液晶显示面板及其制作方法_2

文档序号:9686593阅读:来源:国知局
述无机绝缘层28可以为SiNx或Si02。
[0031]参见图5,在本发明液晶显示面板的第四【具体实施方式】中,所述液晶显示面板包括一彩色滤光层27及一无机绝缘层28,所述彩色滤光层27设置在所述无机绝缘层28与所述有机绝缘层23之间。
[0032]本发明还提供一种液晶显示面板的制作方法,参见图6,所述制作方法包括如下步骤:
[0033]步骤S60、提供一基板、在所述基板上依次设置有装置层、数据线及设置在所述装置层表面和/或数据线表面的有机绝缘层;步骤S61,在所述有机绝缘层上形成沟槽,所述沟槽对应所述数据线;步骤S62,在所述沟槽内及所述有机绝缘层表面形成黑色矩阵;步骤S63,去除所述有机绝缘层表面的黑色矩阵,使得沟槽内的黑色矩阵的表面与所述有机绝缘层的表面平齐。
[0034]图7A?图7E是本发明液晶显示面板制作方法的工艺流程图。
[0035]参见步骤S60及图7A,提供一基板60、在所述基板60上依次设置有装置层61、数据线62及设置在所述装置层61表面和/或数据线62表面的有机绝缘层63。在本【具体实施方式】中,所述有机绝缘层63设置在所述装置层61表面并覆盖所述数据线62。
[0036]在其他【具体实施方式】中,还可以包括无机绝缘层和/或彩色滤光层(附图中未标示),所述无机绝缘层和/或彩色滤光层设置在所述所述装置层61表面并覆盖所述数据线62,所述有机绝缘层63设置在无机绝缘层和/或彩色滤光层表面。
[0037]参见步骤S61及图7B,在所述有机绝缘层63上形成沟槽64,所述沟槽64对应所述数据线62。在本【具体实施方式】中,由于所述有机绝缘层63覆盖所述数据线62,因此,在形成沟槽64后,所述数据线62设置在所述沟槽64内。本领域技术人员可从现有技术中获取形成沟槽64的方法。
[0038]参见步骤S62及图7C,在所述沟槽64内及所述有机绝缘层63表面形成黑色矩阵65。所述黑色矩阵65可以采用沉积等本领域技术人员熟知的方法形成。由于沟槽64的存在,在沟槽处的黑色矩阵65较厚,在有机绝缘层63无沟槽处,黑色矩阵65较薄。
[0039]参见步骤S63及图7D,去除所述有机绝缘层63表面的黑色矩阵65,使得沟槽64内的黑色矩阵65的表面与所述有机绝缘层63的表面平齐。
[0040]在该步骤中,可以采用干法刻蚀的方法,去除特定厚度的黑色矩阵65,进而去除有机绝缘层63表面的黑色矩阵95。进一步,为了防止有机绝缘层63表面黑色矩阵65残留,沟槽处的黑色矩阵65要过刻蚀,因此,理想状态下,沟槽64内的黑色矩阵65的表面与所述有机绝缘层63的表面平齐,实际上,沟槽64内的黑色矩阵65的表面略低于所述有机绝缘层63的表面。
[0041]在该步骤中,还可以使用正型黑色矩阵光阻法去除黑色矩阵65。首先对黑色矩阵65照射特定剂量UV光,使上层黑色矩阵65感光,沟槽64深处黑色矩阵65不感光,然后去掉上层BM,仅剩余沟槽处黑色矩阵65。
[0042]在步骤S63之后,进一步还包括一步骤S64,在所述有机绝缘层63表面形成公共电极66。
[0043]综上所述,本发明提供的液晶显示面板,通过将该液晶面板的黑色矩阵设于在有机绝缘层上预先形成的沟槽内部,从而去除玻璃基板上面黑色矩阵形成的凸起结构,防止凸起结构引起的液晶配向不良,省掉黑色矩阵的光罩,节省生产使用的光罩数目。本发明提供的液晶显示面板的制作方法,预先在有机绝缘层上设置沟槽,并在沟槽中形成黑色矩阵,从而去除玻璃基板上面黑色矩阵形成的凸起结构,防止凸起结构引起的液晶配向不良,省掉黑色矩阵的光罩,节省生产使用的光罩数目。
[0044]以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种液晶显示面板,包括基板、设置在所述基板上的装置层、设置在装置层表面的数据线及设置在所述装置层表面和/或数据线表面的有机绝缘层,其特征在于,所述有机绝缘层具有一对应所述数据线的沟槽,一黑色矩阵设置在所述沟槽内,所述黑色矩阵的表面与所述有机绝缘层的表面平齐。2.根据权利要求1所述的液晶显示面板,其特征在于,还包括一彩色滤光层,所述彩色滤光层设置在所述装置层表面,并覆盖所述数据线,所述有机绝缘层设置在所述彩色滤光层表面上。3.根据权利要求1所述的液晶显示面板,其特征在于,还包括一无机绝缘层,所述无机绝缘层设置在所述装置层表面,并覆盖所述数据线,所述有机绝缘层设置在所述无机绝缘层表面上。4.根据权利要求3所述的液晶显示面板,其特征在于,还包括一彩色滤光层,所述彩色滤光层设置在所述无机绝缘层与所述有机绝缘层之间。5.根据权利要求1所述的液晶显示面板,其特征在于,在所述有机绝缘层表面设置有公共电极。6.根据权利要求1所述的液晶显示面板,其特征在于,所述沟槽宽度大于所述数据线宽度。7.根据权利要求1所述的液晶显示面板,其特征在于,所述装置层为薄膜晶体管层。8.一种液晶显示面板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤: 步骤(a),提供一基板、在所述基板上依次设置有装置层、数据线及设置在所述装置层表面和/或数据线表面的有机绝缘层; 步骤(b),在所述有机绝缘层上形成沟槽,所述沟槽对应所述数据线; 步骤(c),在所述沟槽内及所述有机绝缘层表面形成黑色矩阵; 步骤(d),去除所述有机绝缘层表面的黑色矩阵,使得沟槽内的黑色矩阵的表面与所述有机绝缘层的表面平齐。9.根据权利要求8所述的制作方法,其特征在于,在步骤(d)中,采用干法刻蚀或正型黑色矩阵光阻掩膜的方法,去除特定厚度的黑色矩阵,使得沟槽内的黑色矩阵的表面与所述有机绝缘层的表面平齐。10.根据权利要求8所述的制作方法,其特征在于,在步骤(d)中,采用过刻蚀的方法去除所述有机绝缘层表面的黑色矩阵,以避免在所述有机绝缘层表面残留黑色矩阵。
【专利摘要】本发明提供一种液晶显示面板及其制作方法,所述液晶显示面板包括基板、设置在所述基板上的装置层、设置在装置层表面的数据线及设置在所述装置层表面和/或数据线表面的有机绝缘层,所述有机绝缘层具有一对应所述数据线的沟槽,一黑色矩阵设置在所述沟槽内,所述黑色矩阵的表面与所述有机绝缘层的表面平齐。本发明的优点在于,去除玻璃基板上面黑色矩阵形成的凸起结构,防止凸起结构引起的液晶配向不良;省掉黑色矩阵的光罩,节省生产使用的光罩数目,简化生产制程。
【IPC分类】G02F1/1362
【公开号】CN105446041
【申请号】CN201610017053
【发明人】郝思坤
【申请人】深圳市华星光电技术有限公司
【公开日】2016年3月30日
【申请日】2016年1月11日
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