1.一种光加工装置,其中具备:
光源;
光扫描部,用于扫描所述光源发射的光;以及,
聚光部,用于将受到所述光扫描部扫描的光会聚到加工对象物上,
其特征在于,所述聚光部搭载于相对于所述加工对象物移动的移动部,而所述光源未搭载于所述移动部。
2.根据权利要求1的光加工装置,其特征在于,所述光扫描部搭载于所述移动部。
3.根据权利要求1或2的光加工装置,其特征在于,进一步具有输送部,该输送部用来输送所述加工对象物,使得该加工对象物相对于所述移动部相对移动。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的光加工装置,其特征在于,
所述移动部在第一方向上移动,
所述输送部使得所述加工对象物在与第一方向交叉的第二方向上相对移动。
5.根据权利要求4所述的光加工装置,其特征在于,
所述移动部仅在平行于第一轴的方向上移动,
所述输送部使得所述加工对象物仅在平行于第二轴的方向上相对移动,该第二轴垂直于所述第一轴。
6.根据权利要求4或5所述的光加工装置,其特征在于,
进一步具有光束平行化部,该光束平行化部用于对所述光源发射的光实施平行化处理,
入射所述移动部的光在入射该移动部之前经过光束平行化处理,并沿着所述移动部的移动方向,入射所述移动部。
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的光加工装置,其特征在于,
所述移动部至少在两个以上停止位置上停止,
在所述移动部处于停止状态下,所述光扫描部扫描所述光源发射的光。
8.根据权利要求7所述的光加工装置,其特征在于,所述移动部来回移动,只有当在来回移动之中的一个方向上移动时,才停止在所述停止位置上。
9.根据权利要求7或8所述的光加工装置,其特征在于,所述移动部在使得相邻的各个停止位置上所述加工对象物上的光的扫描范围互相重叠的停止位置上停止。
10.根据权利要求1至9中任意一项所述的光加工装置,其特征在于,所述光扫描部对所述光源发射的光进行二维扫描。
11.根据权利要求1至10中任意一项所述的光加工装置,其特征在于,进一步具有调整部,该调整部用来调整所述聚光部的聚光距离。
12.根据权利要求1至11中任意一项所述的光加工装置,其特征在于,根据光扫描部扫描的部位,来至少改变所述光源的光的功率、所述光源的光的反复频率、所述光源的光的照射次数的其中之一。
13.一种光加工物的生产方法,其利用光加工装置来加工加工对象物,该光加工装置具有:光源;光扫描部,用于扫描所述光源发射的光;以及,聚光部,用于将受到所述光扫描部扫描的光会聚到加工对象物上,
所述生产方法的特征在于,在移动部上未搭载所述光源的状态下,将所述聚光部搭载于移动部上相对于所述加工对象物移动,用以对所述加工对象物实施加工。
14.一种光加工装置,其中具备:
光源;
聚光部,用于将所述光源发射的光会聚到加工对象物上;
移动部,用于搭载所述聚光部,相对于所述加工对象物在第一方向以及与该第一方向交叉的第二方向上移动;以及,
输送部,用于输送所述加工对象物,使得该加工对象物相对于所述移动部,在所述第二方向上相对移动,
其特征在于,所述移动部的移动范围是沿着所述第二方向对所述加工对象物中的被加工部进行分割后的区域。
15.根据权利要求14所述的光加工装置,其特征在于,所述光源未搭载于所述移动部。
16.根据权利要求14或15所述的光加工装置,其特征在于,所述输送部依次输送所述加工对象物时,使得沿着所述第二方向分割的区域与所述移动部的移动范围重叠。
17.根据权利要求14至17中任意一项所述的光加工装置,其特征在于,
进一步具有光束平行化部,用于对所述光源发射的光实施平行化处理,入射所述移动部的光在入射该移动部之前经过光束平行化处理,并沿着所述移动部的移动方向,入射所述移动部。
18.根据权利要求14至17中任意一项所述的光加工装置,其特征在于,进一步具有调整部,该聚光部用来调整所述聚光部的聚光距离。
19.根据权利要求14至18中任意一项所述的光加工装置,其特征在于,根据光扫描部扫描的部位,至少改变所述光源的光的功率、所述光源的光的反复频率、所述光源的光的照射次数的其中之一。
20.一种用光加工装置加工光加工对象物生产光加工物的生产方法,该光加工装置具备:光源;聚光部,用于将所述光源发射的光会聚到加工对象物上;移动部,用于搭载所述聚光部,相对于所述加工对象物在第一方向以及与该第一方向交叉的第二方向上移动;以及输送部,用于输送所述加工对象物,使得该加工对象物相对于所述移动部,在所述第二方向上相对移动,
所述生产方法的特征在于,所述移动部的移动范围是沿着所述第二方向对所述加工对象物中的被加工部进行分割后的区域。