专利名称：真空内镀膜机及其使用方法
技术领域：
本发明涉及到一种内镀膜机，尤其是指一种用于圆球型或杯型小器件的真空内镀膜机及其使用方法。
背景技术：
目前的一般真空内镀膜机由于结构比较复杂和外形体积庞大，所以机器的成本显得非常高，并且由于这些真空内镀膜机的操作步骤多，以及完成内镀膜的时间长，生产效率低下，在需要大量生产的时候会显得生产能力不足，一般真空内镀膜机的操作步骤是先打开扩散泵加热1.5至2小时，然后再依次打开粗抽泵开始抽气过程，再打开罗茨泵，依次是打开粗抽阀及精抽阀，然后再开始蒸镀过程，在蒸镀完成后，旋转工件，取出已内镀膜完成的工件，然后接着放气过程。
一般的真空内镀膜机在工作中要先打开扩散泵加热1.5至2小时，然后再依次打开粗抽泵，罗茨泵等一系列操作，操作步骤繁琐，工作周期比较长，另外在工作的过程中维持泵和扩散泵要一直打开，这样既浪费电能又容易产生危险事故。
基于上述普通真空内镀膜机的不足之处，本发明人设计了本发明“真空内镀膜机及其使用方法”。
发明内容
本发明针对上述现有技术的不足，主要目的在于提供一种产品生产周期明显缩短，内部镀膜操作步骤简单方便，还节省了80％以上电力资源的真空内镀膜机及其使用方法。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是一种真空内镀膜机，包括一抽真空系统，其设有一气管，该抽真空系统连接一用于控制抽真空系统的泵及阀门开闭的电气系统，所述的抽真空系统通过气管连接一蒸发系统，该蒸发系统包括一电源开关与一电阻式蒸发源，电阻式蒸发源由真空腔、设有抽气管口的底座、用于蒸镀的钨丝组成，底座上固定有正电极和负电极，钨丝的一端固定在正电极，钨丝的另一端固定在负电极，正电极和负电极穿过底座后利用导线与电源开关相电接。
所述的正电极与真空腔的底部之间设有硅胶圈，该硅胶圈用于将正电极与真空腔的底部之间密封不透气和绝缘。
所述的钨丝用镙钉固定在正电极和负电极上。
所述的正电极和负电极分别为钼正电极和钼负电极，或正电极和负电极分别为铜正电极和铜负电极。
所述的抽真空系统设有一用于抽真空的机械泵，机械泵通过气管连接一电磁真空带冲气阀，电磁真空带冲气阀与气管的远端还设有电动高真空蝶阀，电动高真空蝶阀的另一端还连有用于充气取下工件的充气阀。
电动高真空蝶阀和充气阀之间的管道中“十”字垂直管一端与两组蒸发系统的抽气口连接，“十”字垂直管另一端与高真空电磁阀的一端连接，高真空电磁阀的另一端依次设有用于获得更高真空度的扩散泵、用于测量真空度的真空规管和直联机械泵。
真空腔上侧与所需要内镀膜的工件之间设有一用于密封不透气并且绝缘的密封硅胶圈。
所述的钨丝形状为‘m’形、螺旋形或波浪形。
一种上述真空内镀膜机及其使用方法，其使用方法是首先将铝(铜)片或铝(铜)条放在a、b组的电阻式蒸发源的钨丝上，再将需要内镀膜的工件放在密封硅胶圈上；然后打开电动高真空蝶阀，利用机械泵对真空腔进行抽真空处理；当真空度到5×10-2Pa时，合上电源开关，对钨丝进行通电加热；在钨丝加热到一定时间，放在钨丝上的铝(铜)片或铝(铜)条就开始蒸镀；当蒸镀完成后，关闭a、b组电动高真空蝶阀，同时打开c、d组的电动高真空蝶阀对c、d组的电阻式蒸发源的真空腔进行抽真空处理，同时打开a、b组的充气阀，取下a、b组的工件并在其钨丝上放上铝(铜)片或铝(铜)条及需要内镀膜的工件；当c、d的真空度到5×10-2Pa时，合上电源开关，对钨丝进行通电加热；在钨丝加热到一定时间，放在钨丝上的铝(铜)片或铝(铜)条就开始蒸度；如此循环。
本发明一种真空内镀膜机及其使用方法的有益效果是1.体积小、抽速快、生产效率高；2.设备维护方便；3.节省电能。
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
图1是本发明实施例一的结构原理示意图；图2是本发明的电阻式蒸发源的剖面结构示意图；图3是本发明实施例二的结构原理示意图。
附图标号说明10、抽真空系统 10a抽真空系统 11、机械泵12、电磁真空带冲气阀13、气管 14、电动高真空蝶阀14a、电动高真空蝶阀 15、充气阀 15a、充气阀16、高真空电磁阀16a、高真空电磁阀 17、扩散泵18、真空规管19、直联机械泵 20、蒸发系统21、电阻式蒸发源211、真空腔212、底座213、钨丝 214、钼负电极 215、钼正电极216、硅胶圈 217、密封硅胶圈22、电源开关具体实施方式
真空内镀膜机及其使用方法，其真空内镀膜机包括一抽真空系统(10)，其设有一气管(13)，该抽真空系统(10)连接一用于控制抽真空系统(10)的泵及阀门开闭的电气系统，本发明的特征在于所述的抽真空系统(10)通过气管(13)连接一蒸发系统(20)，该蒸发系统(20)包括一电源开关(22)与一电阻式蒸发源(21)，电阻式蒸发源(21)由真空腔(211)、设有气管口的底座(212)、用于蒸镀的钨丝(213)组成，底座(212)上固定有正电极(215)和负电极(214)，钨丝(213)的一端固定在正电极(215)，钨丝(213)的另一端固定在负电极(214)，正电极(215)和负电极(214)穿过底座(212)后利用导线与电源开关(22)相电接，负电极(214)与底座(212)相连。
正电极(215)与真空腔(211)的底部之间设有硅胶圈(216)，该硅胶圈(216)用于将正电极(215)与真空腔(211)的底部之间密封不透气和绝缘。
钨丝(213)用镙钉固定在正电极(215)和负电极(214)上。
正电极(215)和负电极(214)分别为钼正电极和钼负电极，或正电极(215)和负电极(214)分别为铜正电极和铜负电极。
抽真空系统(10)设有一用于抽真空的机械泵(11)，机械泵(11)通过气管(13)连接一电磁真空带冲气阀(12)，电磁真空带冲气阀(12)与气管(13)的远端还设有电动高真空蝶阀(14)和(14a)，电动高真空蝶阀(14)和(14a)的另一端还连有用于充气取下工件的充气阀(15)和(15a)。
电动高真空蝶阀(14)、(14a)和充气阀(15)、(15a)之间的管道中“十”字垂直管一端与两组蒸发系统(20)的抽气口连接，“十”字垂直管另一端与高真空电磁阀(16)、(16a)的一端连接，高真空电磁阀(16)、(16a)的另一端依次设有用于获得更高真空度的扩散泵(17)、用于测量真空度的真空规管(18)和直联机械泵(19)。
真空腔(211)上侧与所需要内镀膜的工件之间设有一用于密封不透气的密封硅胶圈(217)。
所述的钨丝(213)形状为‘m’形、螺旋形或波浪形。
真空内镀膜机及其使用方法，其使用方法是1)、首先将铝(铜)片或铝(铜)条放在a、b组的电阻式蒸发源(21)的钨丝(213)上，再将需要内镀膜的工件放在密封硅胶圈(217)上；2)、然后打开电动高真空蝶阀(14)，利用机械泵(11)对真空腔(211)进行抽真空处理；3)、当真空度到5×10-2Pa时，合上电源开关(22)，对钨丝(213)进行通电加热；4)、在钨丝(213)加热到一定时间，放在钨丝(213)上的铝(铜)片或铝(铜)条就开始蒸镀；5)、当蒸镀完成后，关闭电动高真空蝶阀(14)，同时打开电动高真空蝶阀(14a)对c、d组的电阻式蒸发源(21)的真空腔(211)进行抽真空处理，同时打开充气阀(15)，取下a、b组的工件并在其钨丝(213)上放上铝(铜)片或铝(铜)条及需要内镀膜的工件；6)、当c、d的真空度到5×10-2Pa时，合上电源开关(22)，对钨丝(213)进行通电加热；7)在钨丝(213)加热到一定时间，放在钨丝(213)上的铝(铜)片或铝(铜)条就开始蒸镀；8)当蒸镀完成后，关闭电动高真空蝶阀(14a)，同时打开电动高真空蝶阀(14)对a、b组的电阻式蒸发源(21)的真空腔(211)进行抽真空处理，同时打开充气阀(15a)，取下c、d组的工件并在其钨丝(213)上放上铝(铜)片或铝(铜)条及需要内镀膜的工件，进行下一次工件的真空内镀膜过程，如此循环。
当抽真空系统(10)的真空度不能满足要求时，则采用抽真空系统(10a)的粗抽后再精抽即可达到要求。
在实施例一和实施例二中，采用的四排车方式，这种方式可以同时进行两个工件的蒸镀，在前两个工件完成蒸镀后马上就可以进行另两个工件的蒸镀过程，明显地提高了生产效率，并且节省电能。若需要内镀膜的工件较大，抽真空时间较长或者操作工人熟练、动作快，则可采用六排车、八排车方式。
实施例二的实施原理产品a、b为一组，先由机械泵(11)经粗抽作用的高真空蝶阀(14)排气到10×10-0Pa，然后关闭高真空蝶阀(14)，打开精抽作用的高真空电磁阀(16)由直联机械泵(19)抽气；同时打开产品c、d的高真空蝶阀(14a)，当产品a、b内的气压降到5×10-2Pa时，合上电源开关(22)，对产品a、b的蒸发系统(20)钨丝(213)通电，开始蒸镀。当蒸镀完成后，关闭高真空电磁阀(16)，打开充气阀(15)，取下已完成内镀膜工序的产品a和b；然后转换阀门，将高真空蝶阀(14a)关闭，打开高真空电磁阀(16a)；再将已取出产品a、b的蒸发系统(20)内的钨丝(213)放上铝条后，再放入新的需要内镀膜的产品，然后打开高真空蝶阀(14)，闭合另一组产品c、d的蒸发系统(20)电源开关(22)，开始蒸镀，如此不断循环。
以上所述，仅是本发明一种真空内镀膜机及其使用方法的较佳实施例而已，并非对本发明的技术范围作任何限制，凡是依据本发明的技术实质对以上的实施例所作的任何细微修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
权利要求
1.一种真空内镀膜机及其使用方法，其真空内镀膜机包括一抽真空系统(10)，其设有一气管(13)，该抽真空系统(10)连接一用于控制抽真空系统(10)的泵及阀门开闭的电气系统，本发明的特征在于所述的抽真空系统(10)通过气管(13)连接一蒸发系统(20)，该蒸发系统(20)包括一电源开关(22)与一电阻式蒸发源(21)，电阻式蒸发源(21)由真空腔(211)、设有气管口的底座(212)、用于蒸镀的钨丝(213)组成，底座(212)上固定有正电极(215)和负电极(214)，钨丝(213)的一端固定在正电极(215)，钨丝(213)的另一端固定在负电极(214)，正电极(215)和负电极(214)穿过底座(212)后利用导线与电源开关(22)相电接。
2.根据权利要求1所述的真空内镀膜机及其使用方法，其真空内镀膜机的特征在于所述的正电极(215)与真空腔(211)的底部之间设有硅胶圈(216)，该硅胶圈(216)用于将正电极(215)与真空腔(211)的底部之间密封不透气和绝缘。
3.根据权利要求1所述的真空内镀膜机及其使用方法，其真空内镀膜机的特征在于所述的钨丝(213)用镙钉固定在正电极(215)和负电极(214)上。
4.根据权利要求1所述的真空内镀膜机及其使用方法，其真空内镀膜机的特征在于所述的正电极(215)和负电极(214)分别为钼正电极和钼负电极，或正电极(215)和负电极(214)分别为铜正电极和铜负电极。
5.根据权利要求1所述的真空内镀膜机及其使用方法，其真空内镀膜机的特征在于所述的抽真空系统(10)设有一用于抽真空的机械泵(11)，机械泵(11)通过气管(13)连接一电磁真空带冲气阀(12)，电磁真空带冲气阀(12)与气管(13)的远端还设有电动高真空蝶阀(14)和(14a)，电动高真空蝶阀(14)和(14a)的另一端还连有用于充气取下工件的充气阀(15)和(15a)。
6.根据权利要求5所述的真空内镀膜机，其特征在于所述的电动高真空蝶阀(14)、(14a)和充气阀(15)、(15a)之间的管道中“十”字垂直管一端与两组蒸发系统(20)的抽气口连接，“十”字垂直管另一端与高真空电磁阀(16)、(16a)的一端连接，高真空电磁阀(16)、(16a)的另一端依次设有用于获得更高真空度的扩散泵(17)、用于测量真空度的真空规管(18)和直联机械泵(19)。
7.根据权利要求1所述的真空内镀膜机及其使用方法，其真空内镀膜机的特征在于所述的真空腔(211)上侧与所需要内镀膜的工件之间设有一用于密封不透气的密封硅胶圈(217)。
8.根据权利要求1所述的真空内镀膜机及其使用方法，其真空内镀膜机的特征在于所述的钨丝(213)形状为‘m’形、螺旋形或波浪形。
9.上述真空内镀膜机及其使用方法，其使用方法是1)、首先将铝(铜)片或铝(铜)条放在a、b组的电阻式蒸发源(21)的钨丝(213)上，再将需要内镀膜的工件放在密封硅胶圈(217)上；2)、然后打开电动高真空蝶阀(14)，利用机械泵(11)对真空腔(211)进行抽真空处理；3)、当真空度到5×10-2Pa时，合上电源开关(22)，对钨丝(213)进行通电加热；4)、在钨丝(213)加热到一定时间，放在钨(213)上的铝(铜)片或铝(铜)条就开始蒸镀；5)、当蒸镀完成后，关闭电动高真空蝶阀(14)，同时打开电动高真空蝶阀(14a)对c、d组的电阻式蒸发源(21)的真空腔(211)进行抽真空处理，同时打开充气阀(15)，取下a、b组的工件并在其钨丝(213)上放上铝(铜)片或铝(铜)条及需要内镀膜的工件；6)、当c、d的真空度到5×10-2Pa时，合上电源开关(22)，对钨丝(213)进行通电加热；7)在钨丝(213)加热到一定时间，放在钨丝(213)上的铝(铜)片或铝(铜)条就开始蒸镀；8)当蒸镀完成后，关闭电动高真空蝶阀(14a)，同时打开电动高真空蝶阀(14)对a、b组的电阻式蒸发源(21)的真空腔(211)进行抽真空处理，同时打开充气阀(15a)，取下c、d组的工件并在其钨丝(213)上放上铝(铜)片或铝(铜)条及需要内镀膜的工件，进行下一循环的准备，如此循环。
10.当抽真空系统(10)的真空度不能满足要求时，则采用抽真空系统(10a)的粗抽后再精抽即可达到要求。
全文摘要
本发明涉及到一种内镀膜机，尤其是指一种用于圆球型或杯型小器件的真空内镀膜机及其使用方法。其包括一抽真空系统，其设有一气管，该抽真空系统连接一用于控制抽真空系统的泵及阀门开闭的电气系统，所述的抽真空系统通过气管连接一蒸发系统，该蒸发系统包括一电源开关与一电阻式蒸发源，电阻式蒸发源由真空腔、设有抽气管口的底座、用于蒸镀的钨丝组成，底座上固定有钼正电极和钼负电极，钨丝的一端固定在钼正电极，钨丝的另一端固定在钼负电极，钼正电极和钼负电极穿过底座后利用导线与电源开关相电接。本发明一种真空内镀膜机及其使用方法的有益效果是体积小、抽速快、生产效率高；设备维护方便；节省电能。
文档编号C23C14/54GK101033538SQ20071007333
公开日2007年9月12日 申请日期2007年2月12日 优先权日2007年2月12日
发明者黄川黔 申请人:黄川黔