专利名称：一种内传输转轴单元快拆结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种快速拆卸的组装结构，特别指一种应用于真空賊镀的 腔体转轴单元的快拆结构。
背景技术：
真空溅镀技术是真空薄膜制程中应用层面相当广泛的 一项重要技术，近年 来己逐渐取代喷导电漆或电解电镀等方式，大量应用在光电、通信及半导体等 产业，成为相当重要的表面处理技术。
参阅图1所示， 一般真空溅镀技术，利用磁控賊镀阴极板11,将离子化
的气体分子13以高速轰击激发镀材18,使镀膜分子12均匀散布在真空腔体 IO内各个角落，再藉由电位差高速溅射在被镀物19表面上，进而达到镀膜的 目的。
而因应真空溅镀制程应用层面日广，为增加相关镀膜产品的产业竟争力， 目前现有大部分賊镀设备为连续式多腔体型式，以取代传统批次式或晶圓式生 产方式。如图2所示，连续式传输作业流程如可概分为进料区、賊镀区 及出料区三个区域。每一个区域都至少由一真空腔体10组成，再利用传输机 构将被镀物19输送至不同区域的真空腔体10内进行各项程序作业。而一般连 续式真空溅镀设备其自动化传输机构皆利用极限开关及摩擦原理来完成不同 腔体之间传输顺序。
请再参阅图3，每个腔体分别具有一部伺服马达13带动真空腔体10底部 前端的第一个轮轴14，再藉由链条17带动后半部的轮轴14，托盘12则置于 轮轴14两侧的胶环16上方，藉由托盘12与胶环16之间摩擦力的作动下，将 托盘12带动至下一个真空腔体10,达成连续式的作业目的。
在进行溅镀作业期间，真空腔体10某些内部污染物是无法避免的，如被 轰击激发的镀膜分子12均勻散布在真空腔体10四周， 一部分成功溅镀在被镀物19表面而达到镀膜的目的，而某部份散布在其它角落的镀膜分子12,便会 逐渐沉积在真空腔体IO底部及传输机构如轮轴14、链条17表面等。 一段时 间下来，真空腔体10内壁会残留镀膜分子12沉积物，此沉积物挥发将造成真 空腔体内部污染，为维持镀膜高质量要求，溅镀设备必须定时停机保养，拆卸 真空腔体10内部零件，刮除抛光真空腔体10内壁表面镀膜分子12沉积物后 ,方可重新组合真空腔体IO再次使用。
然而，如图3所示， 一般组设于该真空腔体10内的轮轴14，其二端结合 于二相对的轮轴固定座15间时，将该轮轴14杆体端穿过4仑轴固定座15对应 圆孔后，再利用螺锁等方式固定。故当有某一轮轴14损坏须更换，或使用者 欲清除沉积物时，必须将轮轴固定座15自其位置拆卸，方能将轮轴14取出作 清除作业，而无法就单一的轮轴14进行维修，或折卸的清洁工作，大大降低 设备的稼动率及使用率，而有加以改良的必要。
实用新型内容
本实用新型的主要目的，在于解决上述的问题而提供一种内传输转轴单元 快拆结构，其令真空溅镀用于输送载盘的转轴单元，能具有快速拆卸、装设于 框架上的特点。
为实现上述目的，本实用新型的内传输转轴单元快拆结构应用于真空溅镀 的设备，由一腔体，以及组设于该腔体内的框架、多个转轴单元、 一载盘、一 伺服马达，以及二导引单元等构件组成。将这些转轴单元等间隔枢组于该框架 上，且该框架供这些转轴单元枢固的位置，形成多个开放的容置槽，并于相邻 容置槽的一外侧边缘成型一较大圓径的定位槽，且各该容置槽侧边适处另形成 多个供螺丝穿设的通孔。而各该转轴单元跨置于该框架多个呈横向平行的容置 槽上，其上除等距套设有多个滚轮外，并于对应各该容置槽适当处设有多个轴 承座，各该轴承座内缘可供轴承置设，外部一外侧突设有一凸轴部，以及二呈 相对的螺孔部。当转轴单元置设于这些容置槽内时，各该凸轴部恰可容置于对 应的定位槽内，再二螺丝分别穿过该通后，螺锁于该轴承座的锁孔部，以固定 该转轴单元，达到^f青准且稳固定位的组装效果。其次，该载盘^L置于这些转轴 单元的滚轮上，且这些转轴单元彼此之间，可通过多个皮带，该伺服马达作传动连结。而该二导引单元设于该腔体内对应载盘位置的二侧，各该导引单元由 二导轮座、多个导轮与枢轴，以及一盖板等构件组成。各该导轮座上形成有多 个轮孔，且各该轮孔对应该载盘的内侧剖设一缺口，当各该导轮利用枢轴枢组 于轮孔内时，这些导轮的轮面凸出于该缺口，再通过该盖板盖设于该二导轮座 上端面而固定。以当该载盘在这些滚轮上被输送位移时，可通过该二导引单元 导正其输送的路径，避免产生不当的偏移情形。
图1:真空溅镀原理示意图。 图2:现有连续式溅渡作业流程示意图。 图3:现有真空腔体立体分解图。 图4:本实用新型的立体分解图。 图5:本实用新型局部;^文大的立体分解图。 图6:实用新型导引单元应用的筒易示意图。 其中，附图标记
腔体20框架30
容置槽31定位槽32
通孔33转轴单元40
滚轮41轴承座42
螺孔部421凸轴部422
轴承43载盘50
伺服马达60传动轴61
导引单元70导轮座71
轮孔711缺口 712
导轮72枢轴73
盖板74螺丝8具体实施方式
为使能进一步了解本实用新型的结构设计及技术，谨配合图式再予说明于后
参阅图4~图6所示，本实用新型的内传输转轴单元快拆结构，由构成真 空'减镀设备的腔体20、框架30、多个转轴单元40、 一载盘50、伺服马达60 ，以及二导引单元70等构件组成，其中
该腔体20内缘中空，可供该框架30、转轴单元40、载盘50、伺服马达 60，以及导引单元70等构件容置。缘于此腔体20乃一现有结构，不再赘述。
该框架30为一矩形框架，其二侧及中间的框板上，等间隔形成有成多个 相连通且呈开放的容置槽31及定位槽32，且令各该定位槽32略大于容置槽 31。各该容置槽31侧边适处，形成多个通孔33，供锁固用的螺丝81穿设。
这些转轴单元40跨置于该框架30的多个呈横向平行的容置槽31上。各 该转轴单元40外缘，除等距套设有多个滚專仑41外，并于对应各该容置槽31 适当处设有多个轴承座42。各该轴承座42内缘可供轴承43置设，并于二旁 侧形成有对应这些通孔33的螺孔部421,而轴向对应该定位槽32的外侧面， 则突设有一凸轴部422。当各该转轴单元40分别置设于这些横向平行的容置 槽31内时，各该凸轴部422恰可容置于对应定位槽32内，达到精准且稳固的 定位。再令各该螺丝81穿设通孔33后螺锁于螺孔部421,以固定该转轴单元 40。
该载盘50为矩形板体，放置于这些转轴单元40的滚轮41上。而该伺服 马达60固设于腔体IO置放的脚架(图中未显示)侧边，且其传动轴61与中 间位置的转轴单元40结合。同时这些转轴单元40彼此之间，可通过多个皮带 (图中未显示)作传动连结，当该伺服马达60运转时，可带动这些转轴单元 40旋转，并藉由这些转轴单元40同步带动该载盘50输送位移。由于该载盘 50及伺服马达60乃现有结构，不再赘述。
该二导引单元70相对固设于该载盘50位于腔体10内外侧邻接处。各该 导引单元70由二呈直接相隔的导轮座71、多个导轮72与枢轴73,以及一盖 板74等构件组成。其中各该导轮座71上形成有多个轮孔711，且各该轮孔711 对应该载盘50的内侧剖设一缺口 712,当各该导轮72利用枢轴73枢组于轮 孔711内时，这些导專仑72的4仑面凸出于该缺口 712夕卜。而该盖板74盖设于该 二导轮座71上端面，用以固定枢组的导轮72。当该载盘50在这些滚轮41上
6被输送位移时，可通过该二导引单元70的导轮72与载盘50的侧边抵触，而 导正其输送的路径，避免输送时产生不当或过大偏移情形。
据此，通过上述的构件组成，利用这些枢转单元40可分别快速组装及拆 卸于框架30的结构设计，不仅提升机构零件清洁或维修时拆卸或组装的效率 ，亦能确保轴承43装设的稳固性。同时通过该二导引单元70的设置，更能确 保载盘50输送位移的平稳性。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的 普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以作出多个改进 和润饰，这些改进和润饰也应^L为本实用新型的保护范围。
权利要求1. 一种内传输转轴单元快拆结构，包含应用于真空溅镀的框架，以及多个枢固于该框架上的转轴单元，其特征在于该框架供转轴单元枢固的位置形成多个开放的容置槽，且各该容置槽侧边形成有多个供螺丝穿设的通孔；转轴单元跨置于该框架的多个呈横向平行的容置槽上，容置槽上除等距套设有多个滚轮外，并在对应各该容置槽的适当位置设有多个轴承座，各该轴承座内缘供设置轴承，外部则形成有对应各该通孔的用于供各该螺丝锁固，以固定该转轴单元的螺孔部。
2. 根据权利要求1所述的内传输转轴单元快拆结构，其特征在于，各该容置槽形成于框架上时，其相邻的一外侧边^^另成型有一定位槽，同时各该轴承座相对应的外侧则突设有一凸轴部，转轴单元置设于这些容置槽内时，各该凸轴部容置于对应的定位槽内。
3. 根据权利要求1所述的内传输转轴单元快拆结构，其特征在于，该框架及多个转轴单元组设于一腔体内，且该腔体内对应该载盘二侧边的适当位置另设有二导引单元，各该导引单元由二导轮座、多个导轮与枢轴，以及一盖板组成，各该导轮座上形成有多个轮孔，且各该轮孔对应该载盘的内侧剖设一缺口，各该导轮利用枢轴枢组于轮孔内时，导轮的轮面凸出于该缺口，该盖板盖设于该二导轮座上端面。
专利摘要本实用新型公开了一种内传输转轴单元快拆结构，包含应用于真空溅镀的框架，以及多个枢固于该框架上的转轴单元，该框架供转轴单元枢固的位置形成多个开放的容置槽，且各该容置槽侧边形成有多个供螺丝穿设的通孔；转轴单元跨置于该框架的多个呈横向平行的容置槽上，容置槽上除等距套设有多个滚轮外，并在对应各该容置槽的适当位置设有多个轴承座，各该轴承座内缘供设置轴承，外部则形成有对应各该通孔的用于供各该螺丝锁固，以固定该转轴单元的螺孔部。本实用新型不仅方便各该转轴单元的组装及拆卸，并能确保轴承装设的稳固。
文档编号C23C14/34GK201272828SQ200820129480
公开日2009年7月15日 申请日期2008年8月18日 优先权日2008年8月18日
发明者黎瑞海 申请人:凌嘉科技股份有限公司