层叠型硬质皮膜和成形用模具的制作方法

技术特征：

1.一种层叠型硬质皮膜，其特征在于，为组成不同的层A和层B层叠而成的层叠型硬质皮膜，

所述层A由(Ti_aCr_bAl_cSi_d)(C_xN_1－x)构成，

设Ti、Cr、Al、Si和C的原子比分别为a、b、c、d和x时，满足0≤a≤0.10，0.10≤b≤0.50，0.50≤c≤0.90，0≤d≤0.05，a+b+c+d＝1，0≤x≤0.5，的关系，并且，

所述层B由(Cr_eSi_1－e)(C_yN_1－y)构成，

设Cr和C的原子比分别为e和y时，

满足0.90≤e≤1.0，0≤y≤0.5的关系，或者，

由(Al_fSi_1－f)(C_zN_1－z)构成，

设Al和C的原子比分别为f和z时，

满足0.90≤f≤1.0，0≤z≤0.5的关系，

所述层A和层B的厚度分别为2～100nm，分别交替层叠。

2.根据权利要求1所述的层叠型硬质皮膜，其中，所述层A和所述层B的Ti、Cr、Al、Si的合计量中Al所占的原子比处于0.20～0.60的范围。

3.根据权利要求1或2所述的层叠型硬质皮膜，其中，以Zr置换所述层A中的Ti的至少一部分。

4.一种成形用模具，其中，具有权利要求1或2所述的层叠型硬质皮膜。

5.一种成形用模具，其中，在基材表面具有权利要求3所述的层叠型硬质皮膜。

6.根据权利要求4所述的成形用模具，其中，在所述层叠型硬质皮膜与所述基材之间具有厚度3～10μm的CrN的中间层。

7.根据权利要求5所述的成形用模具，其中，在所述层叠型硬质皮膜与所述基材之间具有厚度3～10μm的CrN的中间层。

8.根据权利要求6所述的成形用模具，其用于钢铁材料的热成形。

9.根据权利要求7所述的成形用模具，其用于钢铁材料的热成形。