5和卷绕侧制动辊25配置为各自的旋转轴沿水平方向大致排列成一条直线。供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25由夹持辊构成，所述夹持辊由隔着长条工件W相对配置的两个辊构成。这两个辊能够利用未图示的机构分别沿上下方向(Z方向)移动，以夹持或者释放长条工件W。
[0043]供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25能够利用夹持辊夹持长条工件W，并且以不使夹持辊旋转的方式施加制动，由此对长条工件W施加制动。另一方面，在释放了长条工件W的状态下，使夹持辊从长条工件W的正面和背面离开，以便不阻碍长条工件W的移动。
[0044]并且，供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25分别具有对辊进行旋转驱动的旋转驱动单元(未图示)。在夹持着长条工件W的状态下，旋转驱动单元间歇地并且以大致相同的旋转驱动量对供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25进行旋转驱动，由此，能够将架设在供给卷轴11与卷绕卷轴21之间的长条工件W逐次输送(分段进给)规定长度。旋转驱动单元例如使用步进电动机，高精度地控制长条工件W的进给量和加速度等。
[0045]另外，供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25也可以不使用夹持长条工件W的夹持辊，而使用具有吸附长条工件W的背面的吸附单元的吸附辊。通过在供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25吸附着长条工件W的背面的状态下由旋转驱动单元进行旋转驱动，能够对长条工件W进行输送。
[0046]另外，虽然例示出在供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25双方中都存在旋转驱动单元的情况，但是，在制动辊仅朝一个方向输送长条工件W的情况下，也可以仅使引入侧(供给侧)的制动辊具有旋转驱动单元，使另一方的制动辊仅具有制动器。在该情况下，可以在引入侧的制动辊进行旋转驱动时，另一方的制动辊在夹持着长条工件W的状态下解除制动，夹持辊被长条工件W的移动带着转动。
[0047]导辊12、14、22、24是将从供给卷轴11供给的(送出的)长条工件W引导至下游侧的辅助辊。在导辊中，至少导辊14和24配置为各自的旋转轴沿水平方向大致排列成一条直线。供给导辊12、14、22、24也可以具有防止长条工件W沿宽度方向(图1、图3中的纸面垂直方向、图2中的左右方向)偏离的凸缘(未图示)。
[0048]供给侧张力调节辊13和卷绕侧张力调节辊23具有作为缓冲器的功能:它们随着长条工件W的输送而升降，通过对长条工件W施加张力而防止长条工件W产生松弛或褶皱，并且为了后述的曝光部中的扫描曝光，使长条工件W在曝光部30中移动。
[0049]供给部10具有用于检测长条工件W的端面位置的端面位置传感器16。根据端面位置传感器16的输出，供给部10通过未图示的机构进行对长条工件W的蜿蜒实施校正的端面位置控制。例如设置对从供给卷轴11到供给侧制动辊15进行一体支撑的框架(未图示)，并使该框架沿长条工件W的宽度方向(Y方向)移动，由此进行端面位置控制。端面位置控制是现有技术，通常可以使用公知的控制器来实现。
[0050]<曝光部30的结构>
[0051]曝光部30配置在供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25之间。曝光部30具有曝光台31、校准照相机41以及曝光单元51。
[0052]曝光单元51具有多个曝光头(未图示)，规则地配置在从长条工件W向铅直上方隔开规定距离的位置。针对各曝光头配置有光源和照明光学系统(未图示)，从光源放射出的光分别经由对应的照明光学系统而被引导至对应的曝光头。各曝光头具有:使多个微镜呈二维排列的DMD (Digital Micro-mirror Device:数字微镜器件)以及在长条工件上形成DMD的像的成像光学系统。
[0053]DMD的微镜被选择性地定位成向长条工件W上引导光的第I姿势和向长条工件W外引导光的第2姿势中的任意一种姿势，各微镜被独立地控制。
[0054]针对各曝光头分别分配曝光区域，所述曝光区域是通过沿着输送方向M分割长条工件W而规定的，对各曝光头规定扫描带。分别按照扫描带的宽度而形成作为来自各曝光头的光的照射区域的曝光区，根据曝光区向长条工件W照射光。
[0055]曝光台31吸附长条工件W的背面，并且将其保持为平坦。曝光台31能够通过升降驱动单元34，在曝光台31与长条工件W的背面接触的上端位置和曝光台31与长条工件W的背面分离的下端位置之间升降。并且，曝光台31具有用于扫描或者分步重复的台移动部32。
[0056]如图2所示，曝光台31具有夹持长条工件W的沿着输送方向(X方向)的端面的工件夹持机构35。工件夹持机构35由在其与台之间夹持长条工件W的输送方向(X方向)的端面的夹具35a和夹具35b构成。夹具35a和夹具35b安装于未图示的Y方向移动机构，可以根据长条工件W的宽度来调整夹持位置。
[0057]由于长条工件W是较薄的膜状，因此会在宽度方向(Y方向)上产生翘曲。工件夹持机构35以将长条工件W按压到曝光台的方式进行夹持，由此，能够将长条工件W的被曝光的区域矫正并保持为平坦。
[0058]校准照相机41设置在曝光单元51的上游侧，通过拍摄设置在长条工件W上的校准标记，取得长条工件W的位置信息。一边使长条工件W沿X方向移动，一边进行校准标记的拍摄。
[0059]<曝光装置I的曝光输送动作>
[0060]参照图3a?图3j的工序图，对曝光装置I的曝光输送动作详细地进行说明。另夕卜，图中的长条工件W附近的箭头表示长条工件W的移动。并且，长条工件W上的点A表示第I次曝光时的起始位置，点B表示第I次曝光时的结束位置并且表示第2次曝光时的起始位置。
[0061]步骤S1:将作为加工前的新材料的卷状的长条工件W设置在供给卷轴11上，送出长条工件W的前端部而将其架设于导辊12、供给侧张力调节辊13、导辊14、供给侧制动辊15、卷绕侧制动辊25、导辊24、卷绕侧张力调节辊23、导辊22，并固定于卷绕卷轴21。在该初始设置状态下，在供给侧张力调节辊13和卷绕侧张力调节辊23中，长条工件W没有被缓冲。(图3a)
[0062]步骤S2:开始曝光装置的自动运转模式。等待在校准开始位置处的曝光台31上升到上端位置，吸附I段长条工件W的背面，并且将其保持为平坦。并且，曝光台31的工件夹持机构35在其与台之间夹持长条工件W。(图3b)
[0063]步骤S3:供给卷轴11的旋转驱动单元(未图示)旋转规定的旋转驱动量，由此，供给卷轴11将长条工件W送出与曝光台31的I个行程(约2段)相应的量。被送出的长条工件W经由供给导辊12进入供给侧张力调节辊13。这里，长条工件W在下游侧被曝光台31吸附，因此，长条工件W在保持适度张力的同时被张力调节辊13缓冲。(图3c)
[0064]步骤S4:曝光台31沿X方向被驱动，在吸附保持着长条工件W的状态下通过校准照相机41的下方。此时，随着曝光台31的移动，拉出已被供给侧张力调节辊13缓冲的长条工件W，同时在卷绕侧张力调节辊23部处，长条工件W的U字形状变深，长条工件W得到缓冲。(图3c—图3d)
[0065]在长条工件W中存在内层图案的情况下(积层基板的第二层之后等)，在长条工件W上设置有校准标记，该校准标记用于进行要曝光的图案与内层图案的位置对准。配合曝光台31的移动，利用校准照相机41拍摄形成在长条工件W上的校准标记。另外，在长条工件W中没有内层图案的情况下(积层基板的第一层等)，有时没有设置校准标记，但是，在该情况下，由于曝光装置I不进行校准(基于曝光数据的曝光位置校正)，因此不进行校准标记的拍摄。
[0066]步骤S5:根据通过校准标记的拍摄而得到的长条工件W的位置信息，进行长条工件与要曝光的图案的校准。具体而言，将长条工件W的位置信息发送给曝光单元51的曝光控制部(未图示)，针对曝光单元51将图案曝光于长条工件W时使用的曝光数据的坐标进行校正处理。在进行曝光数据的校正处理期间，曝光台31在保持着长条工件W的状态下，在曝光开始位置处暂时停止。(图3d)
[0067]步骤S6:曝光台31开始向下游方向移动，在曝光部30中，通过已知的多重曝光技术，曝光单元75将电子电路图案扫描曝光于由曝光台31吸附保持的长条工件W的表面的感光材料层(图3d —图3e)。当从点A到点B的I段的长条工件W的曝光完成时，曝光台31结束向下游方向的移动，停止在曝光结束位置处。(图3e)
[0068]步骤S7:供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25夹持长条工件W，并固定长条工件W(图3f)。然后，解除曝光台31对长条工件W的吸附，并且工件夹持机构35解除长条工件W的固定，升降驱动单元34使曝光台31下降到下端位置(图3g)。由于长条工件W被辊15和25夹持，因此在台31从长条工件W分离时，长条工件W被制动而不向X方向或Y方向移动，从而能够保持规定的位置。
[0069]步骤S8:将供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25的旋转驱动单元(未图示)旋转规定的旋转驱动量，由此，供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25将长条工件W回卷规定量，移动长条工件W，使得长条工件W的曝光完成后的I段的下I段来到校准开始位置(即，使点B来到步骤S2中的点A的位置)。此时，在使用端面位置传感器16的输出来校正长条工件W的蜿蜒的同时移动