专利名称：导电球排列装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及下述装置的改进，在所述装置中容纳导电球的球杯在具有以预定图形设置的球插入部分的排列夹具(arraying jig)上相对移动，以便排列导电球。开发本发明的导电球排列装置是为了精确控制在球杯中导电球的数量。此外，开发本发明的导电球排列装置是为了测定从球杯和排列夹具之间的间隙漏出的导电球。
背景技术：
焊球安装器是在以预定阵列图形在安装目标上形成的各个的电极上安装焊球，在该安装器中，近来由于焊球的尺寸变小，并且作为安装目标的诸如晶片等产品的尺寸变大，一次要安装的焊球的数目增加。在这样的情况下，为了减少排列焊球的缺陷和安装时的缺陷，日本专利3271482披露了一种导电球排列装置，其中排列夹具(在该日本专利3271482中的孔板)，如阵列障板(mask)设置在印刷了焊剂的安装目标的电子基板上，并且球杯(焊球容纳部分)在所述排列夹具上移动，使焊球直接落在该电子基板的电极上。
但是，在这样的导电球排列装置中，如果在排列球时球杯中的导电球的数目太大，就存在与排列夹具接触的球杯的底上的导电球被周围的导电球压紧或夹持，从而不落下或引起接合的危险。相反，在球杯中的导电球的数目过小的话，又有导电球短少的危险。
另外，在这样的导电球排列装置中，如果排列夹具的拉伸不适当，平面的精确度不好，或球杯相对于排列的夹具的高度位置的设置不适当，则在球排列操作中，球杯中的导电球会从球杯和排列夹具之间的部分漏出。导电球的泄露使得安装导电球的产品的质量变坏。
发明内容
为了连续稳定的排列操作，可以考虑适当保持在球杯中容纳的球的数量。例如，在球杯中的适当数量可以这样计算和确保，即，从在作为球馈送器的球漏斗中设置的开闭门的打开和关闭时间、球供给量、生产薄片的数目和延续的生产时间来计算和确保。但问题在于，随着时间的延续，在球杯中的实际球量与计算的和掌握的球量逐渐偏离。
本发明的方面是提供导电球的排列装置，其通过测定装置测定球量能够更准确地控制球杯中的球量。
而且，本发明的方面提供一种导电球排列装置，其能够测定从球杯和排列夹具之间的部分泄漏的导电球。
根据本发明的第一方面，一种导电球排列装置包括排列夹具，其具有处于预定阵列图形的球插入部分；球杯，其下表面上具有开口部分，并且能够容纳多个导电球；移动装置，其相对移动所述排列夹具和球杯，所述移动装置沿排列夹具的上表面相对移动球杯，并使导电球下落到排列夹具的球插入部分；上限测定装置与下限测定装置，其测定在球杯中的导电球的量，和当移动装置相对移动排列夹具和球杯时，关于球杯中的导电球的量是否达到上限和下限分别进行测定；以及泄漏测定装置，其测定导电球从所述球杯和所述球杯的相对移动方向中的背侧上的排列夹具之间的间隙的泄漏。
根据本发明的第二方面，所述移动装置能够往复移动，并且所述上限测定装置、下限测定装置和泄漏测定装置每个包括两组测定装置，使得它们在球杯的移动方向彼此相对，根据所述球杯的移动方向，所述上限测定装置、下限测定装置和泄漏测定装置中的每组交替切换。
根据本发明的第三方面，一种导电球排列装置包括排列夹具，其具有处于预定阵列图形的球插入部分；球杯，其下表面上具有开口部分，并且能够容纳多个导电球；移动装置，其相对移动所述排列夹具和球杯，所述移动装置沿排列夹具的上表面相对移动球杯，并使导电球下落到排列夹具的球插入部分；和下限测定装置，其测定在所述球杯移动侧上球杯的内壁附近的开口部分中导电球的量，并且当所述移动装置相对移动所述排列夹具和球杯时，关于球杯中的导电球的量是否达到下限进行测定。
根据本发明的第四方面，所述导电球排列装置还包括球供给装置，其向球杯供给导电球，其中当下限测定装置测定到下限达到时，球供给装置重新供给导电球。
根据本发明的第五方面，所述移动装置能够往复移动，并且所述下限测定装置包括两组下限测定装置，使得它们在球杯的移动方向彼此相对，每组下限测定装置根据球杯的移动方向交替切换。
根据本发明的第六方面，所述下限测定装置从来自导电球的反射光的光量测定所述导电球的量。
根据本发明的第七方面，一种导电球排列装置包括排列夹具，其具有处于预定阵列图形的球插入部分；球杯，其下表面上具有开口部分，并且能够容纳多个导电球；移动装置，其相对移动所述排列夹具和球杯，所述移动装置沿排列夹具的上表面相对移动球杯，并使导电球下落到排列夹具的球插入部分；和上限测定装置，其测定与球杯移动向着的相对侧上的球杯的内壁表面附近的导电球的量，并且当所述移动装置相对移动所述排列夹具和球杯时，关于球杯中的导电球的量是否达到上限进行测定。
根据本发明的第八方面，所述移动装置能够往复移动，并且所述上限测定装置包括两组上限测定装置，使得它们在球杯的移动方向彼此相对，每组上限测定装置根据球杯的移动方向交替切换。
根据本发明第九方面，所述上限测定装置从来自所述导电球的反射光的光量测定球杯中的导电球量。
根据本发明第十方面，一种导电球排列装置包括排列夹具，其具有处于预定阵列图形的球插入部分；球杯，其下表面上具有开口部分，并且能够容纳多个导电球；移动装置，其相对移动所述排列夹具和球杯，所述移动装置沿排列夹具的上表面相对移动球杯，并使导电球下落到排列夹具的球插入部分；和测定装置，其测定在球杯中的导电球的量，和当所述移动装置相对移动排列夹具和球杯时，关于球杯中的导电球的量是否达到上限和下限进行测定。
根据本发明的第十一方面，所述移动装置能够往复移动，并且所述测定装置包括两组测定装置，使得它们在球杯的移动方向彼此相对，每组测定装置根据所述球杯的移动方向交替切换。
根据本发明第十二方面，提供一种导电球排列装置，包括排列夹具，其具有处于预定阵列图形的球插入部分；球杯，其在下表面上具有与所述排列夹具的上表面相对的开口部分，并且能够容纳多个导电球；移动装置，其相对移动所述排列夹具和球杯，所述移动装置沿排列夹具的上表面相对移动球杯，并使导电球下落到所述排列夹具的球插入部分；和泄漏测定装置，其测定导电球从所述球杯和所述球杯的相对移动方向中的背侧上的排列夹具之间的间隙的泄漏。
根据本发明的第十三方面，所述泄漏测定装置包括两组泄漏测定装置，使得它们根据所述球杯的移动方向交替切换。
根据本发明的第十四方面，所述导电球排列装置还包括报警装置，其在所述泄漏测定装置测定到导电球泄漏时启动报警。
根据本发明的第十五方面，所述导电球排列装置还包括停止装置，其当所述泄漏测定装置测定到导电球泄漏时停止所述排列操作。
根据本发明的各方面，上限测定装置和下限测定装置测定在球杯中导电球量，和当移动装置相对移动排列夹具和球杯时，关于球杯中的导电球的量是否达到上限和下限分别进行测定。因此，总是能够适当地控制球量。
另外，根据本发明的各方面，移动装置能够往复移动，并且上限测定装置和下限测定装置各自包括两组测定装置，使得它们在球杯的移动方向彼此相对，根据球杯的移动方向，每组上限测定装置和下限测定装置交替切换。因此，在通过往复移动来放置导电球的装置中，也能够准确控制球量。
而且，根据本发明方面的各方面，所述测定装置包括下限测定装置，其测定在球杯移动侧上球杯的内壁附近的开口部分中的导电球量，并且当移动装置相对移动排列夹具和球杯时，关于球杯中的导电球的量是否达到下限进行测定。因此，能够测定重新供给所需的时间和准确控制球量。
另外，根据本发明的各方面，所述导电球排列装置还包括球供给装置，其向球杯供给导电球，其中所述球供给装置在下限测定装置测定到达到下限时重新供给导电球。因此，在任何时间使得在球杯中的球量是合适的变得容易。
另外，根据本发明的各方面，所述移动装置能够往复移动，并且所述下限测定装置包括两组下限测定装置，使得它们在球杯的移动方向彼此相对，每组下限测定装置根据球杯的移动方向交替切换。因此，在通过往复移动来放置导电球的装置中，也能够准确控制球量。
另外，根据本发明的各方面，所述测定装置包括上限测定装置，其测定在与球杯移动相对侧上的球杯的内壁表面附近的导电球的量，并且当所述移动装置相对移动排列夹具和球杯时，关于球杯中的导电球的量是否达到上限进行测定。因此，能够控制所述装置，以在球杯中的球量达到适当量或其他可能时，使得球杯中的球量合适。
另外，根据本发明的各方面，所述移动装置能够往复移动，并且所述上限测定装置包括两组上限测定装置，使得它们在球杯的移动方向彼此相对，根据球杯的移动方向每组上限测定装置交替切换。因此，在通过往复移动来放置导电球的装置中，也能够准确控制球量。
另外，根据本发明的各方面，所述泄漏测定装置测定导电球从球杯和排列夹具之间的间隙的泄漏。因此，从球杯和排列夹具之间的部分泄漏的导电球能够被测定到。
另外，根据本发明的各方面，泄漏测定装置包括两组，使得它们根据球杯的移动方向交替切换。因此，能够测定在球杯往复移动情况中泄漏的导电球。
另外，根据本发明的各方面，在所述泄漏测定装置测定到导电球泄漏时，报警装置启动报警或停止装置停止排列操作。因此，它用于在导电球泄漏后的应对手段。
图1是根据本发明的整个排列装置的示意平面图；
图2是球杯部分的平面图；图3是球杯的说明图，示出操作测定传感器；图4是球杯部分的说明图，示出上限和下限测定位置；图5是球杯部分的说明图，示出泄漏测定位置；图6是横向部分的说明图，示出在球杯和球漏斗之间的关系；以及图7是正面说明图，示出球杯和球漏斗之间的关系。
具体实施例方式
见附图，下面用本发明实施例说明实施本发明的方式。在实施例中，焊球安装器被示出。该焊球安装器包括运入的晶片运送部分，焊剂印刷部分，球安装部分，和送出的晶片运送部分。本发明的导电球排列装置构成所述球安装部分。在本发明中，作为导电球的安装目标，有半导体晶片(下面简称晶片)，电子电路板，陶瓷板等。在该实施例中，晶片用作安装目标。另外，作为结合材料，使用焊剂，锡焊膏，导电结合剂等。在实施例中，焊剂用作结合材料。在导电球安装的晶片上的电极已涂覆焊剂。
球安装部分具有焊球馈送器40，和排列夹具，其具有处于预定阵列图形的球插入部分。作为所述排列夹具，使用阵列障板1。在图1和3示出的球阵列障板1的插入部分形成区2中，如图4和5所示，根据晶片3上的电极图形来排列和形成球插入部分4。
球阵列障板1的厚度基本与供给的焊球的直径相同。球插入部分4的直径稍大于焊球5的直径。一般来说，在球阵列障板1中的球插入部分4的横向的阵列间距约为球插入部分4的孔径的两倍。如图1和3所示，球阵列障板1通过施加的拉力接合到模制箱6上，并且由例如框架等固定部分保持。
如图1和6所示，焊球馈送器40包括容纳大量焊球5的球漏斗7，向球阵列障板1的球插入部分4下落焊球的球杯8，前后移动球杯8的球杯移动装置11，和在Z轴方向移动球杯的上下装置12。
在水平面上该球杯8的球杯移动装置11前后移动底部部件13，由滚珠丝杠14将所述球杯通过上下装置12接合到所述底部部件13，所述滚珠丝杠14由前后驱动马达16驱动沿在球阵列障板1的上表面上的导向器15旋转。图1中的箭头的方向表示前向。在这样移动中，焊球5从球杯8向球阵列障板1的球插入部分4下落。在该实施例中的移动装置11仅在前后方向移动。然而，如果球杯8的下表面开口部分10比球阵列障板1的插入部分形成区2的窄，例如，也能够设置在左右方向移动的附加的移动装置。
在球杯上下装置12中，通过螺母部件20接合底部19接合到滚珠丝杠18。滚珠丝杠18由对球杯8的移动装置11的底部部件13设置的Z轴驱动马达17(在图1未示出，而在图6示出)旋转。因此，接合底部19能够沿上下导轨21上下移动。
球杯8具有在其上部分中用于供给球的矩形开口部分9和在其下表面上用于下落球的矩形开口部分10。如图4和5所示，球杯8倾斜形成使得从上开口部分9向下开口部分10变窄。下开口部分10的宽度比球阵列障板1的插入部分形成区1的宽度大，大量焊球5能够由球杯8和球阵列障板1的上表面容纳。
如图2和5所示，上限传感器22A，22B，下限传感器23A，23B和泄漏传感器25A，25B接合到球杯8。这些传感器使用反射型光纤传感器。其他传感器，如光发射/接收型光纤传感器也可以使用。如图3和4所示，在球排列操作时工作的上限传感器22A接合到在球杯8的前进方向中的后壁24的内侧上的上部分。图3和4的箭头表示球杯8的前进方向。在本实施例中，也设有在反转球杯8的前进方向时工作的上限传感器。因此，上限传感器22A和22B接合到球杯8内的前和后中心部分。这里，在球杯8后退时上限传感器22B工作。也就是说，对球杯8的前进方向和后退方向设置两组上限传感器22A和22B。
如图2和3所示，在球杯8内两个两个地分别接合下限传感器23A和23B，在相对方向移动时间中将上限传感器22A(在球杯8前进时工作的上限传感器)和22B(在球杯8后退时工作的上限传感器)夹在中间，使得相对竖直方向倾斜地面向下。两个下限传感器23A设置在左右，上限传感器22B在之间，这两个下限传感器23A在球杯前进时工作；两个下限传感器23B设置在左右，上限传感器22A在之间，这两个下限传感器23B在球杯8后退时工作。亦即，对于球杯8的移动的前进方向和后退方向，设置两组下限传感器23A和23B。
如果下限传感器23A，23B面向正下方，则下限传感器23A，23B可接收来自排列夹具的反射光。然而，下限传感器23A，23B倾斜面向下侧。因此，下限传感器23A，23B防止接收该反射光。因此，下限传感器23A，23B能够准确测定焊球5的存在。此外，在反转球杯8的前进方向时下限传感器23A，23B也工作。因此，与上限传感器22A，22B相似地，下限传感器23A，23B接合到球杯8前进方向的前侧和背侧。
上限传感器22A，22B和下限传感器23A，23B都感测来自球杯8中的焊球5的反射光。当上限传感器22A，22B和下限传感器23A，23B测定预定量的反射光时，它们变成ON状态。
在图4中未示出上限传感器22B，上限传感器22A，22B的测定区域是在球杯8中的下开口部分10附近的前进方向中的后壁的倾斜面中设定的位置。另一方面，如图4所示，下限传感器23A，23B的测定区域在球杯8的前进方向中前侧上的内壁附近的下开口中的部分，在这里导电球没有叠层。上限传感器22A，22B和下限传感器23A，23B都通过调节器27接合到球杯8，所述调节器27能够调节在前和背向中的测定区域。
通过在上限传感器22A，22B的测定区域中光量的差，进行由上限传感器22A，22B对球杯8中的焊球5的上限的测定。当大量焊球5存在于上限传感器22A，22B的测定区域中时(在焊球5的量太大时)，测定到大量的光。另一方面，当焊球5的量适当时，焊球5不存在于测定区域中。因此，上限传感器22A，22B仅测定到小量的光，因为没测定到来自焊球5的反射光。从这个光量差，做出焊球5是否达到上限的测定。例如，在反射光的光量超过预定值时，上限传感器22A，22B可以测定达到上限。
也通过在下限传感器23A，23B的测定区域中的光量差，进行下限传感器23A，23B对球杯8中的焊球下限的测定。当焊球5的量适当时，由于大量焊球5存在于测定区域中，下限传感器23A，23B测定到大量的光。另一方面，当在测定区域中的焊球5变少时，不存在焊球5的部分增加。因此，仅测定到少量的光。从光量的这个差，测定在球杯8中的焊球5的下限。例如，当反射光的光量下降到预定值以下时，下限传感器23A，23B可测定达到下限。
如图5所示，泄漏传感器25A，25B接合到球杯8的相对移动方向的背侧，亦即在前进方向中的后壁的外侧。如图2所示，在纵向，泄漏传感器25A，25B设置在夹着上限传感器22A，22B和下限传感器23A，23B的两个位置。与下限传感器23A，23B相似，如图3所示，设置泄漏传感器25A，25B使得与竖直方向倾斜地面向下。而且，为了在球杯8的前进方向反转时泄漏传感器25A，25B工作，与上限传感器22A，22B和下限传感器23A，23B相似，泄漏传感器25A，25B接合到球杯8的前进方向中的前和背侧。亦即，对于球杯8的前进和后退方向设置两组泄漏传感器25A和25B。泄漏传感器25A是前进时间中的测定传感器，泄漏传感器25B是后退时间中的测定传感器。
从球杯8流出的焊球5的数目不是一，而是大量的焊球漏出，以致呈宽带状流动。因此，不需要提供测定位置以覆盖在球杯8的纵向中的整个宽度，而在实施例中设置在前和背向每个方向中两个泄漏传感器足够。
通过在泄漏传感器25A，25B的测定区域中的光量差进行泄漏传感器25A，25B对泄漏的测定。泄漏传感器25A，25B的测定区域比焊球5的直径大。当焊球5泄漏时，由于在测定区域中存在大量焊球，泄漏传感器25A，25B测定到大量的光。另一方面，在不泄漏的正常状态，泄漏传感器25A，25B仅测定来自插入到球插入部分4的焊球5的反射光。因此，仅测定到少量光。从该光量差，测定到焊球5的泄漏。
在球杯8的球供给开口部分9上的纵向排列三个球漏斗7。
球漏斗7在其内空间中容纳大量焊球5。球漏斗7包括供球口和闸门29，从供球口向球杯8排放容纳的锡球5，闸门29作为能够开闭供球口的打开和关闭装置。球漏斗7也接合到与球杯8相同的接合底部19。在附图中的参考标记30表示启动闸门29的气缸。同步启动三个球漏斗7的各自气缸30。
具有球测定机构的接收部分32设置在球漏斗7的供球口下。通过接收部分32从球漏斗7向球杯8供的焊球5在球杯8的纵向大体均匀地散开。在接收部分32中设置的球测定传感器31测定从球漏斗7的供球口供的焊球5的存在和球阻塞。在该实施例中，传输型光纤传感器用于球测定传感器31。
当球漏斗7的闸门29打开时，进行球的供给操作。先前测量了在闸门29打开时的焊球5的供给量。先前向球杯8供给适量的焊球5。设置上限传感器22A，22B和下限传感器23A，23B，使得在从球漏斗7向球杯8供给焊球以及球杯8的移动停止时不工作。
当生产操作过程中下限传感器的状态从ON变到OFF时(在下限传感器测定下限时)，从球漏斗7向球杯8供给焊球5。闸门29打开，在球漏斗7中的焊球5从球漏斗7的供给口向接收部分32下落。此时，落在接收部分32中的焊球5由球测定传感器31测定。
在过了先前设定的预定时间后，闸门29关闭，停止焊球5的供给。同时控制三个球漏斗7的闸门29的打开和关闭。落入到接收部分32的焊球5通过球引导部分供给到球杯8。通过重复这些操作，进行焊球5的供给。
另一方面，当上限传感器22A，22B测定到焊球5存在在设定的上限以上时，球杯8移动到移动端，并且立即停止。然后，启动报警。在这种情况下，操作人员控制该装置利用吸嘴(未示出)吸和回收焊球。在球杯8中的焊球5的数目变成为适当时，操作人员重新开始装置的操作。当泄漏传感器25A，25B测定到焊球5从球杯8泄漏时，也启动报警并停止装置的操作。可以进行启动报警或停止装置的操作的任何一个。在这种情况下，球杯8立即从上面排空，并通过吸嘴吸取焊球5和回收。当更换排列夹具时，也可以以相同方式回收焊球。
当反转球杯8的移动方向时，操作的传感器从上限传感器22A，下限传感器23A和泄漏传感器25A向上限传感器22B，下限传感器23B和泄漏传感器25B切换。在此实施例中，球杯8移动并且焊球5排列在排列夹具中。但是，只要是排列夹具和球杯处于相对移动的关系中，本发明也可配置成球杯固定而排列夹具移动。
权利要求
1.一种导电球排列装置，包括排列夹具，其具有处于预定阵列图形的球插入部分；球杯，其下表面上具有开口部分，并且能够容纳多个导电球；移动装置，其相对移动所述排列夹具和球杯，所述移动装置沿排列夹具的上表面相对移动球杯，并使导电球下落到排列夹具的球插入部分；上限测定装置和下限测定装置，其测定在球杯中的导电球的量，和当移动装置相对移动排列夹具和球杯时，关于球杯中的导电球的量是否达到上限和下限分别进行测定；和泄漏测定装置，其测定导电球从所述球杯和所述球杯的相对移动方向中的背侧上的排列夹具之间的间隙的泄漏。
2.如权利要求1所述的导电球排列装置，其中所述移动装置能够往复移动，并且所述上限测定装置、下限测定装置和泄漏测定装置每个包括两组测定装置，使得它们在球杯的移动方向彼此相对，根据所述球杯的移动方向，所述上限测定装置、下限测定装置和泄漏测定装置中的每组交替切换。
3.一种导电球排列装置，包括排列夹具，其具有处于预定阵列图形的球插入部分；球杯，其下表面上具有开口部分，并且能够容纳多个导电球；移动装置，其相对移动所述排列夹具和球杯，所述移动装置沿排列夹具的上表面相对移动球杯，并使导电球下落到排列夹具的球插入部分；和下限测定装置，其测定在所述球杯移动侧上球杯的内壁附近的开口部分中导电球的量，并且当所述移动装置相对移动所述排列夹具和球杯时，关于球杯中的导电球的量是否达到下限进行测定。
4.如权利要求3所述的导电球排列装置，还包括球供给装置，其向所述球杯供给导电球，其中当所述下限测定装置测定到下限达到时，所述球供给装置重新供给导电球。
5.如权利要求3所述的导电球排列装置，其中所述移动装置能够往复移动，并且其中所述下限测定装置包括两组下限测定装置，使得它们在所述球杯的移动方向彼此相对，每组下限测定装置根据球杯的移动方向交替切换。
6.如权利要求3所述的导电球排列装置，其中所述下限测定装置从来自导电球的反射光的光量测定所述导电球的量。
7.一种导电球排列装置，包括排列夹具，其具有处于预定阵列图形的球插入部分；球杯，其下表面上具有开口部分，并且能够容纳多个导电球；移动装置，其相对移动所述排列夹具和球杯，所述移动装置沿排列夹具的上表面相对移动球杯，并使导电球下落到排列夹具的球插入部分；和上限测定装置，其测定在球杯移动的相对侧上的球杯的内壁表面附近的导电球的量，并且当所述移动装置相对移动所述排列夹具和球杯时，关于球杯中的导电球的量是否达到上限进行测定。
8.如权利要求7所述的导电球排列装置，其中所述移动装置能够往复移动，并且其中所述上限测定装置包括两组上限测定装置，使得它们在球杯的移动方向彼此相对，每组上限测定装置根据球杯的移动方向交替切换。
9.如权利要求7所述的导电球排列装置，其中所述上限测定装置从来自所述导电球的反射光的光量测定球杯中的导电球量。
10.一种导电球排列装置，包括排列夹具，其具有处于预定阵列图形的球插入部分；球杯，其下表面上具有开口部分，并且能够容纳多个导电球；移动装置，其相对移动所述排列夹具和球杯，所述移动装置沿排列夹具的上表面相对移动球杯，并使导电球下落到排列夹具的球插入部分；和测定装置，其测定在球杯中的导电球的量，和当所述移动装置相对移动排列夹具和球杯时，关于球杯中的导电球的量是否达到上限和下限进行测定。
11.如权利要求10所述的导电球排列装置，其中所述移动装置能够往复移动，并且其中所述测定装置包括两组测定装置，使得它们在球杯的移动方向彼此相对，每组测定装置根据所述球杯的移动方向交替切换。
12.一种导电球排列装置，包括排列夹具，其具有处于预定阵列图形的球插入部分；球杯，其在下表面上具有与所述排列夹具的上表面相对的开口部分，并且能够容纳多个导电球；移动装置，其相对移动所述排列夹具和球杯，所述移动装置沿排列夹具的上表面相对移动球杯，并使导电球下落到所述排列夹具的球插入部分；和泄漏测定装置，其测定导电球从所述球杯和所述球杯的相对移动方向中的背侧上的排列夹具之间的间隙的泄漏。
13.如权利要求12所述的导电球排列装置，其中所述泄漏测定装置包括两组泄漏测定装置，使得它们根据所述球杯的移动方向交替切换。
14.如权利要求12所述的导电球排列装置，还包括报警装置，其在所述泄漏测定装置测定到导电球泄漏时启动报警。
15.如权利要求12所述的导电球排列装置，还包括停止装置，其当所述泄漏测定装置测定到导电球泄漏时停止所述排列操作。
全文摘要
一种导电球排列装置，包括排列夹具，其具有处于预定阵列图形的球插入部分；球杯，其下表面上具有开口部分，并且能够容纳多个导电球；移动装置，其相对移动所述排列夹具和球杯，并沿排列夹具的上表面相对移动球杯，和使导电球下落到排列夹具的球插入部分。所述装置包括测定装置，其测定在球杯中的导电球的量，和关于球杯中的导电球量是否达到上限和下限中的至少一个进行测定，和/或导电球泄漏测定装置，其测定从球杯和排列夹具之间的间隙导电球的泄漏。
文档编号B23K101/40GK101064264SQ20071010195
公开日2007年10月31日 申请日期2007年4月27日 优先权日2006年4月28日
发明者坂野达哉, 新妻和生, 西泰一 申请人:涩谷工业株式会社