长条工件W (图3g —图3h)。
[0070]当供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25使长条工件W朝返回方向移动时，长条工件W在供给侧张力调节辊13处U字形状变深，同时，在卷绕侧张力调节辊23处U字形状变浅。此时，在驱动长条工件W的加速度急剧的情况下，张力调节辊会在长条工件上打滑，有可能在长条工件W上产生划痕而成为次品，因此，供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25以进行适当的加减速的方式被旋转驱动。
[0071]并且，在供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25回卷长条工件W的同时，曝光台31从曝光结束位置移动到校准开始位置(图3g—图3h)。另外，要注意到长条工件W的曝光完成后的I段的返回量与台31的返回量不同，后者的返回量大。相对于以平缓的加减速移动长条工件W，以高加速度且高速地进行返回量大的曝光台31的移动。因此，两者大致同时地结束返回移动。
[0072]步骤S9:在供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25对长条工件W的移动、以及曝光台31的移动结束后，曝光台31上升到上端位置，吸附刚才曝光的I段的下一位置的I段的长条工件W的背面并且将其保持为平坦(图3i)。并且，曝光台31的工件夹持机构35在其与台之间夹持长条工件W。此时，如图3i所示，可知点B来到了步骤S2中的点A的位置。
[0073]步骤SlO:供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25解除长条工件W的夹持。通过将供给卷轴11和卷绕卷轴21的旋转驱动单元(未图示)旋转规定的旋转驱动量，使得供给卷轴11向张力调节辊13送出I段的长条工件W，并且卷绕卷轴21从张力调节辊23卷绕I段的长条工件W。(图3i—图3j)
[0074]之后，依次反复执行步骤S4?步骤SlO直到生产结束为止。在长条工件W的最后一段的曝光结束后，回收被卷绕卷轴21卷绕成卷状的长条工件W。
[0075]这样，本实施方式的曝光装置I始终通过由供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25进行的夹持，或者由曝光台31进行的保持，在维持了对长条工件W进行制动的状态下进行多段的曝光。由此，能够高精度接连曝光前后的段，特别是在没有校准标记的长条工件W中能够发挥理想的效果。
[0076]并且，在I段曝光后的曝光台31和长条工件W的返回移动时，使曝光台31和长条工件W分开地独立移动，因此能够使移动距离较长的曝光台31以高加速度且高速地移动，另一方面，移动距离较短的长条工件W能够以抑制加速度的方式进行移动，使得不因张力调节辊而产生磨损。由此，提高曝光装置I的生产性。
[0077]《第2实施方式》
[0078]关于曝光装置I的结构，第2实施方式与第I实施方式相同。在本实施方式中，曝光装置I的动作在步骤S6结束后，分支成以下的步骤。
[0079]步骤Sll:曝光台31在吸附保持着长条工件W的状态下移动到校准照相机41的下方。此时，对于曝光台31的移动，可以自动地移动到预先确定的位置，也可以由操作员手动地移动到任意的位置。
[0080]步骤S12:曝光装置I的操作员使用校准照相机41和与校准照相机41连接的监视器42，对通过步骤S6的曝光而形成在长条工件W的感光材料上的潜影进行观察。在观察的结果为确认需要曝光位置或曝光量等的校正的情况下，曝光装置I的操作员根据观察结果对这些参数进行校正。
[0081]步骤S13:供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25夹持长条工件W，并固定长条工件W。然后，解除曝光台31对长条工件W的吸附，并且工件夹持机构35解除长条工件W的固定，升降驱动单元34使曝光台31下降到下端位置。
[0082]步骤S14:基于根据步骤11中的曝光台的移动量而求出的长条工件W的当前位置，供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25使长条工件W向下游侧移动，使得长条工件W的曝光完成后的I段的下I段来到校准开始位置(即，使得点B来到步骤S2中的点A的位置)。
[0083]并且，在供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25对长条工件W移动的同时，曝光台31被朝上游方向驱动，移动到校准开始位置。这样，当利用供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25使长条工件W移动时，容易使长条工件W和曝光台31朝不同方向移动。
[0084]步骤S15:在供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25对长条工件W的移动、以及台移动部32对曝光台31的移动结束后，曝光台31上升到上端位置，吸附刚才曝光的I段的下一位置的I段的长条工件W的背面并且将其保持为平坦。并且，曝光台31的工件夹持机构35在其与台之间夹持长条工件W的输送方向(X方向)的端面。
[0085]步骤S16:供给侧制动辊15和卷绕侧制动辊25解除长条工件W的夹持。通过将供给卷轴11和卷绕卷轴21的旋转驱动单元(未图示)旋转规定的旋转驱动量，供给卷轴11向张力调节辊13送出I段的长条工件W，并且卷绕卷轴21从张力调节辊23卷绕I段的长条工件W。
[0086]之后，与实施方式I同样地依次反复执行步骤S4之后的步骤。另外，动作向步骤Sll的分支不仅可以在长条工件W的最初I段的曝光后执行，也可以在任意的时机执行。
[0087]这样，本实施方式的曝光装置I具有在执行连续运转时观察曝光结果的工序(步骤S12)。由于能够通过观察长条工件W的最初的曝光结果、调整曝光参数来防止长条工件W的多段的图案的形成不良，因此曝光装置I的生产性提高。另外，曝光结果的观察工序不仅可以在长条工件W的最初曝光时执行，也可以在任意的时机(例如，每经过规定时间)执行。
[0088]另外，在连续运转中实施观察曝光结果的工序时，长条工件W也是通过由供给侧制动棍15和卷绕侧制动棍25进行的夹持、或者由曝光台31进行的保持而被制动。由此，能够高精度地接连曝光前后的段，特别是在没有校准标记的长条工件W中能够发挥理想的效果。
[0089]另外，对于曝光结果的观察和曝光参数的设定，说明了操作员利用与校准照相机41连接的监视器42手动地进行的情况，但是，也可以通过将未图示的图像处理装置连接到校准照相机41，而由曝光装置I自动地实施。
【主权项】
1.一种曝光装置，其具有: 输送单元，其将长条的具有塑性的被曝光体从供给卷轴输送到卷绕卷轴； 曝光单元，其设置在供给卷轴到卷绕卷轴之间； 曝光台，其保持所述被曝光体的一部分；以及 移动单元，其使所述曝光台沿着所述输送单元的所述被曝光体的输送方向往复移动， 利用所述曝光单元与所述曝光台的相对移动而将图案曝光于所述被曝光体， 所述曝光装置的特征在于， 所述输送单元具有: 供给侧约束辊，其设置在所述供给卷轴的下游侧且所述曝光单元的上游侧，约束所述被曝光体；以及 卷绕侧约束辊，其设置在所述曝光单元的下游侧且所述卷绕卷轴的上游侧，约束所述被曝光体， 在所述供给侧约束辊与所述卷绕侧约束辊中的至少一方，设置有辊驱动单元。2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于， 在所述曝光台保持所述被曝光体时，所述供给侧约束辊和所述卷绕侧约束辊解除所述被曝光体的约束。3.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于， 在所述曝光台以保持着所述被曝光体的状态从输送开始位置移动到输送结束位置的期间，所述曝光单元将图案曝光于所述被曝光体， 在所述曝光单元的曝光结束后，所述曝光台以不保持所述被曝光体的状态从所述输送结束位置移动到所述输送开始位置时，所述供给侧约束辊使所述被曝光体向供给侧移动。4.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于， 所述曝光台具有将所述被曝光体的端面按压到所述曝光台的夹持机构。5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的曝光装置，其特征在于， 所述曝光装置具有: 曝光位置校正单元，其具有拍摄单元，所述拍摄单元设置在所述供给侧约束辊与所述曝光单元之间的所述被曝光体上方；以及 显示单元，其能够显示由所述拍摄单元拍摄的图像， 所述曝光装置具有如下步骤: 拍摄步骤，所述拍摄单元拍摄设置于所述被曝光体的定位标记； 曝光位置校正步骤，所述曝光单元根据由所述拍摄单元拍摄到的图像对曝光数据进行校正； 曝光步骤，所述曝光单元根据校正后的所述曝光数据将图案曝光于所述被曝光体；以及 确认步骤，在曝光步骤结束后，使用所述拍摄单元确认曝光于所述被曝光体的图案。
【专利摘要】提供一种曝光装置，其是卷对卷方式的曝光装置，能够在长条工件上不产生划痕疵的情况下缩短生产节拍，并且所形成的图案的连接精度良好。所述曝光装置具有：曝光台(31)，其保持长条工件(W)；台移动部(32)，其使曝光台(31)往复移动；供给侧约束辊(15)，其设置在供给卷轴(11)的下游侧且曝光单元(51)的上游侧，约束长条工件(W)；以及卷绕侧约束辊(25)，其设置在曝光单元(51)的下游侧且卷绕卷轴(21)的上游侧，约束长条工件(W)，所述供给侧约束辊(15)和卷绕侧约束辊(25)中的至少一方具有辊驱动单元。
【IPC分类】G03F7/23, G03F7/20
【公开号】CN105093861
【申请号】CN201510244466
【发明人】森田亮, 松田政昭, 绿川悟
【申请人】株式会社Orc制作所
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2015年5月14日