光加工装置和光加工物的生产方法与流程

文档序号:12149726阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及光加工装置和光加工物的生产方法,其目的在于方便利用以光扫描装置来使得加工对象物的光扫描位置发生移动的光加工装置对较大的加工对象物实施加工处理。本发明的光加工装置具有光源(11)、用于扫描光源光的光扫描装置(21)、以及用于将受到所述光扫描部扫描的光会聚到加工对象物(35)上的聚光部(22),其特征在于,该聚光部(11)搭载于相对于加工对象物(35)移动的移动部(25),而所述光源未搭载于该移动部(25)。

技术研发人员:中村凉真;中岛智宏
受保护的技术使用者:株式会社理光
文档号码:201610735236
技术研发日:2016.08.25
技术公布日:2017.03.08

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