专利名称：一种石墨卡瓣的制作方法
技术领域：
本实用新型属于连接器件制造领域，更具体的说，涉及一种石墨卡瓣。
背景技术：
作为半导体材料的高纯度多晶硅的制造方法，公知有西门子法。该西门子法是 这样的制造方法由氯硅烷和氢气的混合气体构成的原料气体接触加热了的硅芯棒，在 其表面上进行热分解和氢还原反应，由此析出多晶硅。作为实施制造方法的装置，使用 在反应炉中设立有多个硅芯棒的多晶硅反应炉。在西门子法中，反应析出多晶硅要求硅 芯表面温度必须达到反应温度，硅芯的热能是由电能转化而来，每生产一炉多晶硅必须 先将硅芯与反应炉内的电极连接，形成电气回路。目前，普遍选用石墨体组件作为硅芯与电极的连接载体。常用的石墨体组件包 括石墨卡瓣、石墨短环，现有的石墨卡瓣主要为圆柱形结构，这种圆柱形结构在启炉时 使硅芯容易发生倒棒。反应炉运行时硅芯发生倒棒，轻则损失一炉硅芯，重则砸伤反应 炉炉壁、底盘、周围管道及仪表，对电器设备也有很大影响，给取出析出的多晶硅的操 作人员带来很大的难度，也容易沾污多晶硅硅芯。石墨卡瓣这种圆柱形结构在多晶硅反 应进行时，由于圆柱形结构不容易使热量聚集，则会达不到多晶硅反应的反应温度，使 硅芯通电后产生局部拉弧时，通料后不易长硅，受氯化氢腐蚀严重而倒炉的现象。而 且，结构较复杂的石墨体给装硅芯的操作人员带来麻烦、使操作时间加长，且影响反应 气体的流场。
发明内容有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种石墨卡瓣，实现在进行多晶硅反应 时，使硅芯不会产生到棒，硅芯通电后产生局部拉弧时，通料后容易长硅，且本实用新 型石墨卡瓣结构简单，不影响反应气体的流场。为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案一种石墨卡瓣，包括圆柱体，圆柱体一端内设有电极插槽，还包括与圆柱体一 体化设置的圆台，所述圆台位于与圆柱体内设有电极插槽端相背的端，所述圆台的大径 端与圆柱体连接，所述圆台设有从小径端向大径端延伸的十字形开口，所述圆台还设有 空腔，所述空腔的轴线与圆柱体轴线重合，所述空腔的锥度与圆台的锥度相反，所述电 极插槽与所述空腔之间设有通孔。优选地，所述电极插槽的截面形状为圆形、梯形或三角形。优选地，所述圆台轴向与所述圆柱体轴向相同。优选地，所述圆柱体上靠近圆台端设有沿圆柱体圆周方向的凹槽。优选地，所述凹槽的截面形状为方形。由以上方案可以看出，本实用新型石墨卡瓣，其顶部为圆台，且均分为四等部 分，硅芯从锥形孔插入，硅芯不会倒棒；这种设置易于达到多晶硅反应温度，有效地防止了石墨体与硅芯接触的磨锥部分在硅芯通电后产生局部拉弧时，通料后不易长硅，受 氯化氢腐蚀严重而倒炉的现象；石墨卡瓣与电极连接通过石墨短环紧固，有效地保证了 石墨体与电极连接的可靠性；整个石墨体体积小、结构简单，有效地降低了使用成本， 且不影响反应气体的流场。
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实 用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中图1是本实用新型石墨卡瓣结构示意图；图2是本实用新型石墨卡瓣俯视结构示意图；图3是与本实用新型石墨卡瓣结合使用的石墨短环结构示意图；图4是与本实用新型石墨卡瓣结合使用的石墨短环俯视结构示意图； 图5是本实用新型石墨卡瓣与石墨短环配合使用时的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的 优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。如图1、图2所示，为本实用新型石墨卡瓣及其俯视结构示意图；包括卡瓣体 1、圆台2、电极插槽3、通孔4、凹槽5，卡瓣体1为圆柱形，电极插槽3设于卡瓣体1内 底部，卡瓣体1顶部设有圆台2，圆台2由4个楔形块组合而成，每个楔形块斜面端为圆 弧形，每个楔形块以圆弧形斜面端为外围，以等间隔间距沿圆周方向设置于卡瓣体上， 其形成十字形开口 6，所述每个楔形块内设置一个连接楔形块顶面和底面的空腔7，所述 4个空腔7在圆台内围成一个与圆台锥度相反的空腔。电极插槽3与空腔之间设有通孔 4，卡瓣体1上端部侧面端设有沿卡瓣体1圆周方向的凹槽5。所述电极插槽3的形状为 与电极形状相适配的各种形状，这里不再穷举，凹槽5的截面形状为方形。如图3、图4所示，为与本实用新型石墨卡瓣结合使用的石墨短环及其俯视结构 示意图；石墨短环外围为倒圆台形，其内部设有圆柱形插槽1，其外围倒圆台形上端部 设有绕石墨短环体圆周方向的凹槽2，石墨短环一侧壁上设有开口 3，开口 3从石墨短环 顶端开口处延伸至底部。如图5所示，为本实用新型石墨卡瓣与石墨短环配合使用时结构示意图；石墨 卡瓣1与石墨短环2配合使用时，石墨短环2沿其内部的圆柱形插槽由上至下套装至石墨 卡瓣1的底部，石墨短环开口 3与石墨卡瓣的电极插槽3对准，以使电极插入。本实用新型的工作原理为本实用新型石墨卡瓣与石墨短环可作为硅芯与电极 的连接载体，当需要进行多晶硅反应时，则将本实用新型的石墨短环套入石墨卡瓣上， 再将石墨卡瓣上的电极插槽插接于电极上，当石墨卡瓣与电极接触良好后，向下挤压石 墨短环，使石墨卡瓣更加紧固的与电极连接，此时，再通过卡瓣顶端圆台上的倒锥形空 腔插入硅芯，使硅芯与电极通电，形成电器回路，从而使多晶硅反应正常进行。最后应说明的是以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制 本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技 术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替 换、改进等，均应包含在本实用新型的保 护范围之内。
权利要求1.一种石墨卡瓣，包括圆柱体，圆柱体一端内设有电极插槽，其特征在于，还包括 与圆柱体一体化设置的圆台，所述圆台位于与圆柱体内设有电极插槽端相背的端，所述 圆台的大径端与圆柱体连接，所述圆台设有从小径端向大径端延伸的十字形开口，所述 圆台还设有空腔，所述空腔的轴线与圆柱体轴线重合，所述空腔的锥度与圆台的锥度相 反，所述电极插槽与所述空腔之间设有通孔。
2.根据权利要求1所述的石墨卡瓣，其特征在于，所述电极插槽的截面形状为圆形、 梯形或三角形。
3.根据权利要求1所述的石墨卡瓣，其特征在于，所述圆台轴向与所述圆柱体轴向相同。
4.根据权利要求1所述的石墨卡瓣，其特征在于，所述圆柱体上靠近圆台端设有沿圆 柱体圆周方向的凹槽。
5.根据权利要求4所述的石墨卡瓣，其特征在于，所述凹槽的截面形状为方形。
专利摘要本实用新型公开了一种石墨卡瓣，包括圆柱体，圆柱体一端内设有电极插槽，还包括与圆柱体一体化设置的圆台，所述圆台位于与圆柱体内设有电极插槽端相背的端，所述圆台的大径端与圆柱体连接，所述圆台设有从小径端向大径端延伸的十字形开口，所述圆台还设有空腔，所述空腔的轴线与圆柱体轴线重合，所述空腔的锥度与圆台的锥度相反，所述电极插槽与所述空腔之间设有通孔。本实用新型石墨卡瓣，具有使硅芯不会倒棒；通料后易长硅；且结构简单、操作方便、运行可靠的有益效果。
文档编号C30B28/14GK201793814SQ20102050114
公开日2011年4月13日 申请日期2010年8月23日 优先权日2010年8月23日
发明者宋高杰, 王丽春, 王文, 金晶, 银波, 陈文岳 申请人:特变电工新疆硅业有限公司