电子管石墨阳极表面处理工艺的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种电子管石墨阳极表面处理工艺，其特殊之处是，包括如下步骤：第一步，将石墨阳极放于半开放式的玻璃钟罩内，在玻璃钟罩的下部连接抽气装置，使整个玻璃钟罩处于密闭状态；第二步，启动抽气装置使玻璃钟罩处于真空状态，对准石墨阳极位置将高频线圈套在玻璃钟罩外相应高度处，启动高频炉对玻璃钟罩内石墨阳极加热，达到1200～1250℃时进行真空去气；第三步，关闭高频炉移开高频线圈，对玻璃钟罩及其内部石墨阳极进行冷却；第四步，冷却后关闭玻璃钟罩与抽气装置的连接通道，取下玻璃钟罩后再取出处理后的石墨阳极。解决了现有石墨阳极表面处理工艺存在的过程废品多、能源消耗大、制造成本大、安全性能低的问题。
【专利说明】电子管石墨阳极表面处理工艺【技术领域】
[0001]本发明涉及电子管阳极生产工艺，特别是一种电子管石墨阳极表面处理工艺。
【背景技术】
[0002]现有的电子管石墨阳极表面处理工艺是将石墨阳极处于大气状态下经过高频加热方式达1500°C高温进行空烧，然后用电动毛刷机采用机械刷光方法将石墨阳极表面浮碳清除干净。之后采用在阳极外表面喷涂锆粉，再经过1200°C高温烧结而成。其存在如下问题:1、由于这种阳极材料采用的是石墨材质，经过1500°C高温空烧后会在阳极表面生成许多细小的深孔，破坏了阳极的致密度且大量吸气不利于后序排气工艺操作。2、表面喷涂的锆粉颗粒只能达到360目左右，使阳极表面粗糙，并且喷涂液中的锆粉和硝棉溶液都是易燃易爆物品，操作过程中需要特制的设备及通风条件。特别是锆粉喷涂的利用率只有20%~30%左右，而残余锆粉的处理十分危险，需要与专业的安全部门共同完成。3、经过1200°C高温烧结后石墨阳极表面的松散颗粒在电子管的散粒效应作用下将增大电子管内部的噪音水平，影响音频放大时的输出信号质量。综上，现有的石墨阳极表面处理工艺存在过程废品多、能源消耗大、制造成本大、安全性能低等诸多弊病。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是为了提供一种解决现有石墨阳极表面处理工艺存在的过程废品多、能源消耗大、制造成本大、安全性能低的问题的电子管石墨阳极表面处理工艺。
[0004]本发明的技术方案是:
一种电子管石墨阳极表面处理工艺，其特殊之处是，包括如下步骤:
第一步，首先将石墨阳极放置在半开放式的玻璃钟罩内，在所述玻璃钟罩的下部开放口位置连接有抽气装置，使整个玻璃钟罩内处于密闭状态；
第二步，启动所述抽气装置使玻璃钟罩内处于真空状态，真空度达到3X KT4Pa~5X KT4Pa时，对准需去气的石墨阳极位置将高频线圈套在玻璃钟罩外相应高度处，启动与所述高频线圈相连的高频炉对玻璃钟罩内石墨阳极加热，达到1200~1250°C时进行真空去气，保温15~20分钟，同时抽气装置保持玻璃钟罩内真空度不低于2X10_3Pa~3 X KT3Pa ；
第三步，关闭高频炉移开高频线圈，对玻璃钟罩及其内部石墨阳极进行冷却，冷却时间为90~100分钟，冷却时抽气装置保持运行使石墨阳极处在不低于2X10_3Pa~3X10_3Pa的真空状态中；
第四步，冷却后关闭玻璃钟罩与抽气装置的连接通道，然后打开玻璃钟罩放气阀，取下玻璃钟罩后再取出处理后的石墨阳极。
本发明的有益效果是:
1、由于将石墨阳极处于真空状态下，然后用高频真空炉加热达1200°C高温进行真空除气，从而使石墨阳极拥有光洁、细密的表面及良好的电真空性能。其除气原理是利用分子扩散原理，即零件内部吸收和表面吸附的气体分子在高温下获得足够的动能，从高浓度的内部向表面扩散，从表面向更低浓度的空间扩散，再被抽气装置抽走。
[0005]2、由于取消了石墨阳极大气下高温空烧保持了石墨阳极的致密度且整个工艺过程在真空状态下进行，不会造成石墨阳极大量吸气，提高了电真空性能。
[0006]3、由于取消了石墨阳极表面的锆粉喷涂和烧结工艺，简化了工艺，提高了生产效率，也无需进行残余锆粉的处理工作，减少了工作中的危险性。
[0007]4、经过真空状态下的高温除气工艺处理，达到了能源消耗小、制造成本低、安全性能高、增强音频放大时输出信号等良好效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1是本发明所述的表面处理工艺系统的结构示意图。
[0009]图中:玻璃钟罩1、开放口 101、高频线圈2、橡胶密封圈3、抽气装置4。
【具体实施方式】
[0010]实施例1
该电子管石墨阳极表面处理工艺，具体工艺步骤如下:
第一步，首先将石墨阳极放置在半开放式的玻璃钟罩I内，在所述玻璃钟罩I下部开放口 101位置连接有抽气装置4，并在两者接口处设置有橡胶密封圈3，使整个空间处于密闭状态。
[0011]第二步，启动抽气装置4使玻璃钟罩I内处于真空状态，真空度达到3 X IO-4Pa时，对准需去气的石墨阳极位置将高频线圈2套在玻璃钟罩I外相应高度处，启动与所述高频线圈2相连的高频炉对玻璃钟罩I内石墨阳极加热，利用光学高温计测量玻璃钟罩内温度达到1200°C高温时进行真空去气，保温15分钟，同时抽气装置4保持玻璃钟罩I内真空度不低于2X10_3Pa。
[0012]第三步，然后关闭高频炉移开高频线圈2，对玻璃钟罩I及其内部石墨阳极进行冷却，冷却90分钟，冷却时抽气装置4保持运行使石墨阳极处在不低于2 X IO-3Pa的真空状态中。
[0013]第四步，冷却后关闭玻璃钟罩I与抽气装置4的连接通道，保持抽气装置4独立性，然后打开玻璃钟罩I的放气阀，取下玻璃钟罩I再取出处理后的石墨阳极。
重复以上步骤再次进行加工。
[0014]其中，玻璃钟罩、抽气装置、橡胶密封圈、高频炉、光学高温计均为购制。
[0015]实施例2
该电子管石墨阳极表面处理工艺，具体工艺步骤如下:
第一步，首先将石墨阳极放置在半开放式的玻璃钟罩I内，在所述玻璃钟罩I下部开放口 101位置连接有抽气装置4，并在两者接口处设置有橡胶密封圈3，使整个空间处于密闭状态。
[0016]第二步，启动抽气装置4使玻璃钟罩I内处于真空状态，真空度达到4X KT4Pa时，对准需去气的石墨阳极位置将高频线圈2套在玻璃钟罩I外相应高度处，启动与所述高频线圈2相连的高频炉对玻璃钟罩I内石墨阳极加热，达到1220°C高温进行真空去气，保温17分钟，同时抽气装置4保持玻璃钟罩I内真空度不低于2.5X 10_3Pa。
[0017]第三步，然后关闭高频炉移开高频线圈2，对玻璃钟罩I及其内部石墨阳极进行冷却，冷却100分钟，冷却时抽气装置4保持运行使石墨阳极处在不低于2.5X IO-3Pa的真空状态中。
[0018]第四步，冷却后关闭玻璃钟罩I与抽气装置4的连接通道，保持抽气装置4独立性，然后打开玻璃钟罩I的放气阀，取下玻璃钟罩I再取出处理后的石墨阳极。
[0019]重复以上步骤再次进行加工。
[0020]实施例3
该电子管石墨阳极表面处理工艺，具体工艺步骤如下:
第一步，首先将石墨阳极放置在半开放式的玻璃钟罩I内，在所述玻璃钟罩I下部开放口 101位置连接有抽气装置4，并在两者接口处设置有橡胶密封圈3，使整个空间处于密闭状态。
[0021]第二步，启动抽气装置使玻璃钟罩I内处于真空状态，真空度达到5 X KT4Pa时，对准需去气的石墨阳极位置将高频线圈2套在玻璃钟罩I外相应高度处，启动与所述高频线圈2相连的高频炉对玻璃钟罩I内石墨阳极加热，达到1250°C高温进行真空去气，保温20分钟，同时抽气装置4保持玻璃钟罩I内真空度不低于3X 10_3Pa。
[0022]第三步，然后关闭高频炉移开高频线圈2，对玻璃钟罩I及其内部石墨阳极进行冷却，冷却100分钟，冷却时抽气装置4保持运行使石墨阳极处在不低于3X 10_3的真空状态中。
[0023]第四步，冷却后关闭玻璃钟罩I与抽气装置4的连接通道，保持抽气装置4独立性，然后打开玻璃钟罩I的放气阀，取下玻璃钟罩I再取出处理后的石墨阳极。
[0024]重复以上步骤再次进行加工。
【权利要求】
1.一种电子管石墨阳极表面处理工艺，其特征在于，包括如下步骤: 第一步，首先将石墨阳极放置在半开放式的玻璃钟罩内，在所述玻璃钟罩的下部开放口位置连接有抽气装置，使整个玻璃钟罩内处于密闭状态； 第二步，启动所述抽气装置使玻璃钟罩内处于真空状态，真空度达到3X IO-4Pa?5X KT4Pa时，对准需去气的石墨阳极位置将高频线圈套在玻璃钟罩外相应高度处，启动与所述高频线圈相连的高频炉对玻璃钟罩内石墨阳极加热，达到1200?1250°C时进行真空去气，保温15?20分钟，同时抽气装置保持玻璃钟罩内真空度不低于2X10_3Pa?3X KT3Pa ； 第三步，关闭高频炉移开高频线圈，对玻璃钟罩及其内部石墨阳极进行冷却，冷却时间为90?100分钟，冷却时抽气装置保持运行使石墨阳极处在不低于2X10_3Pa?3X10_3Pa的真空状态中； 第四步，冷却后关闭玻璃钟罩与抽气装置的连接通道，然后打开玻璃钟罩放气阀，取下玻璃钟罩后再取出处理后的石墨阳极。
【文档编号】H01J9/02GK103715036SQ201310740694
【公开日】2014年4月9日 申请日期:2013年12月30日 优先权日:2013年12月30日
【发明者】于丽梅, 张锦媚, 项兴奎, 王珏, 王凤兰 申请人:锦州华光电子管有限公司