分槽式导电陶瓷蒸发舟的制作方法

文档序号:3386403阅读:568来源:国知局
专利名称:分槽式导电陶瓷蒸发舟的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种蒸发舟,具体涉及一种分槽式导电陶瓷蒸发舟。
背景技术
用金属,特别是用铝均勻涂覆的最常用的方法是高真空带式蒸镀法。使用方法是将铝丝接触蒸发舟,铝丝便熔化并升华成铝蒸气,将待涂覆的基材通过蒸发舟上方,铝蒸气作为薄的金属层沉积在基质表面上。为了产品需要的恒定蒸气流,将蒸发舟直接通电加热到约1500°C,连接输入铝丝, 使其在陶瓷表面液化,并在真空环境中蒸发,在镀铝设备中设置一列蒸发舟,使得在基材的整个宽度上涂敷厚度均勻的铝层。现有的蒸发舟在使用过程中,特别是用于大型薄膜蒸镀行业中,小型蒸发舟由于存在原料消耗量大,能耗高等缺点使得蒸镀成本高,另外由于蒸发舟蒸镀面积小而导致局部散热不均,使得蒸发过程中材料溅射、损失,从而镀膜不均勻,使用寿命降低。目前对于大型薄膜蒸镀行业,通常使用加长式导电陶瓷蒸发舟,这种蒸发舟只设置有一个物料凹槽,因此在通电加热时经常会因为距离太长,从而造成不同部位温度不一样,很容易发生蒸发舟中间断裂的情况。

实用新型内容根据以上现有技术的不足,本实用新型所要解决的技术问题是提供一种分槽式导电陶瓷蒸发舟,能够解决蒸发舟中间断裂的问题。本实用新型所述的一种分槽式导电陶瓷蒸发舟,包括舟体,舟体顶部左右两侧各设置有一个物料凹槽。其中,舟体底部优选成倒三角柱形或者成上宽下窄的梯形体。改变了原有的平底式构造,增大了散热面积,防止蒸发过程中材料溅射、损失,从而镀膜更加均勻,延长使用寿命。本实用新型由于将一个物料凹槽改变成分槽式设计,使得蒸发舟各部位温差减小,从而避免了蒸发舟中间断裂的问题。本实用新型所具有的有益效果是结构简单,制作方便,从根本上解决了蒸发舟中间断裂的问题,并且增大了散热面积,延长了使用寿命。

图1为本实用新型的结构示意图;图2为图1的俯视图;图3为图1的左侧视图;图中1、舟体 2、物料凹槽。
具体实施方式

以下结合附图对本实用新型做进一步描述。如图1 3所示,本实用新型所述的一种分槽式导电陶瓷蒸发舟,包括舟体1,舟体 1顶部左右两侧各设置有一个物料凹槽2。其中,舟体1底部成上宽下窄的梯形体。改变了原有的平底式构造,增大了散热面积,防止蒸发过程中材料溅射、损失,从而镀膜更加均勻,延长使用寿命。本实用新型由于将一个物料凹槽2改变成分槽式设计,使得蒸发舟各部位温差减小,从而避免了蒸发舟中间断裂的问题。本实用新型结构简单,制作方便,从根本上解决了蒸发舟中间断裂的问题,并且增大了散热面积,延长了使用寿命。
权利要求1.一种分槽式导电陶瓷蒸发舟,包括舟体,其特征在于舟体顶部左右两侧各设置有一个物料凹槽。
2.根据权利要求1所述的分槽式导电陶瓷蒸发舟,其特征在于舟体底部成倒三角柱形。
3.根据权利要求1所述的分槽式导电陶瓷蒸发舟,其特征在于舟体底部成上宽下窄的梯形体。
专利摘要本实用新型涉及一种蒸发舟,具体涉及一种分槽式导电陶瓷蒸发舟,包括舟体,其特征在于舟体顶部左右两侧各设置有一个物料凹槽。本实用新型结构简单,制作方便,从根本上解决了蒸发舟中间断裂的问题,并且增大了散热面积,延长了使用寿命。
文档编号C23C14/26GK202322987SQ20112044363
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月10日 优先权日2011年11月10日
发明者任学美, 宫伯昌, 巩晓, 巩长生 申请人:山东鹏程特种陶瓷有限公司
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