专利名称：蚀刻清洗槽的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及蚀刻清洗设备，尤其涉及一种蚀刻清洗设备的蚀刻清洗槽。
背景技术：
蚀刻清洗技术广泛应用于电子、化学、机械等多个制造行业，对于一些精密的行 业，例如半导体、液晶显示、太阳能电池行业，蚀刻清洗效果直接关系到产品的质量和良品 率，显得尤其重要。对于槽式蚀刻清洗技术，需要使药水充分，进而使温度均匀才能使各个 产品的蚀刻清洗程度一致达到要求，通过泵使药水自循环是充分混合的一种有效方法。 目前，槽式蚀刻清洗技术所广泛使用的蚀刻清洗槽结构示意如图1所示，药水从 蚀刻清洗槽IO溢流到溢流暂存区13，并在重力的作用下流到暂存槽11中，然后用泵12将 药水从暂存槽11中抽回蚀刻清洗槽10中，完成药水自循环。 在一般情况下，这种槽式循环结构能满足蚀刻清洗要求，但是对蚀刻清洗要求很 高的行业来说，这种方法存在着明显的缺点需要一个附加暂存槽，占用空间和材料，对于 诸如半导体、液晶显示、太阳能行业来说，这种代价都是十分昂贵的。而且，溢流属于药水被 动式循环，不能使药水循环充分，泵抽回药水的流速较快，也会使进液口附近的产品蚀刻清 洗程度较大而造成不良，例如硅片蚀刻清洗中，会使进液口附近的硅片区比其它区域薄，造 成厚度不均的大面积不良。
发明内容鉴于现有技术中的上述问题，本实用新型的目的在于提供一种蚀刻清洗槽，不需 要暂存槽，同时使药水混合均匀，流动均匀，改善蚀刻清洗产品的质量。
为了实现上述目的，本实用新型提供了一种蚀刻清洗槽，包括 —槽体，所述槽体侧壁的上部外设一圈可存储药水的暂存区，所述暂存区侧壁比 槽体侧壁高，所述暂存区侧壁上开设有进液口 ，所述槽体侧壁的下部设有抽液口 ，所述槽体 底壁上方设置有鼓泡板，所述鼓泡板上开设有均与分布的鼓泡孔。 作为优选，本实用新型槽体形状为长方体形或圆柱体形。 本实用新型具有以下有益效果 减少了暂存槽，节省了空间和材料，同时使药水循环流动更均匀，提高了产品蚀刻 清洗效果。
图1为传统蚀刻清洗槽循环示意图； 图2为本实用新型的蚀刻清洗槽实施例一的结构示意图； 图3为图2的正视图； 图4为图2的俯视图； 图5为本实用新型的蚀刻清洗槽实施例一的工作示意图。[0016]
以下结合附图详细说明本实用新型的蚀刻清洗槽实施例。 实施例一 如图2至图4所示，以长方体形槽体为例，包括 —槽体20，所述槽体侧壁21的上部外设一圈可存储药水的暂存区24，所述暂存 区24侧壁比槽体侧壁21高，所述暂存区24的左侧壁241、右侧壁242、前侧壁243、后侧壁 244上分别设有进液口 23，所述槽体侧壁21的左侧壁211、右侧壁212的下部分别设有抽液 口 22，所述槽体底壁26上方设置有鼓泡板25，所述鼓泡板25上开设有均匀分布的鼓泡孔 251。 通过本实施例，药水循环由溢流被动循环变成了底部抽液底部进液的主动循环模 式，如图5所示本实用新型蚀刻清洗槽实施例工作示意图，药水通过泵12从槽体侧壁21的 抽液口 22抽出，回到上部的暂存区24，当液面高过侧壁21的高度后，药水自动溢流回蚀刻 清洗槽体20，完成循环，同时通过鼓泡盘25上的鼓泡孔251对药水均匀鼓泡，促使药水混合 更加均匀。 本实施例节省了暂存槽，从而节省了空间和材料，同时，主动循环模式使药水循环 更加均匀，暂存区的设置也解决了药水进液流速可能造成的产品不良状况，大大提高了蚀 刻清洗效果，特别适合蚀刻清洗要求精度高的行业使用。 在本实用新型的另一个实施例中，槽体底壁26向中心倾斜，使可能产生的蚀刻清 洗生成物顺利沉淀并排除。 在本实用新型的另一个实施例中，槽体侧壁21的顶部开设为锯齿状，使药水顺利 流动回蚀刻清洗槽体。 在本实用新型的另一个实施例中，所述过鼓泡孔251为圆形，产生均匀气泡使药 水更加均匀。
权利要求一种蚀刻清洗槽，其特征在于，包括一槽体，所述槽体侧壁的上部外设一圈可存储药水的暂存区，所述暂存区侧壁比槽体侧壁高，所述暂存区侧壁上开设有进液口，所述槽体侧壁的下部设有抽液口，所述槽体底壁上方设置有鼓泡板，所述鼓泡板上开设有均与分布的鼓泡孔。
2. 根据权利要求1所述的蚀刻清洗槽，其特征在于，所述槽体为长方体形。
3. 根据权利要求1所述的蚀刻清洗槽，其特征在于，所述槽体为圆柱体形。
4. 根据权利要求2所述的蚀刻清洗槽，其特征在于，所述暂存区的四个侧壁分别开设 有进液口 ，槽体左侧壁和右侧壁的下部分别开设有抽液口 。
5. 根据权利要求l-4任一项所述的蚀刻清洗槽，其特征在于，所述槽体底壁向中心倾斜。
6. 根据权利要求l-4任一项所述的蚀刻清洗槽，其特征在于，所述槽体侧壁顶部为锯 齿状。
7. 根据权利要求l-4任一项所述的蚀刻清洗槽，其特征在于，所述鼓泡孔为圆形。
专利摘要本实用新型公开了一种蚀刻清洗槽，包括一槽体，所述槽体侧壁的上部外设一圈可存储药水的暂存区，所述暂存区侧壁比槽体侧壁高，所述暂存区侧壁上开设有进液口，所述槽体侧壁的下部设有抽液口，所述槽体底壁上方设置有鼓泡板，所述鼓泡板上开设有均与分布的鼓泡孔。通过本实用新型的蚀刻清洗槽，不再需要暂存槽体，节省空间和材料，而且可以使蚀刻清洗药水混合更加均匀，进而使药水温度更加均匀，提高蚀刻产品的蚀刻清洗效果。
文档编号C23F1/08GK201473591SQ20092018964
公开日2010年5月19日 申请日期2009年7月22日 优先权日2009年7月22日
发明者王乾旭, 黄娟 申请人:吴东升