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激光加工方法及制造掩模总成的方法与流程
文档序号:18068989
发布日期:2019-07-03 03:37
阅读:
来源:国知局
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激光加工方法及制造掩模总成的方法与流程
技术特征:
技术总结
本发明涉及一种激光加工方法以及制造掩模总成的方法,激光加工方法包括:在板形的工件的第一轴线方向上在工件上设置多条引导线,所述多条引导线包括曲线;将安置在工件上的多个单元加工区设置成沿所述多条引导线彼此间隔开;以及使用激光束在移动激光束的照射位置的同时照射所述多个单元加工区。
技术研发人员:
成栋永;崔在万
受保护的技术使用者:
AP系统股份有限公司
技术研发日:
2018.12.13
技术公布日:
2019.07.02
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