一种晶片研磨机中环形防护筒的安装结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种可拆卸、并且安装定位非常方便的晶片研磨机中环形防护筒的安装结构，包括：下磨座和至少一根导向定位杆，该环形防护筒包括：一对半圆弧形板，这一对半圆弧形板通过一对锁扣机构锁紧在一起；该对半圆弧形板的相应端面上分别设置有圆弧形定位凸起和圆弧形定位凹槽，环形防护筒的内壁上设置有与下磨盘相配合的搁置凸台，环形防护筒上的搁置凸台搁置在下磨盘外侧的下磨座上；机座上还设置有环形搁置平台，至少一个半圆弧形板的底面上沿径向开设有与相应导向定位杆的上部相配合的导向槽，环形搁置平台上开设有与相应导向定位杆的下部相配合的定位槽。该环形防护筒的安装结构尤其适用于对晶体进行研磨的研磨机中。
【专利说明】一种晶片研磨机中环形防护筒的安装结构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及到一种对晶片进行研磨的研磨机，尤其涉及到一种晶片研磨机中环形防护筒的安装结构。
【背景技术】
[0002]目前，传统的晶片研磨机中的环形防护筒的安装结构比较简单，通常都是直接将环形防护筒密封固定在下磨座的侧壁上。在实际使用过程中，通常需要在每次研磨过后，对环形防护筒内的碎屑进行清理，但由于环形防护筒不能拆卸，清理起来比较麻烦。
实用新型内容
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种可拆卸、并且安装定位非常方便的晶片研磨机中环形防护筒的安装结构。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案为:一种晶片研磨机中环形防护筒的安装结构，包括:通过主动轴活动设置在研磨机的机座上的下磨座以及至少一根导向定位杆，所述的下磨座大于同心安装在下磨座上的下磨盘，所述的环形防护筒包括:一对半圆弧形板，这一对半圆弧形板通过一对锁扣机构锁紧在一起；该对半圆弧形板的相应端面上分别设置有相互配合的圆弧形定位凸起和圆弧形定位凹槽，所述环形防护筒的内壁上设置有与下磨盘相配合的搁置凸台，环形防护筒上的搁置凸台搁置在下磨盘外侧的下磨座上；所述的机座上在环形防护筒的下方还设置有与所述的下磨座同心、用于搁置环形防护筒的环形搁置平台，在所述的一对半圆弧形板中，至少一个半圆弧形板的底面上沿径向开设有与相应导向定位杆的上部相配合的导向槽，所述的环形搁置平台上开设有与相应导向定位杆的下部相配合的定位槽。
[0005]作为一种优选方案，在所述的晶片研磨机中环形防护筒的安装结构，所述的导向定位杆为圆柱形，与之相对应，所述的导向槽和定位槽均为圆弧形槽。
[0006]作为一种优选方案，在所述的晶片研磨机中环形防护筒的安装结构，所述的环形搁置平台的外沿处还设置有防止环形防护筒掉落的拦阻凸台，所述的定位槽贯穿拦阻凸台。
[0007]作为一种优选方案，在所述的晶片研磨机中环形防护筒的安装结构，所述的锁扣机构为箱包锁扣。
[0008]作为一种优选方案，在所述的晶片研磨机中环形防护筒的安装结构，所述的环形搁置平台通过至少一对支撑立柱设置在机座上。
[0009]本实用新型的有益效果是:本实用新型中的环形防护筒由一对圆弧形板和一对锁扣机构组成，实现了环形防护筒的可拆卸，从而大大方便了对环形防护筒中的碎屑进行清理；此外，由于在该对半圆弧形板的相应端面上分别设置有相互配合的圆弧形定位凸起和圆弧形定位凹槽，从而实现了环形防护筒的快速组装；由于在半圆弧形板的底面上沿径向开设有与相应导向定位杆的上部相配合的导向槽，在环形搁置平台上开设有与相应导向定位杆的下部相配合的定位槽，可实现环形防护筒与下磨座的快速定位；从而大大方便了环形防护筒的安装定位。另外，设置在环形搁置平台外沿处的拦阻凸台，可有效地防止拆解之后的环形防护筒从环形搁置平台上滑落。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型所述晶片研磨机中的环形防护筒的安装结构示意图。
[0011]图2是图1中部分结构的左视结构示意图。
[0012]图3是图1中环形防护筒的俯视结构示意图。
[0013]图1至图3中的附图标记为:1、主动轴，2、上磨盘，3、下磨盘，4、被动轴，5、晶片安置板，6、环形防护筒,60、半圆弧形板,601、圆弧形定位凸起,602、导向槽,61、环形缓冲槽，62、搁置凸台，621、导污孔，7、环形密封圈，8、阻燃缓冲垫，9、搁置平台，91、内孔，92、阻拦凸台，93、定位槽，10、支撑立柱，11、上磨座，12、下磨座，121、排污孔，13、箱包锁扣，14、导向定位杆。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图，详细描述本实用新型所述的一种晶片研磨机中的环形防护筒的安装结构的具体实施方案:
[0015]如图1所示，本实用新型所述的晶片研磨机中环形防护筒的安装结构，包括:一根圆柱形导向定位杆14和通过主动轴1活动设置在研磨机机座(属于本领域的惯常技术，图中未画出)上的下磨座12，下磨座12大于同心安装在下磨座12上的下磨盘3，下磨座12上设置有与下磨座12同心的环形防护筒6，如图3所示，该环形防护筒6包括:一对半圆弧形板60，这一对半圆弧形板60的端面上分别设置有相互配合的圆弧形定位凸起601和圆弧形定位凹槽，即一块半圆弧形板60的端面上设置圆弧形定位凸起601,则另一块半圆弧形板60的相应端面上设置与圆弧形定位凸起601相配合的圆弧形定位凹槽，这一对半圆弧形板60通过一对箱包锁扣13即锁扣机构锁紧在一起；该环形防护筒6的内壁上设置有与下磨盘3相配合的搁置凸台62，环形防护筒6上的搁置凸台62搁置在下磨盘3外侧的下磨座12上；所述的机座上在环形防护筒6的下方还通过至少一对支撑立柱10设置有与所述的下磨座12同心、用于搁置拆解后的环形防护筒6的环形搁置平台9，环形搁置平台9的外沿处还设置有防止环形防护筒6掉落的拦阻凸台92 ;如图2所示，在所述的一对半圆弧形板60中，其中的一个半圆弧形板60的底面上沿径向开设有与所述的形导向定位杆14相配合的圆弧形导向槽602，所述的环形搁置平台9上开设有与所述的导向定位杆14相配合的圆弧形定位槽93。
[0016]在实际应用过程中，所述的搁置凸台62上设置有与下磨座12上的排污孔121相通的导污孔621，环形防护筒6的内壁在搁置凸台62的上侧设置有圆弧形的环形缓冲槽61，环形缓冲槽61横截面的圆弧长度大于该圆弧所在圆的周长的一半，环形缓冲槽61的上沿不低于与下磨盘3配套使用的上磨盘2的下表面即上磨盘2的研磨面，环形缓冲槽61中设置有阻燃缓冲垫8，环形防护筒6的内壁在搁置凸台62的下侧设置有环形密封槽，该环形密封槽中设置有环形密封圈7，所述的上磨盘2设置在上磨座11上，上磨座11通过被动轴4活动设置在其上方的升降座中(属于本领域的惯常技术，图中未画出)，升降座通过机架设置在机座上(属于本领域的惯常技术，图中未画出)。
[0017]研磨前，首先将定位导向杆14放置在所述环形搁置平台9上的定位槽93中，然后，将底面开设有导向槽602的半圆弧板形60的导向槽602卡在定位导向杆14上，并通过一对箱包锁扣13锁定在下磨座12的外侧，使得环形密封圈7与下磨座12紧贴在一起，安装好环形防护筒6之后，将导向定位杆14从所述的导向槽602和定位槽93中取出，这样组装后的环形防护筒6的搁置凸台62上的导污孔621与下磨座12上的排污孔121 —一对应对齐，接着，并将晶片安置板5放至下磨盘3上，然后，将多个晶片放置到晶片安置板5上的相应网格中，调整上磨盘2的高度，使得下磨盘3搁置在晶片上，这时，便可启动研磨机，对晶片进行研磨。研磨后，打开箱包锁扣13，将拆解后的一对半圆弧形板60向外拉，搁置在环形搁置平台9上，大大方便了对碎屑的清理。
[0018]综上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型实施的范围，凡依本实用新型权利要求范围所述的形状、构造、特征及精神所作的均等变化与修饰，均应包括在本实用新型的权利要求范围内。
【权利要求】
1.一种晶片研磨机中环形防护筒的安装结构，包括:通过主动轴活动设置在研磨机的机座上的下磨座，其特征在于:还包括有至少一根导向定位杆，所述的下磨座大于同心安装在下磨座上的下磨盘，所述的环形防护筒包括:一对半圆弧形板，这一对半圆弧形板通过一对锁扣机构锁紧在一起；该对半圆弧形板的相应端面上分别设置有相互配合的圆弧形定位凸起和圆弧形定位凹槽，所述环形防护筒的内壁上设置有与下磨盘相配合的搁置凸台，环形防护筒上的搁置凸台搁置在下磨盘外侧的下磨座上；所述的机座上在环形防护筒的下方还设置有与所述的下磨座同心、用于搁置环形防护筒的环形搁置平台，在所述的一对半圆弧形板中，至少一个半圆弧形板的底面上沿径向开设有与相应导向定位杆的上部相配合的导向槽，所述的环形搁置平台上开设有与相应导向定位杆的下部相配合的定位槽。
2.根据权利要求1所述的一种晶片研磨机中环形防护筒的安装结构，其特征在于，所述的导向定位杆为圆柱形，与之相对应，所述的导向槽和定位槽均为圆弧形槽。
3.根据权利要求1所述的一种晶片研磨机中环形防护筒的安装结构，其特征在于，所述的环形搁置平台的外沿处还设置有防止环形防护筒掉落的拦阻凸台，所述的定位槽贯穿拦阻凸台。
4.根据权利要求1所述的一种晶片研磨机中环形防护筒的安装结构，其特征在于，所述的锁扣机构为箱包锁扣。
5.根据权利要求1至4之一所述的一种晶片研磨机中环形防护筒的安装结构，其特征在于，所述的环形搁置平台通过至少一对支撑立柱设置在机座上。
【文档编号】B24B37/34GK204094614SQ201420552207
【公开日】2015年1月14日 申请日期:2014年9月24日 优先权日:2014年9月24日
【发明者】戚林 申请人:江苏中科晶元信息材料有限公司