一种感光组合物和光致抗蚀剂的制作方法
【专利说明】一种感光组合物和光致抗蚀剂 【技术领域】
[0001] 本发明公开了一种感光组合物和光致抗蚀剂。 【【背景技术】】
[0002] 光致抗蚀剂是平版印刷工艺中必不可少的物质，在集成电路、大规模集成电路、超 大规模集成电路、液晶显示器、平板显示器等领域发挥着重大作用。传统的光致抗蚀剂大部 分或极大部分来源于丙烯酸酯等石油化工材料，经过显影、剥离以后，便成为废弃物，每年 有上千吨这样的废弃物产生。另外，大部分废弃物被掩埋或焚烧处理，因此，不仅对石油化 工材料造成了巨大的浪费，同时，对环境也造成了极大地污染。 【
【发明内容】
】
[0003] 针对现有技术的不足，本发明提供一种环境友好的感光组合物和光致抗蚀剂，
[0004] 一种感光组合物，包括：
[0005] 光固化树脂，100质量份，其含有以下（1)式、与（2) (3) (4)式中任意一种或任意多 种重复结构单元：
【主权项】
1. 一种感光组合物，其特征是：包括： 光固化树脂，100质量份，其含有以下（1)式、以及（2) (3) (4)式中任意一种或任意多种 重复结构单元：
Rl代表H或CH3,R2为碳原子为1-4的烷经，m，Hi1,m2,m3为30-50的整数，n为2-40的 整数； 光活性单体，25-95质量份； 光引发剂，0.5-15质量份。
2. 根据权利要求1所述的感光组合物，其特征是：所述光活性单体为双季戊四醇五丙 烯酸酯、双季戊四醇六丙烯酸酯、芳香族聚氨酯、己二醇二丙烯酸酯、四乙二醇双丙烯酸酯、 三丙二醇双丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧基三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲 基丙烷三甲基丙烯酸酯、乙氧基三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四硝酸酯、季戊四 醇三甲基丙烯酸酯中的一种或多种。
3. 根据权利要求1所述的感光组合物，其特征是：所述光活性单体含有少于5种不饱 和官能团时，所述光活性单体小于70质量份，光活性单体含有5种或5种以上不饱和官能 团时，所述光活性单体小于40质量份。
4. 根据权利要求1所述的感光组合物，其特征是：所述光引发剂为安息香双甲醚、二乙 基硫葸酮、异丙基硫杂葸酮、2-甲基-1-(4-(甲硫基）苯基）-2-吗啉代丙酮-1、苯甲酮、二 甲氨基苯甲酸、艳佳固369、4, 4' -双（二甲氨基）苯甲酮中的一种或多种。
5. 根据权利要求1至4任一项所述的感光组合物，其特征是：所述光引发剂为0. 5-5质 量份。
6. 根据权利要求1至5任一项所述的感光组合物，其特征是：所述光固化树脂包含 10% -90%质量的乳酸低聚物，优选地，乳酸低聚物具有以下结构：
其中n为2-40的整数，平均值为8。
7. 根据权利要求1至5任一项所述的感光组合物，其特征是：光固化树脂的成分包含 不饱和羧基化合物和/或不饱和无羧基单体，不饱和羧基化合物的含量为光固化树脂质量 的5% -45%，不饱和无羧基单体含量为光固化树脂质量的0. 1% -85%，优选地，所述不饱 和羧基化合物为丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、反丁烯二酸以及衣康酸中的一种或多 种。
8. 根据权利要求7所述的感光组合物，其特征是：所述不饱和无羧基单体为甲基丙烯 酸酯、甲基丙烯酸甲酯、乙基丙烯酸酯、乙基丙烯酸甲酯、丙基丙烯酸酯、丙基丙烯酸甲酯、 异丙基丙烯酸酯、异丙基丙烯酸甲酯、丁基丙烯酸酯、丁基丙烯酸甲酯、异丁基丙烯酸酯、异 丁基丙烯酸甲酯、己基丙烯酸酯，丙烯酰胺、丙烯腈、苯乙烯中的一种或多种。
9. 根据权利要求1至5任一项所述的感光组合物，其特征是：所述光固化树脂含有以 下重复结构单元：
10. -种光致抗蚀剂，其特征是：包含根据权利要求1至9任一项所述的感光组合物。
【专利摘要】一种感光组合物和光致抗蚀剂，该感光组合物包含光固化树脂、光活性单体和光引发剂，光固化树脂可包含以下(1)式与(2)(3)(4)式中任意一种或任意多种重复结构单元：其中，R1为H或CH3，m,m1,m2,m3为30-50的整数，n为2-40的整数。相对于100质量份的光固化树脂，光活性单体的量为25-95质量份，光引发剂的量为0.5-15质量份。该光致抗蚀剂含该感光组合物。这种感光组合物和光致抗蚀剂可具有再生生物降解性，是环境友好的材料。
【IPC分类】G03F7-027, G03F7-038, G03F7-004
【公开号】CN104714365
【申请号】CN201410313022
【发明人】张双庆, 胡钢
【申请人】广东丹邦科技有限公司
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2014年7月1日