μπι的剥离膜。将该剥离膜与防尘薄膜组件框架10上的防尘薄膜接着层52接着，成为防尘薄膜53，防尘薄膜组件框架10外侧的剩余膜用刀切断除去，防尘薄膜组件50完成。
[0107]将完成的防尘薄膜组件50按图8表示的方法贴附于光掩模92。此时的加压装置91为平板状，如图9表示的那样，为4分割的构造。加压装置91被加载在直动引导机构(未图示)上，驱动装置(未图示)向图9中的两箭头方向移动，构成其先端可以插入或退出防尘薄膜组件框架10的间隙14的构造。
[0108]另外，加压装置91的制作，为将SUS304不锈钢进行机械切削，使各平面度为10 μ m以下，进行调整，使加压装置91和光掩模92表面间的平行度为20 μπι以下。
[0109]然后，准备石英玻璃制，150χ150χ厚度6mm，平面度0.3 μπι的光掩模92，用所述加压装置将防尘薄膜组件50贴附。此时，加压力为2kgf，加压时间为lOmin。
[0110]然后，接着后，从光掩模92的里面对光掩模粘着剂层51的接着状态进行目视确认，得知为在全周上以一定的接着幅度接着，因此，可以确认到良好的接着状态。另外，对贴附本防尘薄膜组件的光掩模基板，确认其平面度，得知对光掩模单独的值为0.3 μ m，而本发明的值为0.32 μ m，变动非常小。
[0111]比较例
[0112]〈比较例1>
[0113]比较例1中，与所述实施例完全相同，夕卜尺寸149x115mm，内寸145.2x111.2mm，高度5.5mm的防尘薄膜组件框架被通过机械切削加工制作。该防尘薄膜组件框架的长边中央，具有直径0.5mm的通气孔，进一步，各边的角部附近，具有作业用的非贯通的夹具孔。另夕卜，棱部，进行了 C0.1?0.2左右切角，表面全面进行喷砂，Ra0.6左右，喷砂后，进行黑色氧化膜处理。
[0114]该比较例1和所述实施例的不同，为没有实施例那样的垂直伸出部12，水平伸出部13以及通气孔周边的掘入部58。然后，对该比较例1的防尘薄膜组件框架的光掩模粘着面侧的平面度进行确认，为20 μ m。
[0115]然后，使用所述该防尘薄膜组件框架，用与所述实施例完全同样的方法，制作防尘薄膜组件，贴附于光掩模贴附，进行评价，完成的防尘薄膜组件的光掩模粘着剂层，与所述实施例相同，厚度0.5mm，平面度10 μπι。
[0116]图10为贴附时的截面概略图。加压装置85，通过防尘薄膜83的接着的防尘薄膜接着层82，防尘薄膜组件框架81，对光掩模粘着剂层84施加负载，进行向光掩模86的贴附。此时，试验用的光掩模86，也与所述实施例相同，石英玻璃制，150χ150χ厚度6_，平面度0.3 μ m，加压力5kgf，加压时间lOmin。
[0117]然后，接着后，从光掩模86的里面对光掩模粘着剂层84的接着状态进行目视确认，4处中1处的角部附近有30%左右的接着幅度变窄，长期使用时的可信性有若干担心。另外，具有该防尘薄膜组件的光掩模基板，对其平面度进行确认，光掩模单独时的值0.3 μ??，而本比较例的场合为0.38 μ??，与实施例的0.32 μπι相比，明显变差。
[0118]〈比较例2>
[0119]比较例2中，使用所述专利文献2表示的那样的I字形状的防尘薄膜组件框架。首先，与所述实施例完全相同，机械切削加工制作外尺寸149x115mm，高度3.2mm的防尘薄膜组件框架。该防尘薄膜组件框架的截面形状为，从高度3.2mm,幅度1.9mm的矩形的两侧面，在中央部去除高度2.2_，幅度0.6_的矩形的I字形状，其上边部以及下边部的厚度为
0.5mm，中央部的幅度为0.7mm。
[0120]在该比较例2中，内面侧的加工后，外面侧的加工后以及氧化膜处理后，确认到防尘薄膜组件框架全体扭曲，在定盘上边适宜地对平面度进行修正边进行加工。然后，完成后，对该防尘薄膜组件框架的光掩模粘着面侧的平面度进行确认，为20 μπι。
[0121]然后，使用该防尘薄膜组件框架，用与所述实施例完全相同的工序制作防尘薄膜组件，同时，将与所述比较例1完全的工程和条件进行向光掩模的贴附，评价，完成的防尘薄膜组件的光掩模粘着剂层，与所述实施例相同，其厚度0.5_，平面度65 μ m，与防尘薄膜组件框架单独时的20 μ m相比大幅度变差。
[0122]因此，对其原因进行了调查，得知在工序内的作业以及将光掩模粘着剂层在130°C加热硬化时，发生了变形。由于防尘薄膜组件完成后的平面度的修正不可能，所以原封不动地将其向光掩模贴附。
[0123]向光掩模接着后，从光掩模的里面对光掩模粘着剂层的接着状态进行目视确认，得知达到了具有大概均一的接着幅度的接着。但是，对具有该防尘薄膜组件光掩模基板的平面度进行了确认，得知，对光掩模单独的值为0.3 μ m，本比较例为0.36 μ m，与实施例的
0.32 μ m相比，差。
【主权项】
1.一种防尘薄膜组件框架，具有框状的防尘薄膜组件框架本体，其特征在于:从与所述防尘薄膜组件框架本体的防尘薄膜被绷紧设置的面的相反的面，沿着所述防尘薄膜组件框架本体的内面延伸的，具有所述防尘薄膜组件框架本体的幅度的5?30%的厚度的垂直伸出部以及从所述垂直伸出部的终端向着外侧以与防尘薄膜被绷紧设置的面相平行地延伸的厚度为0.3?1mm的水平伸出部。2.权利要求1所述的防尘薄膜组件框架，其特征在于:所述防尘薄膜组件框架本体的内面、沿着该内面延伸的垂直伸出部以及所述平行伸出部的各面，分别与所述防尘薄膜组件框架本体的防尘薄膜被绷紧设置的面垂直。3.权利要求1或者2所述的防尘薄膜组件框架，其特征在于:所述水平伸出部和所述防尘薄膜组件框架本体的下侧的面的间隙为0.3?3_的范围。4.权利要求1?3的任一项所述防尘薄膜组件框架，其特征在于:所述的垂直伸出部以及所述水平伸出部，与防尘薄膜组件框架本体连成一体来构成。5.一种防尘薄膜组件，其特征在于:具有防尘薄膜组件权利要求1?4的任一项所述的防尘薄膜组件框架，所述水平伸出部的面上，设置有光掩模粘着剂层。6.权利要求5所述的防尘薄膜组件，其特征在于:所述光掩模粘着剂层的平面度为1 ?30 μ m07.权利要求5或者6所述的防尘薄膜组件，其特征在于:所述水平伸出部和所述防尘薄膜组件框架本体之间的所述间隙中插入有加压装置，该加压装置对所述水平伸出部加压，使其贴附于光掩模。
【专利摘要】本发明的目的一种在制造以及处理容易的同时，使装着后的光掩模变形极小的防尘薄膜组件框架以及防尘薄膜组件。本发明的防尘薄膜组件框架，具有框状的防尘薄膜组件框架本体和从与该防尘薄膜组件框架本体的防尘薄膜绷紧设置的面的相对面沿着防尘薄膜组件框架本体的内面，以具有防尘薄膜组件框架本体的幅度的5～30％的厚度垂直伸出的垂直伸出部，另外，从所述垂直伸出部的终端向着外侧，以与防尘薄膜绷紧设置的面相平行地伸出的厚度为0.3～1mm的水平伸出部。
【IPC分类】G03F1/64, G03F1/62
【公开号】CN105446073
【申请号】CN201510594528
【发明人】関原一敏
【申请人】信越化学工业株式会社
【公开日】2016年3月30日
【申请日】2015年9月17日
【公告号】EP2998792A2, EP2998792A3, US20160085147