一种蚀刻摇摆轴的密封结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及蚀刻显影设备中密封结构的【技术领域】，公开了一种用于蚀刻机或者显影机中的蚀刻摇摆轴的密封结构，其包括密闭的机壳，以及由所述机壳的外部伸入其内部的摇摆轴，于所述摇摆轴与所述机壳的配合位、且于所述摇摆轴上密封套设有密封套组，于所述机壳内、且于所述摇摆轴上套设有套管，所述套管的上端插入所述密封套组中，且所述套管的下端与所述摇摆轴密封。上述蚀刻摇摆轴的密封结构，通过在摇摆轴与机壳的配合位设置密封套组，并在摇摆轴位于机壳内的部分段上套设与其密封的套管，从而形成了气体缓冲区，避免了因密封失效导致药水蒸汽外溢产生结晶的现象，不仅提高了设备性能，延长了寿命，还节约了药水，降低了成本，提高了整洁度。
【专利说明】一种蚀刻摇摆轴的密封结构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及蚀刻显影设备中密封结构的【技术领域】，尤其涉及一种蚀刻摇摆轴的密封结构。
【背景技术】
[0002]蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类。通常所指蚀刻也称光化学蚀刻(photochemical etching),指通过曝光制版、显影后,将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，形成凹凸或者镂空成型的效果。
[0003]常规的印制电路板(PCB)、不锈钢的蚀刻显影设备中，参照图1和图2，摇摆轴23 ;与机壳I ^的配合位装设有油封6 ^的密封套组:^，即第一密封套31'和第二密封套32'，当设备运行一段时间后，由于摇摆轴23 '的不断旋转摩擦，两处密封套的油封会被磨损破坏而导致密封失效；机壳I ^内部的蚀刻药水与基板发生化学反应时会导致药水升温，进而部分蚀刻药水会蒸发成药水蒸汽，这些药水蒸汽会透过密封失效的密封套组3 '向外溢出，由于蚀刻药水本身的特性因素，当药水蒸汽与室外空气接触后容易结晶，造成第二密封套32丨外面出现结晶，而该结晶具有一定的硬度，当设备继续运行时，摇摆轴23'不断地与结晶摩擦，这样，容易造成摇摆轴23 '等结构的磨损，进而严重影响了设备的性能，以及使用寿命，同时，药水蒸汽的溢出会导致药水浪费，从而增加了生产成本，另外，第二密封套32丨外面出现结晶还影响了设备整体外观的整洁度。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的在于提供一种蚀刻摇摆轴的密封结构，旨在解决现有技术中，常规的蚀刻摇摆轴的密封结构所存在的如下缺陷:
[0005]容易因密封失效导致设备内部的药水蒸汽外溢而结晶，进而导致设备磨损，药水浪费，不仅影响了设备性能和使用寿命，还影响了设备的整洁度。
[0006]本实用新型是这样实现的，一种蚀刻摇摆轴的密封结构，用于蚀刻机或者显影机，包括密闭的机壳，以及由所述机壳的外部伸入其内部的摇摆轴，于所述摇摆轴与所述机壳的配合位、且于所述摇摆轴上密封套设有密封套组，于所述机壳内、且于所述摇摆轴上套设有套管，所述套管的上端插入所述密封套组中，且所述套管的下端与所述摇摆轴密封。
[0007]进一步地，所述摇摆轴上套设有轴套，并通过所述轴套与所述机壳隔离，且所述轴套的边缘与所述机壳密封。
[0008]优选地，所述密封套组包括分别设置于所述机壳内、外的第一密封套和第二密封套，且所述第一密封套和第二密封套分别置于所述轴套的下端和上端。
[0009]优选地，所述第一密封套和所述第二密封套分别与所述摇摆轴通过油封形成密封。
[0010]优选地，于所述机壳内、且于所述摇摆轴上密封套设有第三密封套，所述套管的下端插设于所述第三密封套内，且所述套管的上端插入所述第一密封套内。
[0011]进一步地，所述第三密封套与所述摇摆轴通过油封形成密封。
[0012]更进一步地，所述第一密封套、所述轴套以及所述第二密封套通过紧固件形成紧固连接。
[0013]优选地，所述套管的内壁与所述摇摆轴的外壁之间形成有间隙。
[0014]与现有技术相比，本实用新型提出的蚀刻摇摆轴的密封结构，通过在摇摆轴与机壳的配合位设置密封套组，并在摇摆轴位于机壳内的部分段上套设与其密封的套管，从而形成了气体缓冲区，避免了因密封失效导致药水蒸汽外溢产生结晶的现象，不仅提高了设备性能，延长了使用寿命，还节约了药水，降低了成本，提高了整洁度。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1为现有技术中实施例提供的蚀刻摇摆轴的密封结构在应用状态下的局部结构剖面示意图；
[0016]图2为图1中A部分的放大示意图；
[0017]图3为本实用新型实施例提供的蚀刻摇摆轴的密封结构在应用状态下的局部结构剖面示意图；
[0018]图4为图3中B部分的放大示意图。
【具体实施方式】
[0019]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0020]以下结合具体实施例对本实用新型的实现进行详细的描述。
[0021]如图3、图4所示，为本实用新型提供的一个较佳实施例。
[0022]本实施例提供了一种用于蚀刻机或者显影机的蚀刻摇摆轴的密封结构，其包括机壳1、摇摆轴23、密封套组3以及套管4，其中，机壳I具有密闭的内腔，机壳I的外部固定设置有电机座板22，该电机座板22上固定安装有用于带动摇摆轴23转动的电机21，该摇摆轴23由电机21上伸出，并伸入机壳I的腔内，密封套组3设置在摇摆轴23与机壳I的配合位，且密封套组3的上部位于机壳I的腔外，下部位于机壳I的腔内，同时，该密封套组3还密封套设在摇摆轴23上，另外，套管4设置在机壳I的腔内，且该套管4套设在摇摆轴23上，套管4的上端插入密封套组3的下部，套管4的下端与摇摆轴23密封，该套管4用于缓冲由机壳I腔内向腔外溢出的药水蒸汽。
[0023]采用上述的蚀刻摇摆轴的密封结构进行密封，具有如下特点:
[0024]由于上述摇摆轴23与上述机壳I的配合位设置密封套组3，并在上述摇摆轴23位于机壳I腔内的部分段上套设密封的套管4，从而提高了设备的密封性，并且即使密封失效时，上述套管4会起到缓冲药水蒸气的作用，从而避免了上述摇摆轴23与上述机壳I的配合位因药水蒸气外溢而结晶，不仅避免了药水浪费，节约了成本，还提高了设备性能，延长了使用寿命，同时还提升了设备外部的整洁度。
[0025]本实施例中，上述摇摆轴23上套设有轴套5，该轴套5位于上述摇摆轴23与上述机壳I的配合位，该摇摆轴23通过该轴套5与机壳I隔离，这样，保证了上述摇摆轴23在上述电机21的带动作用下能够独立转动，并且，轴套5的边缘与机壳I的接触处密封，当然，在其他实施例中，根据实际情况和需求，上述摇摆轴23也可以通过其他方式与上述机壳I隔离开。
[0026]上述密封套组3包括第一密封套31以及第二密封套32，其中，第一密封套31设置在上述机壳I的腔内，且位于上述轴套5的下端，第二密封套32设置在上述机壳I的腔夕卜，且位于上述轴套5的上端，这样，第一密封套31、轴套5以及第二密封套32均套设在上述摇摆轴23上，且形成了第一密封套31和第二密封套32对轴套5的夹持，当然，在其他实施例中，根据实际情况和需求，上述密封套组3也可以包括更多的密封套，或者，也可以为其他形式的结构，此处并不作限制。
[0027]为了保证上述密封套组3的密封性能，上述第一密封套31和上述第二密封套32分别采用油封6与上述摇摆轴23密封，当然，上述第一密封套31和上述第二密封套32也可以采用其他的密封方式与上述摇摆轴23密封。
[0028]本实施例中，上述摇摆轴23上还套设有与其密封的第三密封套7，该第三密封套7位于上述机壳I的腔内，并且，上述套管4的下端插设在该第三密封套7中，套管4的上端插入上述第一密封套31中，就这样，在摇摆轴23位于上述机壳I腔内的部分段上，在第一密封套31和第三密封套7之间夹持的套管4上形成了一个缓冲区，当上述的密封结构失效时，该缓冲区能够缓冲上述机壳I腔内的药液蒸汽，避免了药液蒸汽外溢结晶。
[0029]另外，上述套管4的管径大于上述摇摆轴23的轴径，这样，套管4的内壁与摇摆轴23的外壁之间就形成有间隙，该间隙就构成了上述的缓冲区。
[0030]为了保证上述套管4的密封性能，上述第三密封套7也采用了油封6与上述摇摆轴23形成密封，当然，在其他实施例中，根据实际情况和需求，该第三密封套7也可以采用其他的密封方式与上述摇摆轴23密封。
[0031]为了保证上述密封结构的紧凑性，上述第一密封套31、上述轴套5以及上述第二密封套32上均开设有对应的螺孔，并通过紧固件8穿设于螺孔中而形成紧固连接，此处，紧固件8采用的是螺钉，当然，上述第一密封套31、上述轴套5以及上述第二密封套32也可以采用其他的连接方式进行紧固。
[0032]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种蚀刻摇摆轴的密封结构，用于蚀刻机或者显影机，包括密闭的机壳，以及由所述机壳的外部伸入其内部的摇摆轴，于所述摇摆轴与所述机壳的配合位、且于所述摇摆轴上密封套设有密封套组，其特征在于，于所述机壳内、且于所述摇摆轴上套设有套管，所述套管的上端插入所述密封套组中，且所述套管的下端与所述摇摆轴密封。
2.如权利要求1所述的蚀刻摇摆轴的密封结构，其特征在于，所述摇摆轴上套设有轴套，并通过所述轴套与所述机壳隔离，且所述轴套的边缘与所述机壳密封。
3.如权利要求2所述的蚀刻摇摆轴的密封结构，其特征在于，所述密封套组包括分别设置于所述机壳内、外的第一密封套和第二密封套，且所述第一密封套和第二密封套分别置于所述轴套的下端和上端。
4.如权利要求3所述的蚀刻摇摆轴的密封结构，其特征在于，所述第一密封套和所述第二密封套分别与所述摇摆轴通过油封形成密封。
5.如权利要求4所述的蚀刻摇摆轴的密封结构，其特征在于，于所述机壳内、且于所述摇摆轴上密封套设有第三密封套，所述套管的下端插设于所述第三密封套内，且所述套管的上端插入所述第一密封套内。
6.如权利要求5所述的蚀刻摇摆轴的密封结构，其特征在于，所述第三密封套与所述摇摆轴通过油封形成密封。
7.如权利要求3?6任一项所述的蚀刻摇摆轴的密封结构，其特征在于，所述第一密封套、所述轴套以及所述第二密封套通过紧固件形成紧固连接。
8.如权利要求7所述的蚀刻摇摆轴的密封结构，其特征在于，所述套管的内壁与所述摇摆轴的外壁之间形成有间隙。
【文档编号】C23F1/08GK203784292SQ201320888709
【公开日】2014年8月20日 申请日期:2013年12月30日 优先权日:2013年12月30日
【发明者】陈德和 申请人:宇宙电路板设备(深圳)有限公司