一种显示面板的制作方法_2

文档序号:9234521阅读:来源:国知局
r>[0040]可选地,在本实施例中,所述第二预设金属线组310中的每个金属线的宽度可以小于I厘米,优选为2微米。所述第二预设金属线组310中的金属线可以为直线、曲线或折线。在其他实施例中,所述第二预设金属线组310的金属线可以为其他形状的线体。
[0041 ] 可选地,在本实施例中,所述第二预设金属线组中的金属线为虚线状。
[0042]需要说明的是,所述相同长度的虚线状的金属线相较于实线状的金属线的金属量小,且可以形成的引流通的数量更多,从而可以更加加速蚀刻的速度及范围,使得所述第一外围区域残留的金属量大大减少,从而大大降低了显示面板制作过程中出现静电放电的出现,进而更加提高了显示面板的良率。在其他实施例中,所述第二预设金属线组中的金属线也可以为实线状。
[0043]可选地,所述第二预设金属线组310中的相邻两金属线之间的距离均相同。
[0044]需要说明的是,由于相邻两金属线之间的距离均相同,使得若干引流道相同且均匀,从而可以使得蚀刻液均匀地被引导流动,蚀刻的速度及范围更均匀,使得所述第一外围区域不会再由大面的金属残留,大大降低了显示面板制作过程中出现静电放电的出现,进而大大提高了显示面板的良率。在其他实施例中,所述第二预设金属线组310中的相邻两金属线之间的距离也可以相同。
[0045]请参参阅图4,本发明第二实施例提供一种显示面板的制作方法。所述第二实施例提供的制作方法与所述第一实施例提供的制作方法相似,两者的区别在于:在所述第二实施例中,所述基板上还具有第二金属层。所述第二金属层包括第二显示区域及第二外围区域。所述第二显示区域对应所述第一显示区域。所述第二外围区域对应所述第一外围区域。所述第二金属层可以是将铝或者铜于不活泼金属(如钼或者钛)叠层在一起的层。所述制作方法还包括以下步骤。
[0046]步骤401、在所述第二金属层上铺设光阻层,形成第三半成板。
[0047]需要说明的是,本实施例中,采用旋涂方式或辊涂方法在所述第二金属层上涂布光阻剂。在其他实施例中,也可以采用其他的方式在所述第二金属层上涂布光阻剂。
[0048]步骤402、对所述第三半成板进行曝光、显影,形成第四半成板,其中,所述第四半成板对应所述第二显示区域及第二外围区域的区域分别形成第三预设图案及第四预设图案。
[0049]在本实施例中,所述光阻剂为正型光阻剂。所述正型光阻剂在所述预设波长的紫外线的照射下光阻剂的光照部分发生分解,溶解度增大,在所述第三半成板的对应所述第二显示区域的区域内形成所述第三预设图案,且在对应所述第一外围区域的区域上形成所述第四预设区域。在其他的实施例中,所述光阻剂也可以为负型光阻剂。所述负型光阻剂在所述预设波长的紫外线的照射下光阻剂的光照部分发生反应,溶解度变小,在所述第三半成板的对应第一显示区域的区域内形成与所述第三预设图案相反的图案,在对应所述第一外围区域的区域上形成与所述四预设图案相反的图案。
[0050]步骤403、对所述第四半成板进行蚀刻、剥离,从而使得所述第二显示区域上形成第三预设金属线组,所述第二外围区域上形成第四预设金属线组。
[0051]需要说明的是,可以采用混合酸作为蚀刻剂。其中,所述混合酸包括磷酸及硝酸。可以通过预设浓度的碱液进行剥离,在所述第二显示区域内形成第三预设金属线组,在所述第一外围区域上形成所述第四预设金属线组。其中,所述预设浓度的碱液为KOH、NaOH或有机碱。相邻的两个金属线之间形成引流道,用于引导蚀刻液的流动方向。所述第三预设金属线组包括栅极线及数据线。
[0052]在本实施例中,所述显示面板的制作方法包括在所述第二金属层上铺设光阻层,形成第三半成板。对所述第三半成板进行曝光、显影,形成第四半成板,其中,所述第四半成板对应所述第二显示区域及第二外围区域的区域分别形成第三预设图案及第四预设图案。对所述第四半成板进行蚀刻、剥离,从而使得所述第二显示区域上形成第三预设金属线组,所述第二外围区域上形成第四预设金属线组。由于在所述第二外围区域上形成了所述第四预设金属线组,从而形成了若干的引流道,以在进行蚀刻时引导蚀刻液进行流动,进而加速了蚀刻的速度及范围,使得所述第一外围区域不会再由大面的金属残留,大大降低了显示面板制作过程中出现静电放电的出现,进而大大提高了显示面板的良率。
[0053]可选地,所述第四预设金属线组中的每个金属线的宽度可以小于I厘米,优选为2微米。所述第四预设金属线组中的金属线为直线、曲线或折线。在其他实施例中,所述第四预设金属线组的金属线可以为其他形状的线体。
[0054]可选地,在本实施例中,所述第四预设金属线组中的金属线为虚线。
[0055]需要说明的是,所述相同长度的虚线状的金属线相较于实线状的金属线的金属量小,且可以形成的引流通的数量更多,从而可以更加加速蚀刻的速度及范围,使得所述第二外围区域残留的金属量大大减少,从而大大降低了显示面板制作过程中出现静电放电的出现,进而更加提高了显示面板的良率。在其他实施例中,所述第四预设金属线组中的金属线也可以为实线状。
[0056]可选地,所述第四预设金属线组中的相邻两金属线之间的距离均相同。
[0057]需要说明的是,由于相邻两金属线之间的距离均相同,使得若干引流道相同且均匀,从而可以使得蚀刻液均匀地被引导流动,蚀刻的速度及范围更均匀,使得所述第二外围区域不会再由大面的金属残留,大大降低了显示面板制作过程中出现静电放电的出现,进而大大提高了显示面板的良率。在其他实施例中,所述第四预设金属线组中的相邻两金属线之间的距离也可以相同。
[0058]以上所述是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种显示面板的制作方法,包括: 提供一基板,所述基板上具有第一金属层,所述基板包括第一显示区域及第一外围区域,所述第一金属层覆盖所述第一显示区域及所述第一外围区域; 在所述第一金属层上铺设光阻层,形成第一半成板; 对所述第一半成板进行曝光、显影,形成第二半成板,其中,所述第二半成板对应所述第一显示区域及第一外围区域的区域分别形成第一预设图案及第二预设图案; 对所述第二半成板进行蚀刻、剥离,从而使得所述第一显示区域上形成第一预设金属线组,所述第一外围区域上形成第二预设金属线组。2.如权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述第二预设金属线组中的每个金属线的宽度小于I厘米。3.如权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述第二预设金属线组中的金属线为直线、曲线或折线。4.如权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述第二预设金属线组中的金属线为虚线状。5.如权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述第二预设金属线组中的相邻两金属线之间的距离均相同。6.如权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述基板上还具有第二金属层,所述第二金属层包括第二显示区域及第二外围区域;其中,所述制作方法还包括: 在所述第二金属层上铺设光阻层,形成第三半成板; 对所述第三半成板进行曝光、显影,形成第四半成板,其中,所述第四半成板对应所述第二显示区域及第二外围区域的区域分别形成第三预设图案及第四预设图案; 对所述第四半成板进行蚀刻、剥离,从而使得所述第二显示区域上形成第三预设金属线组,所述第二外围区域上形成第四预设金属线组。7.如权利要求6所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述第四预设金属线组中的每个金属线的宽度小于I厘米。8.如权利要求6所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述第四预设金属线组中的金属线为直线、曲线或折线。9.如权利要求6所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述第四预设金属线组中的金属线为虚线。10.如权利要求6所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述第四预设金属线组中的相邻两金属线之间的距离均相同。
【专利摘要】本发明公开本发明所述显示面板的制作方法包括提供一基板,基板上具有第一金属层,基板包括第一显示区域及第一外围区域,第一金属层覆盖第一显示区域及第一外围区域;在第一金属层上铺设光阻层,形成第一半成板;对第一半成板进行曝光、显影,形成第二半成板,其中,第二半成板对应第一显示区域及第一外围区域的区域分别形成第一及第二预设图案;对第二半成板进行蚀刻、剥离,使得第一显示区域上形成第一预设金属线组,第一外围区域上形成第二预设金属线组。本发明大大降低了显示面板制作过程中出现静电放电的出现,进而大大提高了显示面板的良率。
【IPC分类】G02F1/1362
【公开号】CN104950539
【申请号】CN201510414055
【发明人】刘元甫
【申请人】深圳市华星光电技术有限公司
【公开日】2015年9月30日
【申请日】2015年7月15日
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1