具有类金刚石涂层的材料及其制备方法与流程

技术总结
本发明的一种具有类金刚石涂层的材料及其制备方法，提供一基材；在所述基材上采用磁控溅射沉积法沉积形成一过渡层；在所述过渡层上采用过滤阴极真空电弧法沉积形成一不含氢的类金刚石层；以及在所述类金刚石层上掺杂一含氟层。该具有类金刚石涂层的材料具有良好的膜基结合力、高硬度防刮耐磨性、疏水疏油性以及高透光率。

技术研发人员：刘庆平;郝志红
受保护的技术使用者：新科实业有限公司
文档号码：201510249445
技术研发日：2015.05.15
技术公布日：2017.01.04