专利名称：一种石墨纽扣的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种镀膜过程中使用的石墨纽扣，尤其是指一种在太阳能电池的制作工艺中真空镀膜设备所使用的石墨纽扣。
背景技术：
在太阳能电池的制作工艺中，通常需要采用薄膜沉积工艺进行晶圆(wafer)的镀膜，例如，常使用等离子体增强化学气相沉积(PECVD，Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)镀一层减反射膜以达到提升效率的目的。目前使用的PECVD设备中，有板式 PECVD和管式PECVD两种，其中尤以管式PECVD最为常见。管式PECVD需要使用到石墨舟来装载晶圆。在进行晶圆表面镀膜时，将未镀膜的晶圆装载在石墨舟上，然后，将载有晶圆的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备腔体内，采用 PECVD工艺在晶圆上镀膜。在石墨舟上装载晶圆时，会用到很多石墨纽扣(pin)，主要是用来固定晶圆和增加石墨板对晶圆的导电性，以达到良好镀膜的作用。晶圆与石墨纽扣的接触部位在镀膜时会受到石墨纽扣的遮挡，因此石墨纽扣的形状决定了太阳能电池片的外观状况，而且石墨纽扣的使用寿命也会影响到太阳能电池的生产成本。
实用新型内容本实用新型主要解决的技术问题在于提供一种石墨纽扣，通过对石墨纽扣的结构进行改良，达到美化太阳能电池外观和降低使用成本的双重目的。为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案一种石墨纽扣，包括一个主体和两个端部；两个端部分别位于主体的顶面和底面； 所述端部与主体的连接处设有多个卡槽。作为本实用新型的优选方案，所述卡槽的数量为两个或四个。作为本实用新型的优选方案，所述卡槽的数量为两个时，所述端部在所述主体上的投影为一字形；优选地，所述投影不超出所述主体的外部轮廓。作为本实用新型的优选方案，所述卡槽数量为四个时，所述端部在所述主体上的投影为十字形；优选地，所述投影不超出所述主体的外部轮廓。作为本实用新型的优选方案，所述主体为圆柱形。相较于现有技术，本实用新型的有益效果在于传统的石墨纽扣端部为圆形，端部与主体之间是一整个环形的卡槽，用于卡持晶圆，因此由于石墨纽扣圆形端部的遮挡，镀膜后，晶圆上会有一个较大的半圆形的纽扣痕迹，如图1所示。而本实用新型设计的石墨纽扣，打破了原有的整个环形卡槽的设计，将石墨纽扣的端部结构进行改良，采用一字形或十字形替代传统的圆形，使一个石墨纽扣具有两个或四个卡槽，这样使石墨纽扣对晶圆的遮挡面积更小，镀膜后在晶圆上留下的痕迹更小如图2所示，因此可优化太阳能电池的外观；并且由于具有多个卡槽，一个石墨纽扣相应的可以使用多次，增加了石墨纽扣的使用寿命，降低了太阳能电池的生产成本。
图1是采用传统的石墨纽扣镀膜后的晶圆示意图；图2是采用实施例中的石墨纽扣镀膜后的晶圆示意图；图3a_3c是实施例一中石墨纽扣的结构示意图，其中图3a为俯视图，图北为左右视图，图3c为前后视图；图4a4c是实施例二中石墨纽扣的结构示意图，其中图如为俯视图，图4b为左右视图，图4c为前后视图。
具体实施方式
以下结合附图进一步详细说明本实用新型的优选实施例，为了示出的方便附图并未按照比例绘制实施例一请参阅图3a_3b，本实施例提供的石墨纽扣为一字型端部，其包括一个圆柱形的主体110和第一端部120及第二端部130 ；第一端部120和第二端部130分别位于主体110的顶面和底面；第一端部120在所述主体110上的投影为一字形，其投影不超出所述主体110 顶面的外部轮廓；第二端部130在所述主体110上的投影也为一字形，其投影不超出所述主体110底面的外部轮廓；第一端部120和第二端部130与主体110的连接处均设有两个卡槽(第一卡槽121、第二卡槽122、第三卡槽131、第四卡槽132)，用于卡持晶圆。该石墨纽扣是一个对称的结构，其俯视图与仰视图相同，如图3a所示，可见其端部是一字型的；其前视图与后视图相同，如图北所示，其右视图与左视图相同，如图3c所示。实施例二请参阅图如-仙，本实施例提供的石墨纽扣为十字型端部，其包括一个圆柱形的主体210和第一端部220及第二端部230 ；第一端部220和第二端部230分别位于主体210的顶面和底面；第一端部220在所述主体210上的投影为十字形，其投影不超出所述主体210 顶面的外部轮廓；第二端部230在所述主体210上的投影也为十字形，其投影不超出所述主体210底面的外部轮廓；第一端部220和第二端部230与主体210的连接处均设有四个卡槽(第一卡槽221、第二卡槽222、第三卡槽223、第四卡槽224、第五卡槽231、第六卡槽232、 第七卡槽233、第八卡槽234)，用于卡持晶圆。该石墨纽扣是一个对称的结构，其俯视图与仰视图相同，如图如所示，可见其端部是十字型的；其前视图与后视图相同，如图4b所示， 其右视图与左视图相同，如图4c所示。实施例一中所述的一字型石墨纽扣，纽扣痕迹较小，制作的太阳能电池比较美观， 纽扣使用次数为2次；而实施例二所述的十字型石墨纽扣，纽扣痕迹也较小与实施例一的类似，由于其端部具有四个卡槽，纽扣使用次数增加为4次，因此增加了使用寿命，生产成本降低一倍。本实用新型的描述和应用是说明性的，并非想将本实用新型的范围限制在上述实施例中。这里所披露的实施例的变形和改变是可能的，对于那些本领域的普通技术人员来说实施例的替换和等效的各种部件是公知的。本领域技术人员应该清楚的是，在不脱离本实用新型范围和精神的情况下，可以对这里所披露的实施例进行其他变形和改变。
权利要求1.一种石墨纽扣，其特征在于包括一个主体和两个端部；两个端部分别位于主体的顶面和底面；所述端部与主体的连接处设有多个卡槽。
2.根据权利要求1所述石墨纽扣，其特征在于所述卡槽的数量为两个或四个。
3.根据权利要求2所述石墨纽扣，其特征在于所述卡槽的数量为两个时，所述端部在所述主体上的投影为一字形。
4.根据权利要求3所述石墨纽扣，其特征在于所述投影不超出所述主体的外部轮廓。
5.根据权利要求2所述石墨纽扣，其特征在于所述卡槽数量为四个时，所述端部在所述主体上的投影为十字形。
6.根据权利要求5所述石墨纽扣，其特征在于所述投影不超出所述主体的外部轮廓。
7.根据权利要求1所述石墨纽扣，其特征在于所述主体为圆柱形。
专利摘要本实用新型公开了一种石墨纽扣，用于太阳能电池制作工艺中的真空镀膜设备。该石墨纽扣包括一个主体和两个端部；两个端部分别位于主体的顶面和底面；所述端部与主体的连接处设有多个卡槽。所述卡槽的数量为两个时，所述端部在所述主体上的投影为一字形；所述卡槽数量为四个时，所述端部在所述主体上的投影为十字形。本实用新型通过对石墨纽扣的端部结构进行改良，达到了美化太阳能电池外观和降低使用成本的双重目的。
文档编号C23C16/458GK202030823SQ20112006057
公开日2011年11月9日 申请日期2011年3月9日 优先权日2011年3月9日
发明者石东益, 童锐 申请人:茂迪(苏州)新能源有限公司