一种新型场发射阴极的制作方法

文档序号:2936229阅读:348来源:国知局
专利名称:一种新型场发射阴极的制作方法
技术领域
本发明涉及一种新型场发射阴极。
背景技术
随着科技的发展和进步,场发射显示技术得到了极大关注,尤其是场发射阴极的结构和性能成为研究的热点,虽然目前市场上的场发射阴极种类繁多,但是目前的场发射阴极还存在着各种缺点和不足。因此,寻找一种制备工艺简单、成本低廉、性能良好的场发射阴极成为亟需解决的问题。

发明内容
本发明提供一种新型场发射阴极,该场发射阴极包括基板、设置在基板上的氧化锌纳米线阵列。有益效果本发明制备的氧化锌纳米线阵列经过光谱分析,显示纳米结构有序,而且该方法工艺要求简单,制造成本低。
具体实施例方式下面结合具体实施例,进一步阐述本发明。应理解,这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。此外应理解,在阅读了本发明讲授的内容之后,本领域技术人员可以对本发明作各种改动或修改,这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。实施例1该基板为普通玻璃,在玻璃基板上形成Zn材料薄膜,对Zn材料薄膜进行热处理后冷却从而形成场发射阴极。实施例2 该基板为二氧化硅基板,在二氧化硅基板上形成Zn材料薄膜,对Zn材料薄膜进行热处理后冷却从而形成场 发射阴极。实施例3该基板为硅基板,在硅基板上形成Zn材料薄膜,对Zn材料薄膜进行热处理后冷却从而形成场发射阴极。
权利要求
1.一种新型场发射阴极,其包括基板,在基板上形成Zn材料薄膜,对Zn材料薄膜进行热处理后冷却从而形成场发射阴极。
2.如权利要求1所述的阴极,其中,基板为普通玻璃、二氧化硅基板、硅基板。
全文摘要
本发明提供一种新型场发射阴极,其包括基板,在基板上形成Zn材料薄膜,对Zn材料薄膜进行热处理后冷却从而形成场发射阴极。其中,基板为普通玻璃、二氧化硅基板、硅基板。
文档编号H01J29/04GK103065915SQ201210583060
公开日2013年4月24日 申请日期2012年12月27日 优先权日2012年12月27日
发明者李岗, 国欣鑫, 张晓辉 申请人:青岛艾德森能源科技有限公司
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