显示器件的对位检测设备及曝光工艺系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供的显示器件的对位检测设备及曝光工艺系统，其包括用于承载显示器件的承载架、控制装置、检测装置和分析装置，其中，控制装置用于在承载架处于工艺间的空闲时间时，根据预先存储的显示器件的对中位置的坐标信息，向检测装置发送控制指令。检测装置用于根据控制装置的控制指令移动至承载架上显示器件的对中位置，并采集该位置的图像，且将图像发送至分析装置。分析装置用于判断显示器件的对中情况。本实用新型提供的显示器件的对位检测设备，其无需测量显示器件的关键尺寸就可以判断显示器件的对中情况，从而可以提高检测效率，从而可以实现对全部的显示器件进行检测，进而可以提高产品质量。
【专利说明】
显示器件的对位检测设备及曝光工艺系统
技术领域
[0001]本实用新型涉及显示器件加工技术领域，具体地，涉及一种显示器件的对位检测设备及曝光工艺系统。
【背景技术】
[0002]在显示器件的制作过程中，通常需要将多层膜材依次贴合在玻璃基板上，同时需要对各个膜材相对于第一层金属膜材(沉积在玻璃基板上的第一层膜层)进行对位，各个膜材之间的对位(Overlay)精度体现了各个膜材之间对位匹配的好坏。
[0003]检测各个膜材之间的对位精度的具体方法为:在第一层金属膜材制备完成后，在第一层金属膜材上贴附各层膜对中的基准标记(例如方框型)，通过检测之后的每一层膜材的边框和该基准标记对位的情况，来判断各个膜材之间的对位精度是否合格。
[0004]在进行上述对位精度进行检测的过程中，需要通过测量膜材和第一层金属膜材的关键尺寸来反馈膜材与基准标记的重合情况，由于测量该关键尺寸的耗时较长，因而无法对全部的显示器件的对中情况进行检测，而只能采用抽测的方式进行检测，从而无法保证所有的显示器件的对中精度100 %合格，进而对产品质量带来影响。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种显示器件的对位检测设备及曝光工艺系统，其无需测量显示器件的关键尺寸就可以判断显示器件的对中情况，从而可以提高检测效率，从而可以实现对全部的显示器件进行检测，进而可以提高产品质量。
[0006]为实现本实用新型的目的而提供一种显示器件的对位检测设备，包括用于承载所述显示器件的承载架，还包括控制装置、检测装置和分析装置，其中，所述控制装置用于在所述承载架处于工艺间的空闲时间时，根据预先存储的所述显示器件的对中位置的坐标信息，向所述检测装置发送控制指令;所述检测装置用于根据所述控制装置的控制指令移动至所述承载架上所述显示器件的对中位置，并采集该位置的图像，且将所述图像发送至所述分析装置;所述分析装置用于分析处理所述显示器件的对中情况。
[0007]所述分析装置用于显示所述图像，以供人肉眼判断所述显示器件的对中情况;或者，所述分析装置用于将所述图像与所述显示器件的对中标准图像进行比较，并根据比较结果判断所述显示器件的对中情况。
[0008]优选的，所述分析装置用于将所述图像与所述显示器件的对中标准图像进行比较，并根据比较结果判断所述显示器件的对中情况;所述对位检测设备还包括报警装置，用于在判断所述显示器件的对中不合格时，进行报警。
[0009]优选的，所述检测装置包括照相机、机械臂和驱动机构，其中，所述照相机安装在所述机械臂上，用于采集所述图像;所述驱动机构用于驱动所述机械臂运动，以使所述照相机移动至所述承载架上方、所述显示器件的对中位置。
[0010]优选的，所述照相机包括自动对焦装置，用于根据环境光线及所述照相机与所述显示器件之间的距离自动对焦。
[0011]优选的，所述承载架包括沿竖直方向间隔设置的多层托盘，每层托盘用于承载多个所述显示器件;所述驱动机构包括竖直驱动组件和水平驱动组件，其中，所述竖直驱动组件用于驱动所述水平驱动组件及所述机械臂同步竖直移动至与任意相邻两层托盘之间的间隙相对应的高度;所述水平驱动组件用于在所述水平驱动组件及所述机械臂位于与任意相邻两层托盘之间的间隙相对应的高度时，驱动所述机械臂水平运动至该间隙中、所述显示器件的对中位置。
[0012]优选的，所述水平驱动组件驱动所述机械臂采用旋入或旋出的方式运动;或者，所述水平驱动组件驱动所述机械臂采用伸出或回缩的方式运动。
[0013]优选的，所述驱动机构还包括旋转机构，所述旋转机构安装在所述水平驱动组件上，用以驱动所述机械臂在水平面内旋转。
[0014]优选的，所述工艺间的空闲时间为在完成曝光工艺之后，且在进行刻蚀工艺之前，所述承载架的运输途中或者等待工艺期间。
[0015]作为另一个技术方案，本实用新型还提供一种曝光工艺系统，包括曝光单元和烘干单元，其中，所述曝光单元用于对所述显示器件进行曝光工艺;所述烘干单元用于对完成曝光的所述显示器件进行烘干，还包括对位检测设备，所述对位检测设备采用了本实用新型提供的上述显示器件的对位检测设备，用于对完成烘干的所述显示器件的对中情况进行检测。
[0016]本实用新型具有以下有益效果:
[0017]本实用新型提供的显示器件的对位检测设备，其利用控制装置在承载架处于工艺间的空闲时间时，根据显示器件的对中位置的坐标信息向检测装置发送控制指令，并利用检测装置根据控制装置的控制指令移动至承载架上显示器件的对中位置，并采集该位置的图像，且将图像发送至分析装置。通过分析装置判断显示器件的对中情况，可以无需测量显示器件的关键尺寸，从而可以提高检测效率，进而可以实现对全部的显示器件进行检测，提尚监控力度，从而可以提尚广品质量。
[0018]本实用新型提供的曝光工艺系统，其通过采用本实用新型提供的显示器件的对位检测设备，可以提高检测效率，从而可以实现对全部的显示器件进行检测，提高监控力度，进而可以提尚广品质量。
【附图说明】
[0019]图1为本实用新型实施例提供的显示器件的对位检测设备的结构示意图；
[0020]图2为本实用新型实施例中显示器件的对中位置的示意图；
[0021]图3为本实用新型实施例提供的显示器件的对位检测设备在工作时的结构示意图；以及
[0022]图4为本实用新型提供的曝光工艺系统的原理框图。
【具体实施方式】
[0023]为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图来对本实用新型提供的显示器件的对位检测设备及曝光工艺系统进行详细描述。
[0024]图1为本实用新型实施例提供的显示器件的对位检测设备的结构示意图。请参阅图1，显示器件的对位检测设备，其用于在显示器件的制造过程中，对各个膜材之间的对位精度进行检测。通常，在玻璃基板上完成第一层金属膜材的制备之后，在第一层金属膜材上设置有基准标记(例如方框型)，然后，通过检测之后的每一层膜材的边框与该基准标记的重合情况，来判断各个膜材之间的对位精度是否合格。本实用新型提供的对位检测设备，其通过获得各个膜材之间的对中位置的图像(例如照片或者摄像截图)，即，第一层金属膜材上的基准标记与膜材的边框所在位置处的图像，可以直观地判断出膜材的边框与该基准标记是否重合，而无需测量显示器件的关键尺寸，从而可以提高检测效率，进而可以实现对全部的显不器件进彳丁检测，提尚监控力度，从而可以提尚广品质量。
[0025]具体地，对位检测设备包括用于承载显示器件的承载架4、控制装置1、检测装置2和分析装置3。其中，控制装置I用于在承载架4处于工艺间的空闲时间时，根据预先存储的显示器件的对中位置的坐标信息向检测装置2发送控制指令。图2为本实用新型实施例中显示器件的对中位置的示意图。如图2所示，显示器件的对中位置是指能够在同一视野中显示膜材的边框C与基准标记B(第一层金属膜材的边框)所在区域，例如图2中的区域A。对中位置的坐标信息是在膜材的边框与基准标记所在区域内选取某一点用作坐标点，该坐标点在承载架4上的坐标信息即为对中位置的坐标信息。例如，可以是基准标记图案的中心点作为坐标点，该坐标点的坐标信息被预先存储在控制装置I中，该控制装置I根据该坐标信息进行编辑，而获得检测装置2的移动程序，并向检测装置2发送控制指令。控制装置I可以是诸如计算机、PLC等的微处理器。
[0026]检测装置2用于根据控制装置I的控制指令移动至承载架4上显示器件的对中位置，并采集该位置的图像，且将图像发送至分析装置3。这里的图像，是指能够显示基准标记与膜材的边框所在区域的照片或者摄像截图，从而照片或者摄像截图中可以判断出基准标记与膜材的边框之间的相对位置情况，并以此判断各个膜材之间的对位精度是否合格。例如，如图2所示，区域A即为显示器件的对中位置，在该区域A中，边框C相邻的两个侧边分别和对应的基准标记B相邻的两个侧边相互平行，且存在一定的间距，即间距Hl和间距H2，两个间距越小，则膜材与第一层金属膜材的重合度越高;反之，两个间距越大，则膜材与第一层金属膜材的重合度越低。基于此，通过分别判断间距Hl和间距H2是否在预设阈值内，来判断膜材的对位精度是否合格。
[0027]在本实施例中，分析装置3用于显示图像，以供人肉眼判断显示器件的对中情况，该分析装置3可以为诸如计算机、显示屏等具有显示功能的设备，操作人员通过观察图像所显示的各个膜材之间的对中情况，可以直观地判断出该显示器件的对位精度是否合格，然后及时地将不合格的显示器件及时返工处理，将合格的显示器件正常下放进行后续工艺。由于上述检测单个显示器件的对中情况的效率较高，耗时较短，因而可以实现对全部的显示器件进行检测，提高了监控力度，有效地控制与对位精度相关的不良情况发生，从而可以提尚广品质量。
[0028]上述分析装置3是通过显示图像来供人肉眼判断显示器件的对中情况，但是本实用新型并不局限于此，在实际应用中，分析装置3还可以为诸如计算机、PLC等的微处理器，在接收到由检测装置2发送而来的图像时，自动将该图像与显示器件的对中标准图像进行比较，并根据比较结果判断显示器件的对中情况。所谓显示器件的对中标准图像，是指各个膜材之间的对位精度合格的图像，该图像被预先存储在分析装置3中。分析装置3通过寻找待检测的图像与对中标准图像的中心点，来进行重合度匹配，并根据匹配结果判断显示器件的对中情况。优选的，对位检测设备还包括报警装置，用于在分析装置3判断显示器件的对中不合格时，进行报警。操作人员可以根据报警装置的提示及时地将相应的显示器件进行返工处理，而将未有报警提示的显示器件正常下放进行后续工艺。
[0029]下面对检测装置2的具体结构进行详细描述。具体地，如图1所示，检测装置2包括照相机21、机械臂22和驱动机构，其中，照相机21安装在机械臂22上，用于采集图像。优选的，为了使图像更清晰，照相机21包括自动对焦装置，用于根据环境光线及照相机21与显示器件之间的距离自动对焦。驱动机构用于驱动机械臂22运动，以使照相机21移动至承载架4上方、显示器件的对中位置。
[0030]承载架4可以通常承载有多个显示器件，图3为本实用新型实施例提供的显示器件的对位检测设备在工作时的结构示意图。请参阅图3，在本实施例中，承载架4包括沿竖直方向间隔设置的多层托盘，每层托盘用于承载多个显示器件。驱动机构包括竖直驱动组件23和水平驱动组件24，其中，竖直驱动组件23用于驱动水平驱动组件24及机械臂22同步竖直移动至与任意相邻两层托盘之间的间隙41相对应的高度。
[0031]水平驱动组件24用于在水平驱动组件24及机械臂22位于与任意相邻两层托盘之间的间隙41相对应的高度时，驱动机械臂22水平运动至该间隙41中、显示器件的对中位置。优选的，水平驱动组件24驱动机械臂22采用旋入或旋出的方式运动，即，机械臂22采用旋转运动的方式水平进出间隙41;或者，水平驱动组件24驱动机械臂22采用伸出或回缩的方式运动，即，机械臂22采用直线平移的方式水平进出间隙41。
[0032]在实际应用中，竖直驱动组件23具体可以包括第一电机和丝杠，第一电机用于驱动丝杠旋转。丝杠竖直设置，且在该丝杠上设置有滑动部件，该滑动部件用于在丝杠旋转时沿丝杠作直线运动。水平驱动组件24与上述滑动部件连接，在第一电机的驱动下，丝杠和滑动部件相互配合，以带动水平驱动组件24在竖直方向上作直线运动。水平驱动组件24具体可以包括第二电机和传动部件，其中，针对水平驱动组件24驱动机械臂22采用旋入或旋出的方式运动的情况，第二电机可以为旋转电机，该旋转电机通过传动部件驱动机械臂22在水平面内旋转。针对水平驱动组件24驱动机械臂22采用伸出或回缩的方式运动的情况，第二电机可以为直线电机，该直线电机通过传动部件驱动机械臂22水平伸出或回缩。
[0033]在本实施例中，照相机21包括两个，且两个照相机21间隔安装在机械臂22上，并且相邻两个照相机21之间的间隔与托盘上相邻两个显示器件之间的间隔一致，这样可以实现两个照相机21同时采集相应的两个显示器件的对中位置的图像，从而可以进一步提高检测效率。在这种情况下，优选的，驱动机构还包括旋转机构25，该旋转机构25安装在水平驱动组件24上，用以驱动机械臂22在水平面内旋转。借助旋转机构25，可以在两个照相机21在完成当前的两个显示器件的对中位置的图像采集之后，通过驱动机械臂22在水平面内旋转，而使两个照相机21旋转至与当前显示器件相邻的两个显示器件的对中位置处，并进行图像采集。也就是说，借助旋转机构25，可以在水平驱动组件24保持不动的前提下，对相应区域中的四个以上显示器件的对中位置进行图像采集，从而可以简化驱动机构的运动流程，进一步提1?检测效率D
[0034]优选的，工艺间的空闲时间为在完成曝光工艺之后，且在进行刻蚀工艺之前，承载架的运输途中或者等待工艺期间。由于曝光工艺具有可撤销的特点，即，使完成曝光工艺的显示器件恢复至进行曝光工艺之前的状态，因此，通过在完成曝光工艺之后，且在进行刻蚀工艺之前，对显示器件的对中情况进行检测，可以将不合格的显示器件恢复至进行曝光工艺之前的状态，然后重新将相应的膜层与基准标记进行对中，最终使显示器件的对位精度合格。
[0035]作为另一个技术方案，图4为本实用新型提供的曝光工艺系统的原理框图。请参阅图4，本实用新型还提供一种曝光工艺系统，其包括曝光单元100、烘干单元200和对位检测设备300，其中，曝光单元100用于对显示器件进行曝光工艺;烘干单元200用于对完成曝光的显示器件进行烘干，对位检测设备300采用了本实用新型提供的上述对位检测设备，用于对完成烘干的显示器件的对中情况进行检测。
[0036]由于曝光工艺具有可撤销的特点，S卩，使完成曝光工艺的显示器件恢复至进行曝光工艺之前的状态，因此，通过在完成曝光工艺之后，且在进行刻蚀工艺之前，利用对位检测设备300对显示器件的对中情况进行检测，可以将不合格的显示器件恢复至进行曝光工艺之前的状态，然后重新将相应的膜层与基准标记进行对中，最终使显示器件各膜层的对位精度合格，并进行后续工艺，显示器件的传输方向如图3中的箭头所示。
[0037]本实用新型提供的曝光工艺系统，其通过采用本实用新型提供的显示器件的对位检测设备，可以提高检测效率，从而可以实现对全部的显示器件进行检测，提高监控力度，进而可以提尚广品质量。
[0038]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种显示器件的对位检测设备，包括用于承载所述显示器件的承载架，其特征在于，还包括控制装置、检测装置和分析装置，其中， 所述控制装置用于在所述承载架处于工艺间的空闲时间时，根据预先存储的所述显示器件的对中位置的坐标信息，向所述检测装置发送控制指令； 所述检测装置用于根据所述控制装置的控制指令移动至所述承载架上所述显示器件的对中位置，并采集该位置的图像，且将所述图像发送至所述分析装置； 所述分析装置用于分析处理所述显示器件的对中情况。2.根据权利要求1所述的显示器件的对位检测设备，其特征在于，所述分析装置用于显示所述图像，以供人肉眼判断所述显示器件的对中情况;或者，所述分析装置用于将所述图像与所述显示器件的对中标准图像进行比较，并根据比较结果判断所述显示器件的对中情况。3.根据权利要求2所述的显示器件的对位检测设备，其特征在于，所述分析装置用于将所述图像与所述显示器件的对中标准图像进行比较，并根据比较结果判断所述显示器件的对中情况； 所述对位检测设备还包括报警装置，用于在判断所述显示器件的对中不合格时，进行报警。4.根据权利要求1所述的显示器件的对位检测设备，其特征在于，所述检测装置包括照相机、机械臂和驱动机构，其中， 所述照相机安装在所述机械臂上，用于采集所述图像； 所述驱动机构用于驱动所述机械臂运动，以使所述照相机移动至所述承载架上方、所述显示器件的对中位置。5.根据权利要求4所述的显示器件的对位检测设备，其特征在于，所述照相机包括自动对焦装置，用于根据环境光线及所述照相机与所述显示器件之间的距离自动对焦。6.根据权利要求4所述的显示器件的对位检测设备，其特征在于，所述承载架包括沿竖直方向间隔设置的多层托盘，每层托盘用于承载多个所述显示器件； 所述驱动机构包括竖直驱动组件和水平驱动组件，其中， 所述竖直驱动组件用于驱动所述水平驱动组件及所述机械臂同步竖直移动至与任意相邻两层托盘之间的间隙相对应的高度； 所述水平驱动组件用于在所述水平驱动组件及所述机械臂位于与任意相邻两层托盘之间的间隙相对应的高度时，驱动所述机械臂水平运动至该间隙中、所述显示器件的对中位置。7.根据权利要求6所述的显示器件的对位检测设备，其特征在于，所述水平驱动组件驱动所述机械臂采用旋入或旋出的方式运动;或者， 所述水平驱动组件驱动所述机械臂采用伸出或回缩的方式运动。8.根据权利要求6所述的显示器件的对位检测设备，其特征在于，所述驱动机构还包括旋转机构，所述旋转机构安装在所述水平驱动组件上，用以驱动所述机械臂在水平面内旋转。9.根据权利要求1所述的显示器件的对位检测设备，其特征在于，所述工艺间的空闲时间为在完成曝光工艺之后，且在进行刻蚀工艺之前，所述承载架的运输途中或者等待工艺期间。10.—种曝光工艺系统，包括曝光单元和烘干单元，其中，所述曝光单元用于对所述显示器件进行曝光工艺;所述烘干单元用于对完成曝光的所述显示器件进行烘干，其特征在于，还包括对位检测设备，所述对位检测设备采用权利要求1-9任意一项所述的显示器件的对位检测设备，用于对完成烘干的所述显示器件的对中情况进行检测。
【文档编号】G03F7/20GK205427436SQ201620226332
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2016年3月23日
【发明人】张磊, 代伍坤, 陈磊, 李嘉鹏, 董宜萍
【申请人】北京京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司