专利名称：圆盘状基板的研磨方法、研磨装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及例如磁记录介质用玻璃基板等圆盘状基板的研磨方法等。
背景技术：
随着作为记录介质的需要的提高，近年来，作为圆盘状基板的盘基 板的制造开始活跃。作为该盘基板之一的磁盘基板，广泛使用铝基板和 玻璃基板。该铝基板在加工性高且廉价这点上有特长，另一方面，玻璃 基板在强度、表面的平滑性、平坦性优良这点上有特长。特别是最近， 盘基板的小型化和高密度化的要求显著增高，从而基板的表面粗糙度小 且可实现高密度化的玻璃基板的引人注目程度提高。对此类磁盘基板的制造方法进行了各种改进。例如由于玻璃基板上的微粒在磁盘表面上形成凸部，该凸部导致热粗糙(Thermal Asperity) 而使磁阻型磁头的阻力值变动，为了应对该问题，存在通过刷研磨来对 玻璃基板的端面进行研磨的技术(例如参照专利文献1)。在该专利文献 1中，通过使用了浆料的刷研磨， 一边使玻璃基板旋转一边进行玻璃基板 的端面部分(有棱角的部位、侧面及倒角部)的研磨，并进行镜面研磨， 以使得有棱角的部位形成为曲面且使表面粗糙度在预定范围内。此外，作为其它专利文献，存在如下技术其以高效地进行玻璃盘 的外周面加工、降低设备成本并提高成品率为目的，使旋转的研磨刷相 对于层叠玻璃盘上下往复摆动(例如参照专利文献2)。在该专利文献2 中，用多个研磨刷来研磨多组层叠玻璃盘，由此进一步提高加工效率。专利文献l:日本特开平10 — 154321号公报专利文献2:日本特开平11—28649号公报这里，使用了刷的研磨通常在磨削处理后的工序中进行。因此，在玻璃基板的端面上存在无数的磨削伤，优选对该无数的磨削伤周围进行 研磨以使表面光滑。此时，在使用将聚酰胺树脂等树脂作为刷毛材料的 刷进行研磨的情况下，刷的研磨能力低，仅通过浆料所产生的研磨能力 不能使深的磨削伤变光滑。特别是为了使端面的有棱角的部位成为曲面， 要求使毛尖的直径更小且使刷进入倒角部，但是，在为了减小该毛尖的 直径而使用细的刷毛的情况下，刷变得没有硬度且研磨能力下降。发明内容本发明是为解决所述问题而完成的，其目的在于，在利用刷进行的 研磨工序中提高研磨性能，以使例如磨削伤等伤痕平滑化。为了达到所述目的，本发明的圆盘状基板的研磨方法使用研磨液来 对圆盘状基板的端面进行研磨，其特征在于，该圆盘状基板的研磨方法 依次具备第一研磨工序，其使用使树脂中含有研磨磨粒而制成的第一 刷对所述端面进行研磨；以及第二研磨工序，其使用由不含所述研磨磨 粒的树脂制成的第二刷来进一步研磨所述端面。这里，所述研磨方法的特征在于，所述研磨磨粒由氧化铝或金刚石 形成。此外，所述研磨方法的特征在于，作为所述第一刷的材料的所述树 脂是聚酰胺树脂或聚酯树脂。再有，所述研磨方法的特征在于，在所述第一研磨工序和所述第二 研磨工序中，使层叠后的圆盘状基板的外周端面与第一刷或第二刷面对， 对在该外周端面上设置的侧壁部和倒角部同时进行研磨。还有，所述研磨方法的特征在于，将外径比该圆盘状基板的外径小的 间隔件夹在相邻的该圆盘状基板之间，从而将所述圆盘状基板层叠起来。此外，如果所述研磨方法的特征在于，在所述第一研磨工序中，在 使所述层叠后的圆盘状基板与所述第一刷面对而对所述基板进行研磨 后，使该层叠后的圆盘状基板颠倒并与该第一刷面对来对所述基板进行 研磨，则在可实现研磨状态的均匀化方面优选。再有，所述研磨方法的特征在于，在所述第二研磨工序中，在使所述层叠后的圆盘状基板与所述第二刷面对而对所述基板进行研磨后，使 该层叠后的圆盘状基板颠倒并与该第二刷面对来对所述基板进行研磨。而且，所述研磨方法的特征在于，所述第一研磨工序具备多个所述 第一刷，多个所述层叠后的圆盘状基板设置于不同的位置，使多个所述 层叠后的圆盘状基板中的每一个与多个该第一刷接触来对所述基板进行 研磨，然后，使多个该层叠后的圆盘状基板中的每一个移动到该层叠后 的圆盘状基板的位置中的一个位置并与多个该第一刷接触，来对所述基 板进行研磨。此外，所述研磨方法的特征在于，所述第二研磨工序具备多个所述 第二刷，多个所述层叠后的圆盘状基板设置于不同的位置，使多个所述 层叠后的圆盘状基板中的每一个与多个该第二刷接触来对所述基板进行 研磨，然后，使多个该层叠后的圆盘状基板中的每一个移动到该层叠后 的圆盘状基板的位置中的一个位置并与多个该第二刷接触，来对所述基 板迸行研磨。从其它观点来看，本发明的研磨装置使用研磨液来对圆盘状基板的 外周端面进行研磨，其特征在于，该研磨装置具备安装单元，其用于 安装隔着间隔件层叠起来的所述圆盘状基板；以及研磨单元，其具备由 使树脂中含有研磨磨粒而制成的刷，使该刷与安装在所述安装单元上的 所述圆盘状基板的所述外周端面的侧壁部和倒角部接触，对该侧壁部和 该倒角部同时进行研磨。这里，所述研磨装置的特征在于，所述研磨单元具备使所述圆盘状基板向第一方向旋转的第一旋转机构；使所述刷向与该第一方向相反 的第二方向旋转的第二旋转机构；以及使该圆盘状基板和该刷在轴向上 相对地往复移动的移动机构。此外，所述研磨装置的特征在于，所述刷由聚酰胺树脂或聚酯树脂 以及研磨磨粒形成，所述研磨磨粒由氧化铝或金刚石形成。根据如上述那样构成的本发明，与不釆用这些结构的情况相比，可 大幅提高刷的研磨性能，并可对圆盘状基板的端面实现优异的镜面化。
图1A 图1H是表示本实施方式所应用的圆盘状基板(盘基板)的制造工序的图。图2是表示研磨装置的概要结构的图。图3是用于说明在研磨装置中设置的刷(含磨粒的刷、树脂刷)的 状态的图。图4是用于说明研磨装置的刷(含磨粒的刷、树脂刷)与将圆盘状 基板层叠而成的层叠加工体的安装状态的图。图5是在第一研磨工序中使用含磨粒的刷来进行的研磨处理的示意图。图6是详细描述图1C所示的外周研磨工序的流程图。符号说明10:圆盘状基板；13:外周；13a:侧壁部；13b:倒角部；40:间 隔件；50:含磨粒的刷；51:毛；51a:前端部(毛尖)；60:树脂刷； 100:研磨装置；200:层叠加工体。
具体实施方式
下面，参照附图来对本发明的实施方式详细地进行说明。图1A 图1H是表示本实施方式所应用的圆盘状基板(盘基板)的制造工序的图。在该制造工序中，首先，在图1A所示的一次粗研磨(lap) 工序中，将圆盘状基板(加工体)10的原材料载置于平台21上，磨削圆 盘状基板10的平面11。此时，在载置有圆盘状基板10的平台21的表面上分散并嵌入例如金刚石的磨粒。接着，在图1B所示的内外周磨削工序中，用内周磨石22对设置在 圆盘状基板10的中心的开孔(hole)的内周12进行磨削，用外周磨石 23对圆盘状基板10的外周13进行磨削。此时，主要以提高同轴度为目 的，利用内周磨石22和外周磨石23在圆盘状基板10的半径方向上夹着 圆盘状基板10的内周12的面(内周端面)和外周13的面(外周端面) 对其同时进行加工。在该内周磨石22和外周磨石23的表面上分散嵌入 例如金刚石的磨粒。在图1C所示的外周研磨工序中，首先， 一边供给浆料(研磨液)，一边使用外周研磨用刷即含磨粒的刷50对在图IB所示的内外周磨削工 序中磨削后的圆盘状基板10的外周13进行刷研磨，然后， 一边供给浆 料一边用树脂刷60进行刷研磨。然后，在图1D所示的二次粗研磨工序中，将圆盘状基板10载置于 平台21上，进一步磨削圆盘状基板10的平面11。接着，在图1E所示的内周研磨工序中，在圆盘状基板10的中心的 开孔中插入内周研磨用刷25，研磨圆盘状基板10的内周12。然后，在 图1F所示的一次抛光工序中，将圆盘状基板10载置于平台27上，磨光 圆盘状基板10的平面11。在此时的研磨中，作为例如无纺布(研磨布) 使用硬质抛光剂。进而，在图1G所示的二次抛光工序中，进行使用了软 质抛光剂的平面研磨。然后，在图1H所示的最终清洗/检查工序中进行 清洗和检査，制造作为盘基板的圆盘状基板IO。这里，对作为本实施方式的特征工序的图1C所示的外周研磨工序进 行详细描述。图2 图4表示在进行外周研磨工序时使用的研磨装置100的结构。 图2是表示研磨装置100的概要结构的图，图3是用于说明设置在研磨 装置100中的刷(含磨粒的刷50、树脂刷60)的状态的图。此外，图4 是用于说明研磨装置100的刷(含磨粒的刷50、树脂刷60)与将圆盘状 基板10层叠而成的层叠加工体200的安装状态的图。在本实施方式中，外周研磨工序由使用含磨粒的刷50的第一研磨工 序和使用树脂刷60的第二研磨工序这两个工序构成。在该第一研磨工序 及第二研磨工序中，分别使用在图2 图4中说明的研磨装置100， 一边 供给桨料(研磨液) 一边进行研磨作业。图2所示的研磨装置100具备进行研磨作业的研磨作业区域110; 和在将层叠加工体200向该研磨作业区域IIO安装时打开的窗111。此夕卜， 作为刷(含磨粒的刷50、树脂刷60)的旋转/滑动机构，具备使刷(含磨 粒的刷50、树脂刷60)旋转的驱动电动机121、使刷(含磨粒的刷50、 树脂刷60)在轴向上往复移动的滑动机构122。该滑动机构122作为使圆盘状基板10 (层叠加工体200)和刷相对地往复移动的移动机构的一例而发挥功能，该滑动机构122通过滑动用的电动机(未图示)和连杆 机构(未图示)，可使刷在轴向往复移动。驱动电动机121作为使刷向与 圆盘状基板10 (层叠加工体200)的旋转方向相反的方向旋转的第二旋 转机构的一例而发挥功能。此外，研磨装置100具有在安装多组层叠加工体200后成为各层叠 加工体200的旋转的一端的多个支撑轴132。在图2所示的示例中，示出 与两组层叠加工体200对应的两个支撑轴132。另外，具备将刷(含磨粒 的刷50、树脂刷60)向多组层叠加工体200按压的刷移动机构141。在 本实施方式中，如图4所示，将两个刷(含磨粒的刷50、树脂刷60)从 图中左右两侧向两组层叠加工体200按压，图2所示的刷移动机构141 设置在图中的左右两侧。另外，如图3所示，研磨作业区域IIO在两侧配置有刷(含磨粒的 刷50、树脂刷60)，在刷之间设有可安装两组层叠加工体200的两个安 装部131。该安装部131作为安装单元的一例而发挥功能，用于安装隔着 间隔件40 (后述)层叠起来的层叠加工体200。此外，在研磨作业区域 110中设有多个用于供给浆料的喷嘴113。另外，在研磨作业区域110的 下方，作为第一旋转机构的一例，设有使安装在安装部131上的层叠加 工体200向与刷相反的方向旋转驱动的驱动轴133。在安装于研磨作业区域110的安装部131上的两组层叠加工体200中 插入有轴210，这两组层叠加工体200在图4所示的状态下与两个刷(含磨 粒的刷50、树脂刷60)接触。进而，层叠加工体200借助于驱动轴133所 产生的驱动力旋转，并且，两个刷(含磨粒的刷50、树脂刷60)通过驱动 电动机121旋转，由此进行研磨。刷(含磨粒的刷50、树脂刷60)使由多 根构成的刷毛在例如不锈钢制的圆环芯材等上密集成束并呈放射状配置。图5是在第一研磨工序中使用含磨粒的刷50来进行的研磨处理的示 意图。在该图5中示出了含磨粒的刷50的刷毛51和该刷毛51的前端部 (毛尖)51a。此外，层叠加工体200将间隔件40夹在中间而将作为被 研磨材料的圆盘状基板IO层叠起来。这里，虽然在圆盘状基板10的外周13存在侧壁部13a和倒角部13b，但通过将间隔件40夹在中间来层叠 圆盘状基板10，从而能够在圆盘状基板10与隔着间隔件40相邻的圆盘 状基板10之间形成间隙，可研磨倒角部13b的角部而使其曲面化。
这里，对于在本实施方式中使用的含磨粒的刷50，作为刷毛51的 刷毛材料，例如在以尼龙(注册商标)总称的聚酰胺树脂中含有氧化铝 (矾土)的磨粒。通过使用在聚酰胺树脂中含有矾土磨粒的材料来作为 刷毛51，从而刷毛51的硬度(弹力和粘度)变强，可提高韧性和抗弯曲 疲劳性。其结果，可提高研磨能力，即使在使用较细的刷毛51的情况下 也可良好地进行研磨。
而且，为了研磨倒角部13b的角部，优选使前端部(刷毛尖)51a 进入由间隔件40形成的间隙。通常，为了使刷的毛尖进入圆盘状基板IO 和相邻的圆盘状基板IO之间而使用较细的刷毛为好，但在通常的树脂制 的刷中，若刷毛变细，则硬度变弱从而研磨能力下降。但是，通过使用 在聚酰胺树脂中含有矾土磨粒的含磨粒的刷50，即使刷毛51细也可得到 硬度大的刷，也可良好地研磨圆盘状基板IO的倒角部13b，对于角的曲 面化也可实现良好的研磨。
这里，作为间隔件40的功能，除了使前端部(毛尖)51a进入倒角 部13b的角部中的功能外，还具有阻挡的功能，以使得前端部(毛尖) 51a不会进入比间隔件40更靠内侧的位置。通过该后一功能，可预先防 止对圆盘状基板10的上下平面部进行多余的研磨。
此外，经发明人等的研究而掌握了含磨粒的刷50与不含磨粒的树 脂刷60相比容易磨损，且通过较短时间的使用而具有刷毛51的前端部 (毛尖)51a变细的倾向。在图5中示出了刷毛51的前端部(毛尖)51a 变细的状况。如果该刷毛51的前端部(毛尖)51a变细，则前端部(毛 尖)51a容易进入由间隔件40形成的间隙中，在这点上，对于外周13的 侧壁部13a和倒角部13b的研磨成为优选的状况。这样，通过使用例如 在聚酰胺树脂中含有氧化铝(矾土)磨粒的含磨粒的刷50来进行研磨， 可借助于硬度强的含磨粒的刷50所具有的高度的研磨能力和由前端部 (毛尖)51a变细所产生的进入效果，来实现在通常的树脂刷60中不能获得的伤痕的平滑化和角的曲面化。即，在研磨单元中具备使树脂中含 有研磨磨粒而制成的、与圆盘状基板10的外周13 (外周端面)抵接的含
磨粒的刷50，使含磨粒的刷50与安装在安装单元(安装部131等)上的 圆盘状基板10的外周13 (外周端面)的侧壁部13a和倒角部13b接触， 对侧壁部13a和倒角部13b同时进行研磨。
而且，作为含磨粒的刷50的其它方式，也可使用在聚酰胺树脂中含 有金刚石等磨粒的刷，和在PBT (聚对苯二甲酸丁二醇酯polybutylene terephthalate)树脂等聚酯树脂中含有氧化铝、金刚石等磨粒的刷。
在使用了这种含磨粒的刷50的第一研磨工序后，转移到第二研磨工 序，该第二研磨工序通过使用了图2 图4所示的树脂刷60的研磨装置 100， 一边供给浆料一边使用树脂刷60。可通过所述第一研磨工序来使例 如由磨石磨削所产生的深的伤痕变光滑，随后通过第二研磨工序来研磨 表面直到预定的加工精度为止。而且，虽然将使用树脂刷60的研磨装置 100与使用含磨粒的刷50的研磨装置100分开设置在縮短工序时间方面 是优选的，但也可通过在同一研磨装置100中将刷从含磨粒的刷50改变 为树脂刷60，在第一研磨工序后转移到第二研磨工序。
接着，对使用所述研磨装置100来执行的外周研磨处理的流程进行 说明。
图6是详细描述图1C所示的外周研磨工序的流程图。这些处理主要 通过在研磨装置100中设置的控制部(未图示)来执行。在外周研磨工 序中，首先，将圆盘状基板10层叠而形成层叠加工体200 (步骤IOI)。 在本实施方式中，将圆盘状基板10和外径比该圆盘状基板10的外径小 的间隔件40交替地插入并重叠(参照图5)，形成例如将150张左右的圆 盘状基板10重叠的层叠加工体200。
然后，将轴210插入层叠加工体200中，在图3所示的安装有含磨 粒的刷50的研磨装置100中，在该研磨装置100的设置于研磨作业区域 110中的两处安装部131上安装多个(本实施方式中为两组)层叠加工体 200 (步骤102)。
接着，使图2所示的两个支撑轴132向图2的下方移动，支撑这两组层叠加工体200的轴210。进而，如图3所示那样，使多个(图3中为 两个)含磨粒的刷50从两侧接触在研磨作业区域110中安装的层叠加工 体200 (步骤103)。由此，如图4所示，在多组层叠加工体200和多个 含磨粒的刷50接触的状态下将层叠加工体200设置于研磨装置100中。
在这样将层叠加工体200设置在研磨装置100中后， 一边供给浆料 一边使两组层叠加工体200向相同方向旋转，且使两个含磨粒的刷50在 轴向(图2 图4的上下方向)上往复移动，同时向与层叠加工体200的 旋转方向相反的方向旋转，进行研磨(步骤104)。这里，控制部(未图 示)判断是否经过了预先设定的第一预定时间(步骤105)。作为该第一 预定时间，预先设定为第一研磨处理优选的时间。在没有经过第一预定 时间的情况下，重复进行步骤104的处理直到经过第一预定时间为止。
在经过了第一预定时间的情况下，用同一安装部131根据是否使层 叠加工体沿轴向(图中的上下方向)颠倒而进行不同的处理(步骤106)。 在没有使层叠加工体颠倒的情况下，根据在例如显示器(未图示)上显 示的作业指示等来使轴向颠倒(步骤107)，并回到步骤103进行处理。 在层叠加工体沿轴向颠倒后的情况下，根据是否关于两组层叠加工体200 更换了安装部131的位置来进行不同的处理(步骤108)。在更换了位置 后的情况下，向步骤110以下的第二研磨工序转移。在没有更换位置的 情况下，根据在例如显示器(未图示)上显示的作业指示等来进行位置 的调换(步骤109)，并回到步骤103重复进行处理。这样，关于含磨粒 的刷50，进行四次预定时间的研磨处理。通过进行沿轴向的颠倒，可改变 含磨粒的刷50相对于在层叠加工体200上层叠的圆盘状基板10的接触旋 转方向，可使研磨状态进一步均匀化。此外，通过相对于安装部131调换 层叠加工体200的位置，可消除与含磨粒的刷50的接触位置所产生的研 磨结果的偏差，可使研磨状态进一步均匀化。由于一方位于旋转的刷(含 磨粒的刷50)朝向的方向，另一方位于旋转的刷避开的方向等，与旋转的 刷的接触状态因安装部131的位置而不同，所以改变位置的意义很大。
对如上述那样通过第一研磨工序进行研磨后的层叠加工体200的圆 盘状基板10，执行步骤110以下的第二研磨工序。在该第二研磨工序中，从在第一研磨工序中使用的研磨装置100取下层叠加工体200，用如图3 所示那样安装有树脂刷60的研磨装置IOO进行处理。这里，首先，将结 束了第一研磨工序的多个(在本实施方式中为两组)层叠加工体200安 装在该研磨装置100的设置于研磨作业区域110中的两处安装部131 (参 照图3)上(步骤110)。接着，使图2所示的两个支撑轴132向图2的 下方移动，支撑这两组层叠加工体200的轴210。进而，如图3所示那样， 使多个(图3中两个)树脂刷60从两侧接触在研磨作业区域110中安装 的层叠加工体200 (步骤lll)，在图4所示的状态下等待研磨的开始。 然后， 一边供给浆料一边使两组层叠加工体200向同一方向旋转， 并使两个树脂刷60在轴向(图2 图4的上下方向)上往复移动，同时 向与层叠加工体200的旋转方向相反的方向旋转，进行研磨(步骤112)。 这里，控制部(未图示)判断是否经过了预先设定的第二预定时间(步 骤113)。该第二预定时间预先设定为该第二研磨处理优选的时间。在没 有经过第二预定时间的情况下，重复步骤112的处理直到经过第二预定 时间为止。
在经过了第二预定时间的情况下，用同一安装部131根据是否使层 叠加工体沿轴向(图中的上下方向)颠倒而进行不同的处理(步骤114)。 在没有使层叠加工体颠倒的情况下，在例如显示器(未图示)上显示作 业指示，例如根据显示来使层叠加工体沿轴向颠倒(步骤115)，并回到 步骤111进行处理。在层叠加工体沿轴向颠倒后的情况下，根据是否关 于两组层叠加工体200更换了安装部131的位置来进行不同处理(步骤 116)。在没有更换位置的情况下，根据在例如显示器(未图示)上显示 的作业指示等进行位置的调换(步骤117)，并回到步骤111进行处理。 在更换完位置的情况下，将层叠加工体200取下，结束处理。
这样，关于树脂刷60，进行四次预定时间的研磨处理。与第一研磨 处理同样，通过进行沿轴向的颠倒，可改变树脂刷60相对于在层叠加工 体200上层叠的圆盘状基板10的旋转方向。此外，通过相对于安装部131 调换层叠加工体200的位置，可消除与树脂刷60的接触位置所产生的研 磨结果的偏差。由此，可使研磨状态进一步均匀化。如以上那样执行由步骤101 步骤109所示的第一研磨处理以及步
骤no 步骤U7所示的第二研磨处理构成的外周研磨工序。
接着，在下面表示采用本实施方式的一个实施例。
*盘的种类1.89英寸
圆盘状基板10
外周13的直径(外径)48mm
厚度0.55mm 间隔件40
直径46mm
厚度0.2mm 层叠加工体200
圆盘状基板10的层叠张数150张
间隔件40:针对每张基板进行插入 含磨粒的刷50
外径150mm
树脂尼龙(注册商标)(例如尼龙6)
线径0.3mm
磨粒氧化铝(矾土)
磨粒直径30pm
磨粒粒度号(番手)#600 含量20%
树脂刷60
外径150mm
材质66尼龙 线径0.2匪
*浆料
比重1.2 加工时间
第一研磨工序重复进行四次23分钟(第一预定时间)第二研磨工序重复进行四次12分钟(第二预定时间) 通过所述实施例所进行的研磨，在前一工序即磨削工序中由外周磨石23所致的深的磨削伤平滑化，并可将层叠加工体200的圆盘状基板10研磨到预定的加工精度。而且，作为磨粒直径是20 60pm左右较好，作为磨粒粒度号使用 #320、 #500、 #800也可得到良好的效果。但是，作为观察加工时间和 加工面的结果，#600最优选。此外，作为磨粒，也可釆用金刚石磨粒。 再有，作为含磨粒的刷50的树脂，也可使用PBT (polybutylene terephthalate)等树脂。接着，对比较例进行说明。 *磨粒粒度号#1000、弁1200发明人等所进行的实验的结果，磨粒过细(例如11 18拜左右)， 加工时间过长，作为外周研磨单元并不优选。
磨粒粒度号#240、弁180、弁IOO发明人等所进行的实验的结果，磨粒过大(例如73 149，左右)， 反而产生该磨粒所致的线形伤痕。
磨粒碳化硅考虑到比氧化铝(矾土)软为主要原因，不能得到理想的研磨结果。 从以上的实施例/比较例来看，作为在第一研磨工序中使用的含磨粒 的刷50，作为树脂，可采用尼龙6、 610、 612等聚酰胺树脂、PBT (polybutyleneterephthalate)等聚酯树脂。此外，作为磨粒的种类，优选 氧化铝、金刚石，从经济性来看优选氧化铝。作为磨粒粒度号，优选弁 320 #800，更优选#600。如上所述，根据本实施方式，使用在刷的纤维中含有氧化铝(矾土) 的含磨粒的刷50和例如作为单纯的尼龙刷的树脂刷60来研磨圆盘状基 板10的外周13。作为使用树脂刷60的研磨的前一工序，使用含磨粒的 刷50来进行硏磨，由此，可使仅用浆料和树脂刷60无法磨平的磨削伤 的表面变平滑，不会残留微细伤痕，可得到良好的研磨结果。
权利要求
1.一种圆盘状基板的研磨方法，该方法使用研磨液来对圆盘状基板的端面进行研磨，其特征在于，该圆盘状基板的研磨方法依次具备第一研磨工序，其使用使树脂中含有研磨磨粒而制成的第一刷对所述端面进行研磨；以及第二研磨工序，其使用由不含所述研磨磨粒的树脂制成的第二刷来进一步研磨所述端面。
2. 根据权利要求1所述的圆盘状基板的研磨方法，其特征在于，所述研磨磨粒由氧化铝或金刚石形成。
3. 根据权利要求1所述的圆盘状基板的研磨方法，其特征在于， 作为所述第一刷的材料的所述树脂是聚酰胺树脂或聚酯树脂。
4. 根据权利要求l所述的圆盘状基板的研磨方法，其特征在于， 在所述第一研磨工序和所述第二研磨工序中，将圆盘状基板层叠，使层叠后的圆盘状基板的外周端面与第一刷或第二刷面对，对在该外周 端面上设置的侧壁部和倒角部同时进行研磨。
5. 根据权利要求4所述的圆盘状基板的研磨方法，其特征在于， 将外径比该圆盘状基板的外径小的间隔件夹在相邻的该圆盘状基板之间，从而将所述圆盘状基板层叠起来。
6. 根据权利要求4所述的圆盘状基板的研磨方法，其特征在于，在所述第一研磨工序中，在使所述层叠后的圆盘状基板与所述第一 刷面对而对所述基板进行研磨后，使该层叠后的圆盘状基板颠倒并与该 第一刷面对来对所述基板进行研磨。
7. 根据权利要求4所述的圆盘状基板的研磨方法，其特征在于，在所述第二研磨工序中，在使所述层叠后的圆盘状基板与所述第二 刷面对而对所述基板进行研磨后，使该层叠后的圆盘状基板颠倒并与该 第二刷面对来对所述基板进行研磨。
8. 根据权利要求4所述的圆盘状基板的研磨方法，其特征在于， 所述第一研磨工序具备多个所述第一刷，多个所述层叠后的圆盘状基板设置于不同的位置，使多个所述层叠后的圆盘状基板中的每一个与 多个该第一刷接触来对所述基板进行研磨，然后，使多个该层叠后的圆 盘状基板中的每一个移动到该层叠后的圆盘状基板的位置中的一个位置 并与多个该第一刷接触，来对所述基板进行研磨。
9. 根据权利要求4所述的圆盘状基板的研磨方法，其特征在于， 所述第二研磨工序具备多个所述第二刷，多个所述层叠后的圆盘状基板设置于不同的位置，使多个所述层叠后的圆盘状基板中的每一个与 多个该第二刷接触来对所述基板进行研磨，然后，使多个该层叠后的圆 盘状基板中的每一个移动到该层叠后的圆盘状基板的位置中的一个位置 并与多个该第二刷接触，来对所述基板进行研磨。
10. —种研磨装置，该研磨装置使用研磨液来对圆盘状基板的外周端面进行研磨，其特征在于，该研磨装置具备安装单元，其用于安装隔着间隔件层叠起来的所述圆盘状基板；以及研磨单元，其具备由含有研磨磨粒的树脂制成的刷，使该刷与安装 在所述安装单元上的所述圆盘状基板的所述外周端面的侧壁部和倒角部 接触，对该侧壁部和该倒角部同时进行研磨。
11. 根据权利要求10所述的研磨装置，其特征在于， 所述研磨单元具备使所述圆盘状基板向第一方向旋转的第一旋转机构；使所述刷向与该第一方向相反的第二方向旋转的第二旋转机构；以及使该圆盘状基板和该刷在轴向上相对地往复移动的移动机构。
12. 根据权利要求10所述的研磨装置，其特征在于， 所述刷由聚酰胺树脂或聚酯树脂以及研磨磨粒形成，所述研磨磨粒由氧化铝或金刚石形成。
全文摘要
本发明提供圆盘状基板的研磨方法、研磨装置，在利用刷所进行的圆盘状基板的外周研磨工序中，大幅提高研磨性能以使例如磨削伤变平滑。圆盘状基板的研磨方法使用研磨液来研磨圆盘状基板的端面，该方法具备第一研磨工序(S101～S109)，其使用使树脂中含有研磨磨粒而制成的第一刷来研磨端面；以及第二研磨工序(S110～S117)，其在通过该第一研磨工序而使用第一刷来研磨端面后，使用由不含研磨磨粒的树脂制成的第二刷来进一步研磨端面。
文档编号B24B9/00GK101249623SQ200810009688
公开日2008年8月27日 申请日期2008年2月20日 优先权日2007年2月20日
发明者羽根田和幸, 藤波聪 申请人:昭和电工株式会社;西铁城精密株式会社