双工件台垂直曝光装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种双工件台垂直曝光装置，包括至少一组曝光单元、分光镜（3）、反射镜（4），以及两个用于固定工件的垂直工件台Ⅰ（5）和工件台Ⅱ（6）；所述曝光单元包括DMD微反射镜阵列（1）和成像透镜组（2）；所述分光镜（3）置于曝光单元之后、工件台之前；所述反射镜（4）置于分光镜（3）正下方。本双工件台垂直曝光装置取消了单工件台水平曝光的方式，取而代之的是垂直曝光双工件台，在不改变照明光路和曝光单元的基础上，加入分光镜及反光镜，增加工件台数量。本双工件台垂直曝光装置在节约成本的同时大幅度提高了曝光效率。
【专利说明】
双工件台垂直曝光装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种曝光装置，具体是一种双工件台垂直曝光装置。
【背景技术】
[0002]目前市场上主流的曝光机大多是单工件，水平放置曝光。曝光速度和曝光时间很难再有突破，导致效率低下。由于对曝光机高效率的要求，市场上都会通过提高曝光速度来减少曝光时间，这样就要提高光源的能量，由此不仅成本会大幅度提高，还会影响曝光结果O
【实用新型内容】
[0003]针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种双工件台垂直曝光装置，在不改变照明光路和曝光单元的基础上，加入分光镜及反光镜，增加工件台数量。本双工件台垂直曝光装置在节约成本的同时大幅度提高曝光效率。
[0004]为了实现上述目的，本双工件台垂直曝光装置包括至少一组曝光单元、分光镜、反射镜，以及两个用于固定工件的垂直工件台I和工件台Π ;
[0005]所述曝光单元包括DMD微反射镜阵列和成像透镜组；
[0006]所述分光镜置于曝光单元之后、工件台之前；
[0007]所述反射镜置于分光镜正下方。
[0008]进一步，所述分光镜为立体型分束镜，对曝光单元所用的紫外光波段呈50%反射，50%透射。
[0009]进一步，所述反射镜为45°直角三棱镜，对分光镜透射的50%紫外光全反。
[0010]进一步，所述工件台I和工件台Π分别位于所述分光镜和反射镜的正后方，对分光镜和反射镜出射的光进行曝光。
[0011]与现有技术相比，本双工件台垂直曝光装置取消了单工件台水平曝光的方式，取而代之的是垂直曝光双工件台，在不改变照明光路和曝光单元的基础上，加入分光镜及反光镜，增加工件台数量。本双工件台垂直曝光装置在节约成本的同时大幅度提高了曝光效率。
【附图说明】
[0012]图1是本实用新型的主体结构示意图；
[0013]图2是图1的侧视图；
[0014]图中:1、DMD微反射镜阵列，2、成像透镜组，3、分光镜，4、反射镜，5、工件台I，6、工件台Π。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本实用新型做进一步说明。
[0016]如图1和图2所示，本双工件台垂直曝光装置包括至少一组曝光单元、分光镜3、反射镜4，以及两个用于固定工件的垂直工件台15和工件台Π 6;
[0017]所述曝光单元包括DMD微反射镜阵列I和成像透镜组2;
[0018]所述分光镜3置于曝光单元之后、工件台之前；
[0019]所述反射镜4置于分光镜3正下方。
[0020]进一步，所述分光镜3为立体型分束镜，对曝光单元所用的紫外光波段呈50%反射，50%透射。
[0021]进一步，所述反射镜4为45°直角三棱镜，对分光镜3透射的50%紫外光全反。
[0022]进一步，所述工件台15和工件台Π6分别位于所述分光镜3和反射镜4的正后方，对分光镜3和反射镜4出射的光进行曝光。
[0023]本双工件台垂直曝光装置的工作原理如下:
[0024]使用DMD微反射镜阵列I进行翻转，形成曝光图像，通过成像透镜组2的成像作用，将DMD微反射镜阵列I的像成在相应位置，在成像透镜组2的出光口与所述DMD的像之间放置分光镜3与反射镜4，使所述DMD的像发生转折，经分光镜3—半成在工件台15上的工件上，另一半经反射镜4成在工件台Π6上的工件上，工件台15和工件台Π6上的工件同时曝光相同的图像。
[0025]综上所述，本双工件台垂直曝光装置取消了单工件台水平曝光的方式，取而代之的是垂直曝光双工件台，在不改变照明光路和曝光单元的基础上，加入分光镜及反光镜，增加工件台数量。本双工件台垂直曝光装置在节约成本的同时大幅度提高了曝光效率。
【主权项】
1.一种双工件台垂直曝光装置，其特征在于， 包括至少一组曝光单元、分光镜(3)、反射镜(4)，以及两个用于固定工件的垂直工件台1(5)和工件台Π (6); 所述曝光单元包括DMD微反射镜阵列(I)和成像透镜组(2); 所述分光镜(3)置于曝光单元之后、工件台之前； 所述反射镜(4)置于分光镜(3)正下方。2.根据权利要求1所述的一种双工件台垂直曝光装置，其特征在于， 所述分光镜(3)为立体型分束镜，对曝光单元所用的紫外光波段呈50%反射，50%透射。3.根据权利要求1所述的一种双工件台垂直曝光装置，其特征在于， 所述反射镜(4)为45°直角三棱镜，对分光镜(3 )透射的50%紫外光全反。4.根据权利要求1所述的一种双工件台垂直曝光装置，其特征在于， 所述工件台1(5)和工件台Π (6)分别位于所述分光镜(3)和反射镜(4)的正后方，对分光镜(3)和反射镜(4)出射的光进行曝光。
【文档编号】G03F7/20GK205539932SQ201620208339
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年3月18日
【发明人】平洁
【申请人】江苏影速光电技术有限公司