一种硅片装夹装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种在硅片研磨中使用的硅片装夹装置，包括容放硅片的容置槽，容置槽的右端设置有夹紧装置，其包括设置在容置槽内能够在容置槽内来回移动的压紧板，以及设置在容置槽上驱动压紧板的驱动机构，在容置槽的左端设置有辅助夹紧装置，其包括能够在容置槽内来回移动的辅助压紧板，以及固定设置在辅助压紧板左端面、容置槽内壁之间的弹性件，将硅片放置在容置槽中，驱动油缸的活塞杆推动压紧板向前移动，对硅片进行挤压，而辅助夹紧装置能够对硅片进行支撑，使夹紧的力度适合，不会因为压紧板的力量过大而导致硅片的损坏，同时也不会影响研磨工作的进行。本实用新型无需将硅片粘合在一起，从而保证了硅片的质量，确保硅片表面的平整度。
【专利说明】—种硅片装夹装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及硅片加工【技术领域】，具体涉及一种在硅片研磨中使用的硅片装夹
>J-U装直。
【背景技术】
[0002]在硅片加工过程中，需要将硅棒加工切割成硅片，硅片上会产生不规则的形状，为了不影响后续工作的质量，需要将硅片上的不规则边切除；而现有不规则硅片的去除方法是:先将硅片用胶粘合在一起，再将不规则边研磨掉，但是将硅片粘合在一起存在缺点:粘合在一起的硅片通过溶解或清洗的方法分开，硅片的破损率高，虽然在后序工作中通过清洗将胶液去除了，但是仍有残留有化合物，从而影响硅片表面的平整度。
【发明内容】
[0003]针对上述技术问题，本实用新型提供一种硅片装夹装置，其无需将硅片粘合在一起，从而保证了硅片的质量，确保硅片表面的平整度。
[0004]实现本实用新型的技术方案如下:
[0005]一种硅片装夹装置，包括容放硅片的容置槽，容置槽的右端设置有夹紧装置，其包括设置在容置槽内能够在容置槽内来回移动的压紧板，以及设置在容置槽上驱动压紧板的驱动机构，在容置槽的左端设置有辅助夹紧装置，其包括能够在容置槽内来回移动的辅助压紧板，以及固定设置在辅助压紧板左端面、容置槽内壁之间的弹性件。
[0006]所述容 置槽的槽底开设有滑槽，压紧板、辅助压紧板的底端设置有与滑槽相配合的滑块，压紧板、辅助压紧板上的滑块能够在滑槽中滑动，从而保证压紧板、辅助压紧板的运动精度。
[0007]所述容置槽的左端内壁设置有固定板，所述固定板通过螺钉固定连接在容置槽上，弹性件固定设置在固定板与辅助压紧板之间。
[0008]所述驱动机构为驱动油缸，驱动油缸固定设置在容置槽上，压紧板固定连接在驱动油缸的活塞杆〗而部。
[0009]所述弹性件为弹簧或“Z”型弹片。
[0010]采用了上述方案，将硅片放置在容置槽中，驱动油缸的活塞杆推动压紧板向前移动，对硅片进行挤压，而辅助夹紧装置能够对硅片进行支撑，使夹紧的力度适合，不会因为压紧板的力量过大而导致硅片的损坏，同时也不会影响研磨工作的进行。本实用新型无需将硅片粘合在一起，从而保证了硅片的质量，确保硅片表面的平整度。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的结构示意图；
[0012]图中，I为容置槽，2为压紧板，3为驱动油缸，4为辅助压紧板，5为弹性件，6为滑槽，7为滑块,8为固定板,9为螺钉。【具体实施方式】
[0013]下面结合附图和具体实施例对本实用新型进一步说明。
[0014]参见图1，一种硅片装夹装置，包括容放硅片的容置槽1，容置槽I的右端设置有夹紧装置，其包括设置在容置槽内能够在容置槽内来回移动的压紧板2，以及设置在容置槽I上驱动压紧板的驱动油缸3，驱动油缸3固定设置在容置槽I上，压紧板2固定连接在驱动油缸3的活塞杆端部，在容置槽I的左端设置有辅助夹紧装置，其包括能够在容置槽内来回移动的辅助压紧板4，以及固定设置在辅助压紧板4左端面、容置槽I内壁之间的弹性件5，弹性件5为弹簧或“Z”型弹片；容置槽I的槽底开设有滑槽6，压紧板2、辅助压紧板4的底端设置有与滑槽相配合的滑块7。容置槽I的左端内壁设置有固定板8，固定板8通过螺钉9固定连接在容置槽上，弹性件5固定设置在固定板8与辅助压紧板4之间。
【权利要求】
1.一种硅片装夹装置，包括容放硅片的容置槽，其特征在于:容置槽的右端设置有夹紧装置，其包括设置在容置槽内能够在容置槽内来回移动的压紧板，以及设置在容置槽上驱动压紧板的驱动机构，在容置槽的左端设置有辅助夹紧装置，其包括能够在容置槽内来回移动的辅助压紧板，以及固定设置在辅助压紧板左端面、容置槽内壁之间的弹性件。
2.根据权利要求1所述的一种硅片装夹装置，其特征在于:所述容置槽的槽底开设有滑槽，压紧板、辅助压紧板的底端设置有与滑槽相配合的滑块。
3.根据权利要求1所述的一种硅片装夹装置，其特征在于:所述容置槽的左端内壁设置有固定板，所述固定板通过螺钉固定连接在容置槽上，弹性件固定设置在固定板与辅助压紧板之间。
4.根据权利要求1所述的一种硅片装夹装置，其特征在于:所述驱动机构为驱动油缸，驱动油缸固定设置在容置槽上，压紧板固定连接在驱动油缸的活塞杆端部。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的一种硅片装夹装置，其特征在于:所述弹性件为弹簧或“Z”型弹片。
【文档编号】B24B41/06GK203426851SQ201320390130
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年6月30日 优先权日:2013年6月30日
【发明者】周建国, 夏利荣 申请人:常州市立威刀具有限公司