具有自主管理功能的远程等离子体系统及其自主管理方法
【专利摘要】本发明的具有自主管理功能的远程等离子体系统，从远程等离子体发生器中产生的等离子体供应给工艺腔室的过程中，可实时确认远程等离子体发生器的运行状态信息及在工艺腔室内的等离子体处理工艺进行状态信息。由此，流程管理人员可实时掌握远程等离子体系统的运行状态，在发生非正常运行的情况下，可立即采取应对措施。此外，流程管理人员可在需要维护系统时，实时掌握相关信息，以提高维护效率。
【专利说明】具有自主管理功能的远程等离子体系统及其自主管理方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及等离子体处理系统，具体而言，涉及远程等离子体系统，将通过远程等离子体发生器产生的等离子体以远程方式得到供应后，在工艺腔室内执行等离子体的处理流程。
【背景技术】
[0002]等离子体放电用于产生包含离子、自由基、原子及分子的活性气体的气体激励。活性气体在很多领域中应用广泛，最具代表性的例子是半导体制造工程的蚀刻(etching)、蒸镀、清洗、抛光等。
[0003]远程等离子体发生器是用于在工艺腔室外部产生等离子体以远程方式供应给工艺腔室的一种装置。利用远程等离子体发生器的最具代表性的半导体制造工程例如有清洗工艺腔室内部的清洗流程，以及删除蒸镀于被处理基板的光阻层的抛光流程等。除此之外，也用于其它半导体制造工程。
[0004]就半导体制造工程而言，工程设备的维护效率是在生产率和费用方面极为重要的因素之一。就工程设备的维护而言，通常预先计算正常运行的设备使用时间，在其使用时间超过一定时间时，进行定期维修。远程等离子体发生器的使用时间超过一定时间时，也需要更换陈旧零件或更换整个设备等的维修。有时，因为个别原因也需要进行维修。例如，基板处理流程结束后，在其处理结果发生问题时，会意识到需要维修设备。
[0005]然而，在发现处理错误，才意识到需要维修设备时，会导致生产率下降，并产生不必要的生产费用。另外，在使用一定时间后，对设备进行定期维修时，若设备可以正常运行，也会产生不必要的费用。因此优选通过实时掌握设备的运行状态，事先预测设备的维修时期，在流程发生问题前，采取应对措施。
[0006]将从远程等离子体发生器中产生的等离子体供应给工艺腔室，并进行等离子体处理流程时，需要对远程等离子体发生器的运行状态和等离子体的处理流程进行适当的监控。然而，至今为止，远程等离子体发生器无法对其设备状态和流程进行状态提供适当的提示信息。因此很难在恰当的时机适时进行维修。因此，在与工艺腔室连接的远程等离子体发生器运行时，通过实时监控远程等离子体发生器的运行状态及等离子体处理流程，实时发现在流程过程中所发生的问题，流程管理者对此及时采取应对措施是极为重要的。
【发明内容】
[0007](一)要解决的技术问题
[0008]本发明的目的在于提供一种具有自主管理功能的远程等离子体系统及其自主管理方法(REMOTE PLASMA SYSTEM HAVING SELF-MANAGEMEN T FUNCT1N AND SELFMANAGEMENT METHOD OF THE SAME)，通过实时确认远程等离子体发生器的运行状态信息，从而可及时检测并判断远程等离子体发生器是否正常运行以及运行中是否发生异常。
[0009]本发明的另一个目的在于提供一种具有自主管理功能的远程等离子体系统及其自主管理方法，将从远程等离子体发生器中发生的等离子体供应给工艺腔室的过程中，可实时确认远程等离子体发生器的运行状态信息及在工艺腔室内的等离子体处理工艺进行状态信息。
[0010](二)技术方案
[0011]为完成上述技术课题，本发明一方面涉及具有自主管理功能的远程等离子体系统。本发明的远程等离子体系统包括:远程等离子体发生器，产生等离子体，以远程方式供应给工艺腔室；传感器部，包括一个以上的电压测量传感器，该电压测量传感器用于测量在上述远程等离子体发生器的发生器主体感应的电压；以及控制部，根据上述一个以上的电压传感器测量的电压值，生成上述远程等离子体发生器的运行状态信息。
[0012]基于一实施例，上述传感器部包括一个以上的电流测量传感器，该电流测量传感器用于测量通过上述远程等离子体发生器的发生器主体所泄露的电流，上述控制部根据上述电流测量传感器所测量的泄露电流测量值，生成另一个运行状态信息。
[0013]基于一实施例，上述传感器部包括变流器，该变流器安装于上述远程等离子体发生器的气体出口周边，上述控制部根据通过上述变流器所测量的电流测量值，生成另一个运行状态信息。
[0014]基于一实施例，上述传感器部包括等离子体测量传感器，该等离子体测量传感器测量在上述远程等离子体发生器的发生器主体内所产生的等离子体，上述控制部根据通过上述等离子体测量传感器所测量的等离子体测量值，生成上述远程等离子体发生器的另一个运行状态信息。
[0015]基于一实施例，上述传感器部包括等离子体测量传感器，该等离子体测量传感器测量流入工艺腔室内部的等离子体状态，上述控制部根据通过上述等离子体测量传感器所测量的等离子体测量值，生成上述工艺腔室内部的工艺进行状态信息。
[0016]基于一实施例，上述传感器部包括等离子体测量传感器，该等离子体测量传感器测量从上述工艺腔室排出的排气的等离子体状态，上述控制部根据通过上述等离子体测量传感器所测量的等离子体测量值，生成上述工艺腔室内部的工艺进行状态信息。
[0017]基于一实施例，上述远程等离子体发生器包括:发生器主体，具有等离子体放电空间；变压器，具有磁芯和卷绕于磁芯的初级线圈，该磁芯设置于上述发生器主体，以提供用于在上述发生器主体的等离子体放电空间形成等离子体的起电力；以及电源，向上述变压器的初级线圈供给驱动电力。
[0018]基于一实施例，包括电容稱合电极，该电容稱合电极设置于上述发生器主体，，以提供用于在上述发生器主体的等离子体放电空间形成等离子体的起电力，并由上述电源提供驱动电力来运行。
[0019]基于一实施例，包括感应天线线圈，该感应天线线圈设置于上述发生器主体，以提供用于在上述发生器主体的等离子体放电空间形成等离子体的起电力，并由上述电源提供驱动电力来运行。
[0020]基于一实施例，上述远程等离子体发生器的发生器主体包括具有以一个以上的绝缘区间划分的两个以上分离区域的金属发生器主体，上述电压测量传感器包括在上述发生器主体的两个以上分离区域各自安装的两个以上的电压测量传感器。
[0021]基于一实施例，上述远程等离子体发生器包括等离子体放电空间及具有以一个以上的绝缘区间划分的两个以上分离区域的金属发生器主体，上述电流测量传感器包括在上述发生器主体的两个以上分离区域各自安装的两个以上的电流测量传感器。
[0022]本发明的另一方面提供一种具有自主管理功能的远程等离子体系统的自主管理方法。本发明的另一方面涉及远程等离子体系统的自主管理方法包括:开始运行远程等离子体发生器的阶段；通过包括一个以上的电压测量传感器的传感器部来测量在上述远程等离子体发生器的发生器主体上感应的电压的阶段；以及根据在上述传感器部测量的上述远程等离子体发生器的发生器主体上所感应的电压测量值，生成上述远程等离子体发生器的运行状态信息的阶段。
[0023]基于一实施例，上述传感器部包括电流测量传感器，该电流测量传感器测量通过上述远程等离子体发生器的发生器主体所泄露电流的电流测量传感器，上述自主管理方法包括根据上述电流测量传感器所测量的泄露电流测量值，生成另一个运行状态信息的阶段。
[0024]基于一实施例，上述传感器部包括变流器，该变流器安装于上述远程等离子体发生器的气体出口周边，上述自主管理方法包括根据通过上述变流器所测量的测量值，生成另一个运行状态信息的阶段。
[0025]基于一实施例，上述传感器部包括等离子体测量传感器，该等离子体测量传感器测量在上述远程等离子体发生器的发生器主体内所发生的等离子体，该自主管理方法包括根据通过上述等离子体测量传感器所测量的等离子体测量值，生成另一个运行状态信息的阶段。
[0026]基于一实施例，上述传感器部包括等离子体检测传感器，该等离子体检测传感器测量上述工艺腔室内部的等离子体状态，上述自主管理方法包括根据通过上述等离子体测量传感器所测量的等离子体测量值，生成上述工艺腔室内部的工艺进行状态信息的阶段。
[0027]基于一实施例，上述传感器部包括等离子体检测传感器，该等离子体检测传感器测量从上述工艺腔室排出的排气的等离子体状态，上述自主管理方法包括根据通过上述等离子体测量传感器所测量的等离子体测量值，生成上述工艺腔室内部的工艺进行状态信息的阶段。
[0028](三)有益效果
[0029]根据本发明的具有自主管理功能的远程等离子体系统及其自主管理方法，通过实时确认远程等离子体发生器的运行状态信息，可及时检测并判断远程等离子体发生器是否正常运行以及运行中是否发生异常。另外，将从远程等离子体发生器中产生的等离子体供应给工艺腔室的过程中，可实时确认远程等离子体发生器的运行状态信息及在工艺腔室内的等离子体处理工艺的进行状态信息。
[0030]由此，流程管理人员可实时掌握远程等离子体系统的运行状态，并在发生非正常运行时，可立即采取应对措施。此外，流程管理人员可在需要维护系统时，实时掌握相关信息，从而可以提高维护效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0031]图1是表示基于本发明优选实施例的具有自主管理功能的远程等离子体系统的整体结构的图。
[0032]图2是表示远程等离子体发生器的发生器主体的局部的剖面图。
[0033]图3是将在远程等离子体发生器的发生器主体所测量的电压和电流的正常值和非正常值进行比较后，以示例表示电压和电流的波形图。
[0034]图4是在远程等离子体发生器的发生器主体划分为多个绝缘区间的情况下，以示例表示在各区域测量电压和电流的情况的图。
[0035]图5是以示例表示在远程等离子体发生器的发生器主体的不同部位所测量电压的电压波形图。
[0036]图6至图9是以示例表示本发明的远程等离子体系统可使用的多种远程等离子体发生器的图。
[0037]附图标记
[0038]10:工艺腔室11:工艺腔室外壳
[0039]12:基板支架14:被处理基板
[0040]15:气体流入口16:气体排气口
[0041]17:等离子体源18，19:等离子体测量传感器
[0042]20:真空泵22:排气管
[0043]30:电源32:阻抗匹配装置
[0044]34:偏置电源36:阻抗匹配装置
[0045]40、42:电压测量传感器 44:变流器
[0046]46:电流测量传感器60:远程等离子体发生器
[0047]61:发生器主体62:绝缘区
[0048]65:气体入口66:排气口
[0049]67:适配器68:电源
[0050]69:内部保护膜70:控制部
[0051]72:状态显示部74:主机(Host)
[0052]75:变压器76:磁芯
[0053]77:初级线圈80，81:电容耦合电极
[0054]82:感应天线线圈83:介质窗
【具体实施方式】
[0055]为充分理解本发明，参照附图对本发明优选实施例进行说明。本发明的实施例可改变为多种形态，不应将本发明的范围解释为仅限于以下进行详细说明的实施例。提供本实施例的目的在于，为具备普通知识的行业工作人员更加完整地说明本发明。随之，为了强调更为准确的说明，附图上部件的形状等的表达可略带夸张。在各附图上的相同构成有时以相同的符号进行显示，要对此予以注意。据 申请人:判断，公告功能和构成部分对本发明的主旨造成不利影响时，要省略对其的详细记述。
[0056]图1是表示基于本发明优选实施例的具有自主管理功能的远程等离子体系统的整体结构的图。
[0057]参照图1，基于本发明优选实施例的远程等离子体系统，将从远程等离子体发生器60中产生的等离子体供应给工艺腔室10，并在工艺腔室10内进行所定的等离子体处理工艺。工艺腔室10可以是用于执行在被处理基板14形成薄膜的蚀刻、蒸镀、抛光或表面改质等多种等离子体处理工艺的设备之一。远程等离子体发生器60不仅用于执行对被处理基板14的等离子体处理工艺，还用于执行清洗工艺腔室10内部的等离子体处理工艺。本发明的远程等离子体系统具有以下的自主管理功能:在执行此类等离子体处理工艺的过程中，通过实时检测远程等离子体发生器60的运行状态及从远程等离子体发生器60中产生的等离子体状态，从而可及时判断远程等离子体发生器60是否正常运行、在运行中是否发生异常以及是否需要维护等。
[0058]工艺腔室10具有工艺腔室外壳(housing)ll和在其内部放置被处理基板14的基板支架12。被处理基板14举例来说可以是制造半导体装置的多种的晶片基板或玻璃基板。工艺腔室10的气体流入口 15通过适配器67与远程等离子体发生器60的排气口 66连接。位于工艺腔室10下部的气体排气口 16通过排气管22与真空泵20连接。虽然附图上没有具体图示，但工艺腔室10的内部可以具备产生等离子体的等离子体源(Plasma Source) 17及用于该等离子体源17的电源30以及阻抗匹配装置32。远程等离子体发生器60中产生的等离子体通过适配器67供应给工艺腔室外壳11内部，并在工艺腔室10内进行所定的等离子体处理工艺。由远程等离子体发生器60所供应的等离子体可通过在工艺腔室10内部具备的隔板(baffle)(未图示)，在工艺腔室10均匀地扩散。放置被处理基板14的基板支架12可通过阻抗匹配装置36与偏置(bias)电源34连接。
[0059]远程等离子体发生器60可使用多种等离子体产生方式，虽然在本实施例中只显示变压器稱合等离子体(transformer coupled plasma)产生方式的远程等离子体发生器60，但应用时不限于此。远程等离子体发生器60具备有环形形状的等离子体放电空间的发生器主体61。在发生器主体61安装变压器75，该变压器具有磁芯76及卷绕于磁芯的初级线圈77，用于提供起电力以在上述发生器主体61的等离子体放电空间形成等离子体。初级线圈77与电源68连接。电源68具备半导体开关电路，并通过该开关电路发生无限射频后供应给初级线圈77。电源68可具备为了阻抗匹配的可调电路，或可将无线射频(Rad1frequency)通过另一个阻抗匹配装置供应给初级线圈77。电源68和发生器主体61可具有结合为一体或分离的结构。气体通过发生器主体61的气体入口 65流入，并由电源68向初级线圈77供应无线射频以驱动初级线圈77，则在发生器主体61内部的等离子体放电空间产生等离子体。如此产生的等离子气体通过适配器67供应给工艺腔室10。
[0060]本发明的远程等离子体系统包括:传感器部，由用于测量远程等离子体发生器60的运行状态的多个传感器组成；以及控制部70，根据在传感器部所测量的电气特征值，生成远程等离子体发生器60运行状态信息。传感器部包括测量发生器主体61所感应电压的一个以上的电压测量传感器40、42。电压测量传感器40、42在远程等离子体发生器60运行过程中，测量在发生器主体61所感应的电压，提供给控制部70。传感器部还包括一个以上的电流测量传感器44。电流测量传感器44在远程等离子体发生器60运行过程中，测量可能在发生器主体61发生的电流，提供给控制部70。传感器部还包括变流器(CurrentTransformer) 44。变流器44安装于远程等离子体发生器60的排气口 66周围(例如,变流器44的磁芯包围适配器67)。
[0061]图2为表示远程等离子体发生器的发生器主体局部的剖面图，图3为将在远程等离子体发生器的发生器主体所测量的电压和电流的正常值和非正常值进行比较后，以示例表示电压和电流的波形图。
[0062]参照图2和图3，安装于反应器主体61的电压测量传感器40、42和电流测量传感器46所分别测量的电压和电流，如图3的电压和电流波形图所示，在正常状态(以虚线表示)和非正常状态(以实线表示)下的其测量值相互不同。发生非正常状态的原因不少，例如，初始点火失败、等离子体熄灭、等离子体状态不稳定、发生器主体61的内部保护膜69受损、发生器主体61内部发生电弧放电、供电不稳定等情况。
[0063]远程等离子体发生器60开始运行时，产生等离子体所需的起电力传递至发生器主体61内部，产生等离子体并在发生器主体61上感应电压。远程等离子体发生器60处于正常状态的情况下，可检测出在发生器主体61上所感应的电压也处于正常状态。然而因某种原因导致远程等离子体发生器60处于非正常状态时，在发生器主体61上所感应的电压也处于非正常状态。
[0064]例如，在发生器主体61内部发生电弧放电时，在发生器主体61上所测量的电压处于非正常状态。发生器主体61的内部保护膜69受损(在图2上用点线圆“A”表示)的情况下，通过发生器主体61可发生电流泄露。这种泄漏电流可通过电流测量传感器46检测。同时，在发生电流泄露的情况下，在发生器主体61上所感应的电压也会发生变动。发生器主体61的内部被等离子体离子冲击而受损，因此远程等离子体发生器60的寿命有限。通过电流测量传感器46测量泄漏的电流，可诊断出发生器主体61的寿命。
[0065]安装于适配器67的变流器44，在将等离子体气体从远程等离子体发生器60供应给工艺腔室10的过程中，测量电流变化，将其信息传送给控制部70。变流器44在将正常的等离子体气体从远程等离子体发生器60供应给工艺腔室的过程中，提供正常的电流测量值，但所供应的等离子体气体处于非正常状态时，变流器44也将传送非正常的电力测量值。
[0066]控制部70根据构成传感器部的电压测量传感器40、42、电流测量传感器44、46及变流器44所提供的测量值中一个以上的值，生成远程等离子体发生器60的运行状态信息。所生成的远程等离子体发生器60的运行状态信息可通过状态显示部72显示，或传送给控制并管理整个系统的主机(Host)74。状态显示部72可包括用于显示画面的显示装置及用于提供语音信息的语音扬声器装置。此外，控制部70可根据需要控制远程等离子体系统的整个运行，在运行中发生异常时通过状态显示部72向运营人员发出需要维护的警报，或对整个系统操作采取所需的控制措施。例如，在发生紧急情况时，可关闭各电源30、34、68，以停止系统运行。
[0067]虽然附图上没有图示，但传感器部可包括用光学或电学性质测量从远程等离子体发生器60中产生的等离子体的等离子体测量传感器。等离子体测量传感器设置于发生器主体61或适配器67，在远程等离子体发生器60运行过程中，测量由远程等离子体发生器60所产生的等离子体的状态，并将该信息提供给控制部70。控制部70根据通过等离子体测量传感器所测量的等离子体测量值，生成远程等离子体发生器60的另一个运行状态信息，并通过状态显示部72显示其状态并执行所需的控制。
[0068]传感器部也可包括等离子体测量传感器18、19，这些等离子体测量传感器是当在工艺腔室10的内部进行等离子体处理时，用光学或电学性质测量工艺腔室10内部的等离子体的另一个等离子体测量传感器。例如，可具备测量工艺腔室10的内部等离子体状态的等离子体测量传感器18及测量从工艺腔室10中排出的等离子体状态的等离子体测量传感器19。控制部70根据通过等离子体测量传感器(18、19)所测量的等离子体的测量值，生成工艺腔室10内部的工艺进行状态信息，并通过状态显示部72显示其状态且执行所需的控制。例如，通过测量等离子体的工艺分解率，可判断工艺进行状态和结束状态或错误等状态。图4是在远程等离子体发生器的发生器主体上划分多个绝缘区间的情况下，以示例表示在各领域测量电压和电流的情况的图。图5是以示例表示在远程等离子体发生器的发生器主体的不同部位所测量电压的电压波形图。
[0069]参照图4，远程等离子体发生器60的发生器主体61由铝、不锈钢及铜等金属物质制作。或者也可用被镀金的金属，例如，可用阳极化铝或镀镍的铝进行制作。此外，也可用耐火金属(refractory metal)进行制作。另一个方案是,可用石英、陶瓷等绝缘物质进行制作，也可用适合执行所定的等离子体流程的其他物质进行制作。发生器主体61包含金属物质时，为防止发生润流(eddy current),包括具有电学的不连续性的一个以上的电气绝缘区62。绝缘区62由石英、陶瓷等电气绝缘物质组成。
[0070]变压器75的初级线圈77驱动时，将感应起电力传递给发生器主体61的等离子体放电空间，使等离子体点火，并在发生器主体61内部产生等离子体。当远程等离子体发生器60运行过程中，在发生器主体61上感应根据远程等离子体发生器60运行所引起的电压。然而，发生器主体61由一个以上的绝缘区62分为几个部分时，在各个划分的区域上所感应的电压相互不同。
[0071]例如，如图4所示，具有4个绝缘区62，发生器主体61被划分为4个区域61a、61b、61c、61d的情况下，可在各个区域安装电压测量传感器47a、47b、47c、47d和电流测量传感器48a、48b、48c、48d。通过安装于第I区域61a的第I电压测量传感器47a所测量的电压波形VSl与通过安装于第2区域61b的第2电压测量传感器47b所检测的电压波形VS2会具有相位相反的关系。
[0072]如此通过安装于第I至第4区域61a，61b，61c，61d的电压测量传感器47a、47b、47c、47d和电流测量传感器48a、48b、48c、48d所测量的电压和电流以远程等离子体发生器60正常运行时的一定相位差和大小检出。然而，远程等离子体发生器60发生异常时，通过电压传感器47a、47b、47c、47d和电流传感器48a、48b、48c、48d所测量的电压或电流与正常状态下所测量的位相差或大小相比有变化。控制部70根据这些变化成分判断远程等离子体发生器60是否正常运行，并通过状态显示部72显示其状态并执行所需的控制。
[0073]图6至图9是以示例表示本发明的远程等离子体系统可使用的多种远程等离子体发生器的图。参照图6、图7，能够用于本发明的远程等离子体系统的远程等离子体发生器60a、60b，安装有变压器75，该变压器具有磁芯76和卷绕于磁芯的初级线圈77，以供应起电力，用于在发生器主体61的等离子体放电空间上形成等离子体。与此同时，还可附加地具有电容耦合电极80、81，该电容耦合电极安装于发生器主体61，以供应起电力，用于在发生器主体61的等离子体放电空间上形成等离子体，并且该电容耦合电极由电源67提供驱动电力来运行。初级线圈77和电容耦合电极80、81可与电源67以并联(图6所示的例子)或串联(图7所示的例子)连接。
[0074]参照图8、图9。能够用于本发明的远程等离子体系统的另一种远程等离子体发生器60c、60d，安装有变压器75，该变压器具有磁芯76及卷绕于磁芯上的初级线圈77，以供应起电力，用于在发生器主体61的等离子体放电空间上形成等离子体。与此同时，还可附加地具有感应天线线圈82，该感应天线线圈安装于发生器主体61上，以供应起电力，用于在发生器主体61的等离子体放电空间上形成等离子体，并且该感应天线线圈由电源67提供驱动电力来运行。优选在安装感应天线线圈82的部分设置介质窗83，以使感应起电力能够流入。初级线圈77和感应天线线圈82可与电源67以并联(图8所示的例子)或串联(在图9所示的例子)连接。
[0075]如图6至图9所示，用于本发明的远程等离子体系统的远程等离子体发生器60a、60b、60c、60d可使用变压器稱合等离子体(transformer coupled plasma)与电容稱合等离子体(capacitively coupled plasma)相互混合,或变压器稱合等离子体与感应稱合等离子体(inductively coupled plasma)相互混合的混合方式的等离子体源。使用混合方式的等离子体源的情况下，可更加稳定地产生远程等离子体。然而，也可适用单一的等离子体源方式，例如变压器耦合等离子体、电容耦合等离子体、感应耦合等离子体、微波等离子体等多种远程等离子体产生方式中的一种。
[0076]上述的本发明的具有自主管理功能的远程等离子体系统及其自主管理方法的实施例只不过是个别案例，对属于本发明的【技术领域】具有一般知识的人可从此进行多种应用。因此可知，本发明不仅限于在上述说明中所提到的形式。
[0077]因此，本发明真正的技术保护范围要根据所附有的专利申请范围的技术思路而决定。同时，本发明会包括根据所附有的申请范围而定义的本发明精神及其范围内的所有变形物、均等物和替代物。
【权利要求】
1.一种具有自主管理功能的远程等离子体系统，包括: 远程等离子体发生器，产生等离子体，以远程方式供应给工艺腔室； 传感器部，包括一个以上的电压测量传感器，该电压测量传感器用于测量在上述远程等离子体发生器的发生器主体感应的电压；以及 控制部，根据上述一个以上的电压测量传感器测量的电压值，生成上述远程等离子体发生器的运行状态信息。
2.如权利要求1所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统，上述传感器部包括一个以上的电流测量传感器，该电流测量传感器用于测量通过上述远程等离子体发生器的发生器主体所泄露的电流，上述控制部根据通过上述电流测量传感器所测量的泄露电流测量值，生成另一个运行状态信息。
3.如权利要求1所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统，上述传感器部包括安装于上述远程等离子体发生器的气体出口周边的变流器，上述控制部根据通过上述变流器所测量的电流测量值，生成另一个运行状态信息。
4.如权利要求1所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统，上述传感器部包括等离子体测量传感器，该等离子体测量传感器用于测量在上述远程等离子体发生器的发生器主体内所产生的等离子体，上述控制部根据通过上述等离子体测量传感器所测量的等离子体测量值，生成上述远程等离子体发生器的另一个运行状态信息。
5.如权利要求1所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统，上述传感器部包括等离子体测量传感器，该等离子体测量传感器用于测量流入上述工艺腔室内部的等离子体状态，上述控制部根据通过上述等离子体测量传感器所测量的等离子体测量值，生成上述工艺腔室内部的工艺进行状态信息。
6.如权利要求1所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统，上述传感器部包括等离子体测量传感器，该等离子体测量传感器用于测量从上述工艺腔室排出的排气的等离子体状态，上述控制部根据通过上述等离子体测量传感器所测量的等离子体测量值，生成上述工艺腔室内部的工艺进行状态信息。
7.如权利要求1所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统，上述远程等离子体发生器包括: 发生器主体，具有等离子体放电空间； 变压器，具有磁芯和卷绕于上述磁芯的初级线圈，该磁芯设置于上述发生器主体以提供用于在上述发生器主体的等离子体放电空间形成等离子体的起电力；以及 电源，向上述变压器的初级线圈供给驱动电力。
8.如权利要求7所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统，包括电容耦合电极，该电容耦合电极设置于上述发生器主体，以提供用于在上述发生器主体的等离子体放电空间形成等离子体的起电力，并由上述电源提供驱动电力来运行。
9.如权利要求7所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统，包括感应天线线圈，该感应天线线圈设置于上述发生器主体，以提供用于在上述发生器主体的等离子体放电空间形成等离子体的起电力，并由上述电源提供驱动电力来运行。
10.如权利要求1所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统，上述远程等离子体发生器的发生器主体包括具有以一个以上的绝缘区间划分的两个以上分离区域的金属发生器主体，上述电压测量传感器包括在上述发生器主体的两个以上分离区域各自安装的两个以上的电压测量传感器。
11.如权利要求2所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统，上述远程等离子体发生器包括等离子体放电空间及具有以一个以上的绝缘区间划分的两个以上分离区域的金属发生器主体，上述电流测量传感器包括在上述发生器主体的两个以上分离区域各自安装的两个以上的电流测量传感器。
12.—种远程等离子体系统的自主管理方法，包括: 开始运行远程等离子体发生器的阶段； 通过包括一个以上的电压测量传感器的传感器部来测量在上述远程等离子体发生器的发生器主体上感应的电压的阶段；以及 根据在上述传感器部测量的上述远程等离子体发生器的发生器主体上所感应的电压测量值，生成上述远程等离子体发生器的运行状态信息的阶段。
13.如权利要求12所述的远程等离子体系统的自主管理方法，上述传感器部包括电流测量传感器，该电流测量传感器测量通过上述远程等离子体发生器的发生器主体所泄露的电流，该自主管理方法包括根据上述电流测量传感器所测量的泄露电流测量值，生成另一个运行状态信息的阶段。
14.如权利要求12所述的远程等离子体系统的自主管理方法，上述传感器部包括变流器，该变流器安装于上述远程等离子体发生器的气体出口周边，该自主管理方法包括根据通过上述变流器所测量的测量值，生成另一个运行状态信息的阶段。
15.如权利要求12所述的远程等离子体系统的自主管理方法，上述传感器部包括等离子体测量传感器，该等离子体测量传感器用于测量在上述远程等离子体发生器的发生器主体内所发生的等离子体，该自主管理方法包括根据通过上述等离子体测量传感器所测量的等离子体测量值，生成另一个运行状态信息的阶段。
16.如权利要求12所述的远程等离子体系统的自主管理方法，上述传感器部包括等离子体检测传感器，该等离子体检测传感器测量上述工艺腔室内部的等离子体状态，该自主管理方法包括根据通过上述等离子体测量传感器所测量的等离子体测量值，生成上述工艺腔室内部的工艺进行状态信息的阶段。
17.如权利要求12所述的远程等离子体系统的自主管理方法，上述传感器部包括等离子体检测传感器，该等离子体检测传感器测量从上述工艺腔室排出的排气的等离子体状态，该自主管理方法包括根据通过上述等离子体测量传感器所测量的等离子体测量值，生成工艺腔室内部的工艺进行状态信息的阶段。
【文档编号】H01J37/302GK104183452SQ201310452821
【公开日】2014年12月3日 申请日期:2013年9月27日 优先权日:2013年5月22日
【发明者】崔大奎 申请人:崔大奎