一种ldi双工件曝光装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及LDI光刻机领域，特别是一种用于曝光PCB板的双工件台装置及其曝光方法。
【背景技术】
[0002]随着PCB产业的迅速发展，单工件台的曝光机已不能满足生产的需要，更快，更高产能的双工件台曝光机应运而生。然而双工件台曝光机在带来高效生产的同时，也埋下了安全事故的隐患。
[0003]双工件台曝光机，就是在一个机器上放置两件工件台，将曝光工序与放板工序在两个工件台上分开，但在单个工件台上又连续，利用其中一个工件台曝光的时间空档，给另一个工件台放板，如此循环罔替，从而减少时间浪费，提高工作效率，提升产能。
【实用新型内容】
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种LDI双工件曝光装置，其特征在于，包括第一保护门、第二保护门、第一工件台与第二工件台；
[0005]所述第一工件台、第二工件台分别用于固定待曝光的PCB板，所述第一工件台、第二工件台分别具有一移动行程，所述第一工件台、第二工件台在自身的移动行程范围内对所述PCB板进行曝光；
[0006]所述第一保护门、第二保护门分别设于所述第一工件台、第二工件台的上侧并将所述第一工件台、第二工件台的曝光区域遮盖，所述第一保护门、第二保护门分别平行且处于不同平面，所述第一保护门、第二保护门可沿自身所在平面位移至所述第二工件台、第一工件台的上侧。
[0007]较佳地，其还包括设于所述第一保护门、第二保护门之间的保护挡板，所述保护挡板与所述第一保护门、第二保护门垂直，所述保护挡板用于间隔所述第一工件台、第二工件台。
[0008]较佳地，所述第一工件台与第二工件台上分别设有吸盘，所述吸盘用于吸附PCB板。
[0009]较佳地，还包括导轨组件，所述第一保护门、第二保护门与所述导轨组件连接，并在所述导轨组件上滑动完成位移。
[0010]较佳地，所述第一工件台与第二工件台与所述导轨组件连接，并在所述导轨组件上滑动完成位移。
[0011 ] 较佳地，还包括驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述第一保护门、第二保护门、第一工件台、第二工件台在所述导轨组件上移动。
[0012]本实用新型具有以下有益效果:
[0013]本实用新型提供的单扇保护门宽度大于单个工件台的行程范围，即每个工件台连同其搭载的吸盘只会在相应的门宽范围内运动，使得操作者在放PCB板的过程中，因为有门的阻挡，手不会移动到另一侧工件台的移动区域，从而避免了手被运动中的工件台触碰撞伤，大大降低了安全事故隐患的发生概率；同时本实用新型还通过保护挡板将两工作台隔开，可阻挡操作人员的手误入曝光区域一侧，被运动中的吸盘撞到。
[0014]当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
【附图说明】
[0015]为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本实用新型实施例提供的LDI双工件曝光装置结构示意图；
[0017]图2为本实用新型实施例提供的第一工件台曝光时保护门状态示意图；
[0018]图3为本实用新型实施例提供的第二工件台曝光时保护门状态示意图；
[0019]图4为本实用新型实施例提供的LDI双工件曝光装置剖视图。
【具体实施方式】
[0020]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0021]本实用新型实施例提供了一种LDI双工件曝光装置，如图1与图2所示，其包括第一保护门1、第二保护门2、第一工件台3与第二工件台4 ;
[0022]第一工件台3、第二工件台4分别用于固定待曝光的PCB板，第一工件台3、第二工件台4分别具有一移动行程，第一工件台3、第二工件台4在自身的移动行程范围内对所述PCB板进彳丁曝光；
[0023]第一保护门1、第二保护门2分别设于第一工件台3、第二工件台4的上侧并将第一工件台3、第二工件台4的曝光区域遮盖，第一保护门1、第二保护门2分别平行且处于不同平面，第一保护门1、第二保护门2可沿自身所在平面位移至第二工件台4、第一工件台3的上侧。
[0024]本实施例提供的LDI双工件曝光装置还包括设于第一保护门1、第二保护门2之间的保护挡板5，保护挡板5与第一保护门1、第二保护门2垂直，保护挡板5用于间隔第一工件台3、第二工件台4。本实用新型还通过保护挡板将第一工件台3、第二工件台4隔开，可阻挡操作人员的手误入曝光区域一侧，被运动中的吸盘撞到。
[0025]本实施例中第一工件台3与第二工件台4分别通过在设置的第一吸盘8与第二吸盘9来固定PCB板。当然本实用新型也可以采用其他的固定结构对PCB板固定，本实施例仅举一较佳的实施方式进行说明。
[0026]本实施例还设置有导轨组件，第一保护门1、第二保护门2与所述导轨组件连接，并在所述导轨组件上滑动完成位移，第一工件台3与第二工件台4与所述导轨组件连接，并在所述导轨组件上滑动完成位移。本实施例提供的导轨组件包括第一导轨6与第二导轨7，第一保护门1、第一工件台3在第一导轨6上位移，第二保护门2.、第二工件台4在第二导轨7上位移，这里导轨组件并不是唯一可以实现工件台与保护门的位移方式，本实施例仅举例说明。
[0027]本实施例通过驱动组件来驱动第一保护门1、第二保护门2、第一工件台3、第二工件台4在所述导轨组件上的移动。驱动组件可以通过控制器进行控制，控制器内可预设软件对第一保护门1、第二保护门2、第一工件台3、第二工件台4的运行进行控制。
[0028]本实施例提供的LDI双工件曝光装置的曝光方法，其包括以下步骤:
[0029]S1:控制所述第一保护门、第二保护门移动至所述第一工件台上侧；
[0030]S2:将PCB板放置在所述第二工件台的吸盘上，开启真空吸附将所述PCB板固定在所述第二工件台上；
[0031 ] S3:控制所述第一保护门、第二保护门位移至所述第二工件台上侧，此时保护门的状态如图3所示；
[0032]S4:对所述第二工件台上的PCB板进行曝光，在曝光的过程中在所述第一工件台的吸盘上放置PCB板；
[0033]S5:曝光结束后控制所述第一保护门、第二保护门位移至所述第一工件台上侧，此时保护门的状态如图4所示；
[0034]S6:对所述第一工件台上的PCB板进行曝光，在曝光的过程中将所述第二工件台上已曝光的PCB板取下，重新放置一未曝光的PCB板；
[0035]S7:曝光结束后控制所述第一保护门、第二保护门位移至所述第二工件台上侧，并将所述第一工件台上的已曝光的PCB板取下；
[0036]S8:执行步骤S4至S7，直至完成所有PCB板的曝光，控制所述第一安全门与第二安全门位移至所述第一工件台与第二工作台的上侧。
[0037]本实用新型提供的单扇保护门宽度大于单个工件台的行程范围，即每个工件台连同其搭载的吸盘只会在相应的门宽范围内运动，使得操作者在放PCB板的过程中，因为有门的阻挡，手不会移动到另一侧工件台的移动区域，从而避免了手被运动中的工件台触碰撞伤，大大降低了安全事故隐患的发生概率；同时本实用新型还通过保护挡板将两工作台隔开，可阻挡操作人员的手误入曝光区域一侧，被运动中的吸盘撞到。
[0038]以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的【具体实施方式】。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
【主权项】
1.一种LDI双工件曝光装置，其特征在于，包括第一保护门、第二保护门、第一工件台与第二工件台； 所述第一工件台、第二工件台分别用于固定待曝光的PCB板，所述第一工件台、第二工件台分别具有一移动行程，所述第一工件台、第二工件台在自身的移动行程范围内对所述PCB板进行曝光； 所述第一保护门、第二保护门分别设于所述第一工件台、第二工件台的上侧并将所述第一工件台、第二工件台的曝光区域遮盖，所述第一保护门、第二保护门分别平行且处于不同平面，所述第一保护门、第二保护门可沿自身所在平面位移至所述第二工件台、第一工件台的上侧。2.如权利要求1所述的LDI双工件曝光装置，其特征在于，其还包括设于所述第一保护门、第二保护门之间的保护挡板，所述保护挡板与所述第一保护门、第二保护门垂直，所述保护挡板用于间隔所述第一工件台、第二工件台。3.如权利要求1或2所述的LDI双工件曝光装置，其特征在于，所述第一工件台与第二工件台上分别设有吸盘，所述吸盘用于吸附PCB板。4.如权利要求3所述的LDI双工件曝光装置，其特征在于，还包括导轨组件，所述第一保护门、第二保护门与所述导轨组件连接，并在所述导轨组件上滑动完成位移。5.如权利要求3所述的LDI双工件曝光装置，其特征在于，所述第一工件台与第二工件台与所述导轨组件连接，并在所述导轨组件上滑动完成位移。6.如权利要求5所述的LDI双工件曝光装置，其特征在于，还包括驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述第一保护门、第二保护门、第一工件台、第二工件台在所述导轨组件上移动。
【专利摘要】本实用新型提供了一种LDI双工件曝光装置，其包括第一保护门、第二保护门、第一工件台与第二工件台；所述第一工件台、第二工件台分别用于固定待曝光的PCB板，所述第一工件台、第二工件台在自身的移动行程范围内对PCB板进行曝光；所述第一保护门、第二保护门分别设于所述第一工件台、第二工件台的上侧，所述第一保护门、第二保护门分别平行且处于不同平面，所述第一保护门、第二保护门可沿自身所在平面位移至所述第二工件台、第一工件台的上侧。本实用新型提供的曝光装置通过设置安全门，避免操作人员触碰到运动中的工件台；还通过保护挡板将工件台隔开，可阻挡操作人员的手误入曝光区域一侧，被运动的吸盘撞到。
【IPC分类】G03F7/20
【公开号】CN205028025
【申请号】CN201520536036
【发明人】张磊, 王晓光, 卫功文
【申请人】合肥芯硕半导体有限公司
【公开日】2016年2月10日
【申请日】2015年7月21日