膜层(21)的未曝光的区域通过显影去除,所留下的膜层即构成所述第一图形膜(22)。4.根据权利要求2所述的掩模板的定位点制作方法,其特征在于,所述第一次电铸和退膜的步骤,包括:在所述基板(1)上电铸第一金属层(31);去除所述第一图形膜(22),并揭去所述基板(1)上位于平面图形外部的金属。5.根据权利要求1所述的掩模板的定位点制作方法,其特征在于,在所述变色步骤中,通过腐蚀方式使所述第一金属层(31)的表面发黑。6.根据权利要求1所述的掩模板的定位点制作方法,其特征在于,所述第二金属层(32)制作步骤,包括:第二图形膜(52)制作:在所述基板(1)的表面制作第二图形膜(52),所述第二图形膜(52)位于所述第一金属层(31)上;第二次电铸和退膜:通过电铸的方式,在所述基板(1)上制作第二金属层(32),并去除所述第二图形膜(52)。7.根据权利要求6所述的掩模板的定位点制作方法,其特征在于,所述第二图形膜(52)制作步骤,包括:第二膜层(51)制作:在所述基板(1)上制作第二膜层(51),所述第二膜层(51)覆盖所述第一金属层(31);第二次曝光显影:在所述第二膜层(51)上曝光出图形区域,将第二膜层(51)的未曝光的区域通过显影去除,所留下的膜层即构成所述第二图形膜(52)。8.根据权利要求6所述的掩模板的定位点制作方法,其特征在于,所述第二次电铸和退膜的步骤,包括:在所述基板(1)上电铸第二金属层(32);去除所述第二图形膜(52),露出所述第一金属层(31)。9.一种掩模板,其特征在于,所述掩模板通过权利要求1至8中任意一项所述的方法制
作。10.一种掩模板,其特征在于,包括:本体(6),所述本体(6)的表面设置有盲孔(7),所述盲孔(7)的底壁上的金属材料的颜色与所述本体(6)表面的金属材料的颜色不同。11.根据权利要求10所述的掩模板,其特征在于,所述盲孔(7)的底壁上的金属材料为黑色。12.根据权利要求11所述的掩模板,其特征在于,所述盲孔(7)的底壁上的金属材料的颜色是通过腐蚀工艺得到的。
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